服務科技創新服務未來價值恒銳知識產權上海恒銳知識產權服務有限公司上海恒銳佳知識產權代理事務所持之以恒銳意進取垂直行業垂直行業恒銳知識產權是半導體垂直行業知識產權咨詢與服務機構，通過與半導體產業深度融合，業務與客戶覆蓋集成電路產業設計、制造、封裝、設備、材料等各領域，致力于為客戶提供數據、分析、咨詢、確權、行權和維權的全方位知識產權解決方案。雙核互動作為國內和上海市專利信息與情報分析的先行者與領先者，恒銳知識產權是全國知識產權評議服務示范創建機構、中華代理師協會理事，致力于專利信息利用與高價值專利布局的雙核互動服務，累計完成專利情報分析項目超過2000項，形成高價值專利布局超過5000件，助力10余家企業成功登陸科創板。·數據權威：基于全球專利數據、100+家創新主體分析，涵蓋技術分類、法律狀態等·規避專利風險：基于動態更新的專利數據庫，檢索高風險技術點，預警潛在侵權糾紛·深度解析：應用材料、東京電子等頭部企業的核心專利布局邏輯，為國產研發提供“技術抄近道”指南蘇州芯慧聯半導體科技有限公司-一總公開靜電卡盤-一總公開靜電卡盤44333200創新評分專利情況創新評分9件蘇州芯慧聯半導體科技有限公司—Professiona/IPService融資歷程龍鼎投資百奧化學浦科投資蘇州芯慧聯半導體科技有限公司公司情況WST未上市半導體零部件廠產品情況(圖源芯慧聯官網)主營業務靜電卡盤產品蘇州芯慧聯是一家專注于半導體領域專用設備設計及技術研發的企業，主要面向泛半導體領域的生產制造企業，為其提供配套的工藝設備、零部件、系統單元以及技術服務支持。芯慧聯的靜電卡盤能夠完全替代進口產品，技術達到國際領先水平。靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽高新技術企業、科技型中小企業廣東海拓創新技術有限公司-一總公開一靜電卡盤專利情況7件布局廣度創新評分廣東海拓創新技術有限公司戰略融資廣東海拓創新技術有限公司未上市半導體零部件廠(圖源海拓創新官網)產品情況主營業務靜電卡盤產品海拓創新是一家專注半導體及顯示行業關鍵零部件進行國產化的技術型公司，在國產化靜電卡盤及基于靜電卡盤為技術核心設備領域的設計、生產具有領先地位，通過了ISO14001、ISO14001等國際質量體系認證，其靜電卡盤系統涵蓋晶圓搬運、氧化物/多晶硅刻蝕、離子注入、薄膜等工序。靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽高新技術企業、科技型中小企業蘇州眾芯聯電子材料有限公司布局深度創新成果布局深度4433322布局廣度保護強度布局廣度累計授權專利累計授權專利創新體系評分國內排名累計相關專利8件蘇州眾芯聯電子材料有限公司iFuture恒筑—Professiona//PServic公司情況未上市產品情況主營業務眾芯聯在靜電卡盤領域內屬于新興企業，其生產的靜電卡盤廣泛應用于芯片和面板制造領域，主要服務于干刻、PVD、CVD等設備。主營業務靜電卡盤產品靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽高新技術企業、科技型中小企業浙江新納陶瓷新材有限公司—Professiona//PServic研發體系布局深度創新成果布局深度75544420布局廣度保護強度創新評分專利情況創新評分累計發明申請累計相關專利8件累計發明申請累計相關專利8件國內排名累計授權專利浙江新納陶瓷新材有限公司浙江新納陶瓷新材有限公司擬在深交所上市半導體零部件廠(圖源新納陶瓷官網)產品情況主營業務靜電卡盤產品新納陶瓷是一家專業從事設計開發、生產制造、銷售陶瓷材料和產品的高新技術民營企業，擁有國外先進、國內領先的陶瓷材料和產品生產線，已形成以陶瓷基板、結構陶瓷、陶瓷器件等為主導的多門類產品，專注于半導體、移動通訊、新能源等應用領域的陶瓷材料及器件的研發生產，是國內特種陶瓷材料和產品的主要生產廠家。靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽高新技術企業、專精特新中小企業北京華卓精科科技股份有限公司一一總公開一靜電卡盤專利情況累計專利申請679件累計授權專利244件累計發明申請累計相關專利布局廣度6th6th北京華卓精科科技股份有限公司融資歷程水木創投C輪-1130萬A+A+輪-1020萬在冊股東大華大陸D+輪-7587.5萬渾璞投資，紅星美凱龍B++輪-1200萬在冊股東B輪-3282萬在冊股東，大華大陸投資，中金公司等在冊股東，大華大陸投資，中金公司等A輪-500萬中海投資，中關村海淀園D輪-8700萬渾璞投資，紅星美凱龍，中金公司北京華卓精科科技股份有限公司iFuture恒筑退市834733中國·北京半導體零部件廠產品情況華卓精科在中國半導體用靜電卡盤市場中屬于領先企業之一，其12英寸PVD氮化鋁靜電吸盤已經實現量產，并在市主營業務場中獲得了一定的份額，能夠滿足12英寸晶圓的加工需求。主營業務靜電卡盤產品靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽高新技術企業、知識產權示范單位、科學技術獎、中國專利銀獎君原電子科技(海寧)有限公司-一總公開一靜電卡盤研發體系創新成果布局深度創新成果922保護強度布局廣度保護強度專利情況創新評分專利情況82件2件82件2件37件君原電子科技(海寧)有限公司融資歷程AA輪—3800萬美元戰略融資上海創投等戰略融資戰略融資戰略融資上海創投等私募，興橙資本等君原電子科技(海寧)有限公司公司情況未上市半導體零部件廠產品情況主營業務靜電卡盤產品君原電子是國內第一家實現規模化生產半導體靜電吸盤的公司，引領了國內相關產業的發展，其產品線實現了對14nm及以上的主要刻蝕機臺靜電吸盤產品的全覆蓋，能夠滿足不同工藝節點和設備類型的需求，為客戶提供一站式的解決方案。靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護高新技術企業煙臺睿瓷新材料技術有限公司-一總公開一靜電卡盤專利情況24件6件13件14件布局廣度創新評分4th煙臺睿瓷新材料技術有限公司產品情況—Professiona/IPService獎項榮譽江蘇魯汶儀器股份有限公司-一總公開一靜電卡盤22131專利情況累計專利申請734件累計授權專利累計發明申請累計相關專利創新評分LELEN江蘇魯汶儀器股份有限公司江蘇魯汶儀器股份有限公司未上市半導體設備廠產品情況主營業務靜電卡盤產品魯汶儀器致力于為集成電路制造產業提供先進的裝備和工藝解決方案，研發了業界領先的離子束塑形設備(IBS)、離子束沉積設備(IBD)等，魯汶儀器也提供電感耦合等離子體刻蝕設備(ICP)、薄膜沉積設備(CVD),以及氣相分解金屬沾污收集設備(VPD)等晶圓工藝制造設備與檢測設備。靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護高新技術企業、中國專利優秀獎-一總公開一靜電卡盤創新評分專利情況創新評分8301件211件北京北方華創微電子裝備有限公司融資歷程股權融資中國中信金融資產等股權融資中國中信金融資產等定向增發北京京國瑞國企改革發展基金等2016.10.28戰略融資芯動能投資，國家集成電路產業投資基金定向增發北京電控等股權融資七星華電定向增發—21億人民幣中國中信金融資產等定向增發—85億北京市集成電路制造和裝備基金，嘉實資本，廣發基金等北京北方華創微電子裝備有限公司公司情況NAURA半導體設備廠產品情況主營業務靜電卡盤產品北方華創的主要產品包括刻蝕機、PVD、ALD、CVD、氧化/擴散爐、清洗機、氣體質量流量計等高端半導體工藝裝備及核心零部件，廣泛應用于集成電路、先進封裝、半導體照明、微機電系統、功率半導體、化合物半導體、新能源光伏、平板顯示等領域。靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽中國半導體行業協會會員、中國半導體市場領軍企業、高新技術企業、專精特新小巨人”企業、科學進步獎、知識產權創新獎、中國專利優秀獎中微半導體設備(上海)股份有限公司-一總公開一靜電卡盤8創新評分專利情況創新評分2782件1621件279件—Professiona/IPService中微半導體設備(上海)股份有限公司公司情況AMEC科創板上市半導體設備廠產品情況(圖源-中微官網)主營業務靜電卡盤產品中微公司是一家以中國為基地、面向亞洲和全球的微觀加工高端設備公司，其等離子刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備已被廣泛應用于從45納米到1X納米工藝的芯片加工制造及先進封裝，用于LED和功率器件外延片批量生產的MOCVD設備靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤維護獎項榮譽中國半導體行業協會會員、高新技術企業、中國專利金獎、中國專利銀獎所在地區保護中國北京江蘇魯汶儀器股份有限公司中國江蘇中國山東君原電子科技(海寧)有限公司中國浙江0廣東海拓創新技術有限公司中國廣東基于靜電卡盤相關專利數據，從研發體系，創新成果、保護強度、布局深度、布局廣度五個角度為國內創新主體進國內創新主體靜電卡盤創新體系評價排行-一總公開一靜電卡盤99創新評分專利情況創新評分261件261件日本特殊陶業日本特殊陶業株式會社日本特殊陶業株式會社公司情況公司情況零部件廠零部件廠產品情況日本特殊陶業在半導體設備零部件領域占據著顯著的份額，提供著多種半導體制造設備用的精密陶瓷部件。日本特殊主營業務陶業是全球主要的靜電卡盤翻新生產商之一，同時也是陶瓷型靜電卡盤市場份額中排名靠前。主營業務靜電卡盤產品靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護6766創新評分專利情況創新評分84730件京瓷株式會社公司情況CKyOCERa京瓷零部件廠零部件廠產品情況圖片來自于京瓷官網主營業務京瓷在電子陶瓷領域是全球規模最大的先進陶瓷供應商，被稱為電子陶瓷之王。京瓷的靜電卡盤具有高精度，高溫耐久性和化學穩定性，適用于等離子體環境，更夠在各種操作溫度下保持良好的性能。靜電卡盤產品靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽科睿唯安2023百強創新企業，BSFVSealforInnovation,SupplierExcellenceAwardfromEVGroup,日本文部科學省2021年科學技術獎—20202021創新評分專利情況創新評分3883件354件3883件354件8848件4689件住友大阪水泥股份有限公司產品情況獎項榮譽-一總公開一靜電卡盤專利情況創新評分專利情況4129件326件9606件4129件326件9606件5434件新光電氣工業股份有限公司公司情況SHINKO產品情況獎項榮譽2016年泛林半導體SupplierExcellenceAward,英特爾2017年度SupplierContinuousQualityImprovementAward,JapanFine株式會社創意科技-一總公開靜電卡盤研發體系專利情況3337件1371件917件151件市場廣度8.00保護強度創新評分—Professiona//PServic產品情況獎項榮譽研發體系總公開一一總公開一一布局深度創新成果保護強度市場廣度2729保護強度市場廣度創新評分專利情況創新評分35225件11546件486件東陶機器株式會社東陶機器株式會社—Professiona//PServic公司情況公司情況東京交易所上市東京交易所上市產品情況主營業務東陶機器株式會社(TOTO)除了主營的衛浴潔具和建材以外，其在精密套磁領域也有涉獵較深，其在半導體制造和光通信領域制造和銷售高品質高精度的陶瓷產品，如氣滑，靜電卡盤和焊接毛細管等。