JJFXXXX-XXXXD4.2.17測量結果重復性引入的標準不確定度分量在(20~120)Hz測量范圍內，對被校傳感器各檢定點進行10次重復測量，數據如下表1所示：表1重復性測量數據序號/n靈敏度/mV/μm20Hz40Hz50Hz55Hz60Hz80Hz100Hz120Hz17.62397.66567.70067.67647.66957.66587.66397.649927.65357.67707.70227.67527.67507.66227.66307.651737.62267.68777.69097.68187.68147.66777.66287.652147.65867.67797.65887.67407.66857.66717.66527.650757.66107.68397.71147.66407.67647.67057.66587.651967.72397.76597.67337.67377.67577.66817.66957.653477.70647.69527.68257.67347.67697.66667.66317.648387.67107.70067.64377.67307.68377.66857.66667.649997.74997.66787.69067.67287.67357.67037.67107.6546107.72157.67547.67407.67927.67647.67007.66867.6497平均值7.67927.68977.68287.67447.67577.66777.66607.6512標準偏差0.0440.0290.0210.0050.0050.0020.0030.002重復性/%0.5700.3770.2710.0610.0610.0330.0380.025從上表得到靈敏度測量的重復性最大為0.570%，故取測量結果重復性引入的標準不確定度D4.2.18電壓比測量引入的標準不確定度分量在(20~120)Hz通頻帶范圍內，各影響量對電壓比測量引入的標準不確定度D4.3由振動標準套組引入的標準不確定度分量振動標準套組的電荷靈敏度值溯源到國家中頻振動基準。根據中國計量院證書，在通頻帶范圍內，相對擴展不確定度為1%，k=2，因此標準擴展不確定度分量D.5合成標準不確定度將標準不確定度分量代入公式D.4，得到：D.6擴展不確定度取包含因子k=2，則相對擴展不確定度為：

附錄E靜態位移靈敏度校準結果的不確定度評定E.1測量方法采用靜態位移校準裝置對傳感器進行校準為例，位移由千分表讀取，電渦流傳感器的輸出電壓由數字多用表測得，采用最小二乘法計算靜態靈敏度。靜態位移校準裝置主要由傳感器固定支架、金屬測試盤（目標靶面）、千分表、手輪和數字多用表組成，校準系統如圖E.1所示。其中被校傳感器測量范圍±2mm，出廠靈敏度為4V/mm。圖E.1靜態位移校準系統E.2測量模型由檢定規程可知回歸方程如下：（E.1）其中，S為傳感器的靜態靈敏度，為截距，為給定位移，為傳感器輸出信號回歸值。靈敏度可由以下公式表示：（E.2）E.3合成標準不確定度計算公式和靈敏系數由測量模型可知，靜態位移靈敏度校準結果的主要不確定度來源如下：（1）位移測量引入的標準不確定度；（2）電壓測量引入的標準不確定度。其靈敏系數分別為：，測量模型公式中各不確定度不相關，故合成標準不確定度計算公式為：（E.3）靈敏度測量的標準不確定度的表達式如下：（E.4）E.4輸入量的標準不確定度的評定E4.1位移測量引入的標準不確定度位移測量引入的不確定度主要為千分表，在(0~25)mm測量范圍內，千分表允差為±10μm，取，所以。E4.2電壓測量引入的標準不確定度E4.2.1標準不確定度A類評定在各位移校準點傳感器輸出電壓測量重復性數據如下表1所示。表1電壓測量重復性校準值Limm傳感器輸出電壓/V標準偏差/mV第1次第2次第3次第4次第5次第6次0.4-5.1148-5.1159-5.1161-5.1145-5.1138-5.11500.350.8-6.8262-6.8256-6.8262-6.8268-6.8294-6.82670.551.2-8.5380-8.5347-8.5391-8.5341-8.5422-8.53481.301.6-10.2731-10.2680-10.2738-10.2677-10.2740-10.26771.312.0-11.9882-11.9801-11.9889-11.9799-11.9863-11.98021.762.4-13.7614-13.7571-13.7636-13.7570-13.7617-13.75741.182.8-15.4636-15.4601-15.4625-15.4620-15.4645-15.46300.623.2-17.1566-17.1550-17.1549-17.1533-17.1553-17.15500.433.6-18.8477-18.8492-18.8486-18.8510-18.8488-18.85200.66E4.2.2數字電壓表引人的標準不確定度在電壓測量范圍內，由校準證書可知其最大示值誤差為3mV，取，所以。