主營業務靜電卡盤產品靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽IF設計大獎，紅點設計獎。日本礙子株式會社53專利情況創新評分專利情況16745件434件45779件16745件434件45779件26596件日本礙子株式會社日本礙子株式會社—Professiona/IPService公司情況公司情況零部件廠零部件廠產品情況日本礙子株式會社是一家以先進陶瓷為核心的公司，其在靜電卡盤領域主要為下游廠家提供氮化鋁，氧化鋁等先進陶主營業務瓷件。靜電卡盤產品靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護日本第23屆中部科學技術中心表彰振興獎，最佳傳感器獎，第78屆日本陶瓷協會技術獎，SBT倡議的凈零標準認證，JAXA宇宙探測創新宇宙探測創新中心選中。拉姆研究公司專利情況專利情況12653件相關專利486件12653件相關專利486件28778件累計授權專利15623件全球排名3rd專利情況創新評分79380件45501件79380件45501件1316件東京電子株式會社TEL公司情況設備廠設備廠產品情況主營業務東京電子是全球第四大半導體設備廠商，其涂膠顯影設備全球市占率排名第一。東京電子所制造的靜電卡盤在日本，臺灣和韓國擁有較高的影響力，應用產業多數為半導體，平板顯示器和數據存儲器方面。主營業務靜電卡盤產品靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽TSMC卓越表現獎，科睿唯安年度百強創新機構，全球百搭創新靈修，nikkei綜合報告優秀獎。應用材料股份有限公司專利情況創新評分40527件41629件41629件應用材料股份有限公司公司情況APPLIED 納斯達克上市設備廠產品情況(圖片來源于J316.)主營業務應用材料股份有限公司是一家全球領先的材料工程解決方案供應商，其生產的靜電卡盤占據了全球市場的主導地位。靜電卡盤產品靜電卡盤研發靜電卡盤生產靜電卡盤銷售靜電卡盤維護獎項榮譽美國國家技術獎，中國專利獎，全球500強，英特爾epic杰出供應商，入選《財富》雜志評選的全球最受尊敬公司。所在地區保護應用材料股份有限公司美日本東京拉姆研究公司美國加州4.422.897.588.158.5431.6日本東京基于靜電卡盤相關專利數據，從研發體系，創新成果、保護強度、布局深度、布局廣度五個角度為國外創新主體進國外創新主體靜電卡國外創新主體靜電卡盤創新體系評價排行半導體部件廠技術分類數量排名情況全球部件廠IPC小組數量排名前十權利人①①日本礙子株式會社②住友大阪水泥股份有限公司3日本特殊陶業株式會社東陶機器株式會社新光電氣工業股份有限公司京瓷株式會社株式會社創意科技信越化學工業株式會社君原電子科技(海寧)有限公司美科陶瓷科技有限公司國內部件廠IPC小組數量排名前十權利人①①君原電子科技(海寧)有限公司24②蘇州眾芯聯電子材料有限公司63北京華卓精科科技股份有限公司5浙江新納陶瓷新材有限公司5建泓科技實業股份有限公司3力鼎精密股份有限公司3瑞耘科技股份有限公司3翔名科技股份有限公司3寧波江豐電子材料股份有限公司3蕪湖通潮精密機械股份有限公司3半導體設備廠技術分類數量排名情況①中微半導體設備(上海)股份有限公司①中微半導體設備(上海)股份有限公司3江蘇魯汶儀器股份有限公司5盛吉盛(寧波)半導體科技有限公司4東莞先導先進科技有限公司3天津鑫鈺半導體設備有限公司2中微半導體設備(上海)股份有限 |41《全球IPC小組數量最多的企業是應用材料股份有限公司，技術分類達有128個；其次是東京電子株式會社，有103個；中國設備廠中微半導體(上海)股份有限公司，技術分類達有41個；其余的創新主體的IPC小組均小于10。9”國內外部件廠靜電卡盤相關專利發明人數量TOP10全球部件廠靜電卡盤專利發明人數量TOP10國內部件廠ESC專利發明人數量TOP10東陶機器株式會社日本特殊陶業株式會社日本礙子株式會社住友大阪水泥股份有限公司新光電氣工業股份有限公司京瓷株式會社太平洋水泥株式會社巴川集團股份有限公司信越化學工業株式會社美科陶瓷科技有限公司北京華卓精科科技股份有限公司39建泓科技實業股份有限公司君原電子科技(海寧)有限公司蘇州眾芯聯電子材料有限公司浙江新納陶瓷新材有限公司衡陽凱新特種材料科技有限公司寧波江豐電子材料股份有限公司寧波江豐電子材料股份有限公司煙臺睿瓷新材料技術有限公司10杭州大和熱磁電子有限公司10翔名科技股份有限公司“在部件廠中，”Ⅲ川ⅢⅢ川Ⅲ“在設備廠中，中外廠商發明人人數差距明顯全球范圍內靜電卡盤相關專利發明人數最多的是應用材料股份有限公司，有1290位發明人；其次是東京電子株式會社，有1039位發明人；相對的，中國企業相關專利發明人數最多是中微半導體設備(上海)股份有限公司，有207位發明人；其次是北京北方華創微電子裝備有限公司，有188位發明人；全球創新主體有效發明專利排名“全球范圍內，有效發明專利持有數量最多的企業是東京電子，有520件；排名第三位的是拉姆研究，有289件。9“從剩余期限分布來看，數量最多的為具有15-20年剩余期限的專利；數量最少的為具有0-5年剩余期限的專利。9中國部件廠商-被引總次數及被引用率TOP“在中國部件廠商中，被引總次數最多的企業是北京華卓精科科技股份有限公司，有16件，對應被引用率為31.03%全25.12%嚴被引總次數最多的企業是北京北方華創微電子設備有限公司，有174次，對應被引用率為25.12%;其次是中微半導體設備(上海)股份有限公司，有150次，對應的被引用率為18.28%;其他廠商的專利被引用總次數均不足10次。”全球部件廠商-近5年被引≥5次專利數及被引用率TOP10n/近5年被引次數≥5次的專利數最多的企業是新光電氣公司，有148件，對應被引用率為24.23%;其次是東陶機器株式會社，有122件，對應的被引用率為38.68%;/近5年被引次數≥5次的專利數最多的企業是應用材料股份有限公司，有209件，對應被引用率為其次是東京電子，有136件，對應的被引用率為35.26%。”國內部件廠近五年靜電卡盤專利申請量排名TOP10申請數量最多的企業是君原電子，有23件；從第三名開始申請量低于10件。君原電子科技(海寧)有限公司煙臺睿瓷新材料技術有限公司蘇州眾芯聯電子材料有限公司君原電子科技(海寧)有限公司煙臺睿瓷新材料技術有限公司蘇州眾芯聯電子材料有限公司浙江新納陶瓷新材有限公司廣東海拓創新技術有限公司北京華卓精科科技股份有限公司杭州之芯半導體有限公司北京中硅泰克精密技術有限公司衡陽凱新特種材料科技有限公司杭州大和熱磁電子有限公司國內設備廠近五年靜電卡盤專利申請量排名TOP10·中微半導體設備(上海)股份有限公司北京北方華創微電子裝備有限公司江蘇魯汶儀器股份有限公司北京爍科中科信電子裝備有限公司53盛吉盛半導體科技有限公司東莞先導先進科技有限公司申請數量最多的企業是中微公司，有78件；從第三名開始申請量低于10件。蘇州芯慧聯半導體科技有限公司上海諳邦半導體設備有限公司7富樂德科技發展(大連)有限公司得立亞科技有限公司全球部件廠近五年靜電卡盤專利申請量排名TOP10·新光電氣工業股份有限公司東陶機器株式會社日本特殊陶業株式會社住友大阪水泥股份有限公司日本礙子株式會社在全球部件廠中，申請數量最多的企業是新光電氣，有148件；其次是東陶機器，有122件；恩特格里斯公司排名第三的是日本特陶，有79件。