將電壓測量引入的2個分量進行合成，由于各輸入量之間獨立無關，得到電壓測量的標準不確定度如下：表2各設定點電壓測量不確定度設定值LimmuB(Ui)uA(Ui)u(Ui)mVV0.41.500.350.001540.80.550.001601.21.300.001991.61.310.001992.01.760.002322.41.180.001912.80.620.001623.20.430.001563.60.660.00164E.5合成標準不確定度表3合成標準不確定度設定值LimmUiVc(Li)V/mm2c(Ui)1/mmu(Li)mmu(Ui)Vuc,i(S)V/mmu2c,i(S)0.4-5.115010.77892.500.0050.00150.054030.002920.8-6.82685.36941.250.0050.00160.026920.000721.2-8.53723.57410.830.0050.00200.017950.000321.6-10.27072.68760.630.0050.00200.013500.000182.0-11.98392.14840.500.0050.00230.010800.000122.4-13.75971.80020.420.0050.00190.009040.000082.8-15.46261.53980.360.0050.00160.007720.000063.2-17.15501.34420.310.0050.00160.006740.000053.6-18.84961.19280.280.0050.00160.005980.00004實測靈敏度為4.3V/mm，根據合成標準不確定度計算公式，由上表數據可以得到：E.6擴展不確定度的計算取包含因子k=2，則有：附錄F電渦流傳感器校準特殊要求F.1安裝要求F.1.1傳感器1）校準位移參數時，確保傳感器探頭的測量軸線與目標靶面垂直，偏差不超過2°；2）校準轉速參數時，傳感器應正對齒面安裝，中線與測速齒輪軸心線垂直并相交；3）傳感器的輸出電纜及延伸電纜應固定合適，防止產生抖動、碰撞和摩擦現象；4）傳感器探頭頭部發射的交變電磁場在徑向和軸向上都有一定的擴散。傳感器在安裝時，須考慮安裝面金屬導體材料的影響，應保證探頭的頭部與安裝面之間不小于一定的距離，探頭頭部體宜完全露出安裝面，或將安裝面加工成平底孔或倒角，如圖F.1所示。（a）完全露出（b）平底孔（c）倒角圖F.1探頭頭部與安裝面距離F.1.2支架1）傳感器支架應穩定牢靠；2）支架的材質和結構設計應能夠承受傳感器及被測目標可能產生的力和力矩；3）支架的設計應確保不會對傳感器的測量過程產生任何電磁干擾或機械干擾。F.1.3間隙1）校準位移參數時，傳感器需要在一定的安裝間隙下工作，以確保其處于最佳線性范圍內，安裝間隙的設定應參考傳感器廠家提供的推薦值；2）校準轉速參數時，傳感器前端面與齒頂間隙需合適，建議安裝初始間隙在（1~1.5）mm或依據產品出廠說明書。F.1.4目標靶面（位移參數校準）1）對于被測目標靶面尺寸不小于3倍探頭直徑的情況，可直接對被測目標進行測量；2）對于被測目標靶面尺寸小于3倍探頭直徑的情況，需額外安裝一個目標靶面，該目標靶面需與被測目標剛性連接，確保兩者之間的相對位置不變；3）目標靶面的法線（即垂直于靶面的直線）需要與被測目標的運動方向保持一致。F.2目標靶面要求（位移參數校準）F.2.1目標靶面材料1）目標靶面所使用的材質（金屬標號）應與電渦流傳感器廠家推薦的材質一致或接近；2）在實際應用中，傳感器大多數的測量對象為汽輪機、壓縮機機等，在校準時，建議選用與汽輪機等設備的轉軸相同或相近的42CrMo鋼材料作目標靶面，選用42CrMo能適合大多數的測量對象，對實際應用有指導意義。F.2.2目標靶面粗糙度1）目標靶面應光滑無缺陷，不應存在凸起、洞眼、刻痕、凹槽等可能影響測量結果的缺陷；2）目標靶面的表面粗糙度應小于2um，以確保傳感器能夠準確捕捉到目標靶面的反射信號。F.2.3目標靶面尺寸1）當目標靶面為平面時，以正對探頭中心線的點為中心，建議目標靶面直徑應大于探頭頭部直徑的3倍以上，確保傳感器能夠充分覆蓋目標靶面，減少邊緣效應對測量