君原電子科技(海寧)有限公司工工美科陶瓷科技有限公司:翻和相7:翻和相京瓷株式會社全球設備廠近五年靜電卡盤專利申請量排名TOP10?東京電子株式會社應用材料股份有限公司中微半導體設備(上海)股份有限公司細美事有限公司拉姆研究公司北京北方華創微電子裝備有限公司在全球設備廠中，申請數量最多的企業是東京電子，達360件；其次是應材，有332件；排名第三的是中微公司，有78件。株式會社日立高新技術馬特森技術公司株式會社迪思科7國內部件廠商靜電卡盤專利申請量TOP10“平均12件申請數量最多的企業是華卓精科，有29件；其次是睿瓷新材，有14件；從第三名開始申請量低于10件。9廣東海拓創新技術有限公司艾希納半導體科技(蘇州)有限公司君原電子科技(海寧)有限公司北京中硅泰克精密技術有限公司北京華卓精科科技股份有限公司蘇州眾芯聯電子材料有限公司煙臺睿瓷新材料技術有限公司建弘科技實業股份有限公司浙江新納陶瓷新材有限公司力鼎精密股份有限公司448855全球部件廠ESC專利申請量排名TOP10東陶機器株式會社486日本礙子株式會社434住友大阪水泥股份有限公司354新光電氣工業股份有限公司326“平均235件日本特殊陶業株式會社261“平均235件在全球部件廠中，排名前五位的申請量均高于平均值；京瓷株式會社200排名前五位的申請量均高于平均值；巴川集團股份有限公司83申請數量最多的企業是東陶機器，達486件；信越化學工業株式會社79其次是日本礙子，有434件；美科陶瓷科技有限公司太平洋水泥株式會社均值：235均值：235住友大阪排名第三位。”國內設備廠商靜電卡盤專利申請量TOP10“平均54件在國內設備廠中，申請數量最多的企業是中微公司，達279件；其次是北方華創微電子，有211件；從第三名開始申請量低于15件。均值：53.9東莞先導先進科技有限公司上海凱世通半導體股份有限公司藩海精研股份有限公司漢辰科技股份有限公司盛吉盛(寧波)半導體科技有限公司北京妖科中科信電子裝備有限公司蘇州芯慧聯半導體科技有限公司江蘇魯汶儀器股份有限公司北京北方華創微電子裝備有限公司中微半導體設備(上海)股份有限公司東莞先導先進科技有限公司上海凱世通半導體股份有限公司藩海精研股份有限公司漢辰科技股份有限公司盛吉盛(寧波)半導體科技有限公司北京妖科中科信電子裝備有限公司蘇州芯慧聯半導體科技有限公司江蘇魯汶儀器股份有限公司北京北方華創微電子裝備有限公司中微半導體設備(上海)股份有限公司全球設備廠ESC專利申請量排名應用材料股份有限公司東京電子株式會社拉姆研究公司中微半導體設備(上海)股份有限公司北京北方華創微電子裝備有限公司株式會社愛發科細美事有限公司株式會社日立高新技術株式會社迪思科瓦里安半導體設備公司211161149均值：467均值：467“平均467件申請數量最多的企業是應材，達1558件；拉姆研究排名第三位。從設備廠/部件廠，國內/國外的劃分角度出發，從申請量，發明人，引用率等多維度出發對靜電卡盤領域內的權利人靜電卡盤相關專利多維排行中國各地區創新主體靜電卡盤相關專利平均申請量浙江湖北遼寧司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司29同同同同同同同同同同同同同同同同同同同司同同后23同司同司司同6同同同同同5"29件創新主體靜電卡盤相關專利平均申請數量最多的地區是北京，平均達29件；"29件創新主體靜電卡盤相關專利平均申請數量最多的地區是北京，平均達29件；9中國地區靜電卡盤相關創新主體分布情況中國地區，創新主體最多的地區是臺灣，達18個；江蘇地區有17個，位列第二；上海地區有13個，排名三位。4422222臺灣地區、上海地區創新主體中各有4個上市公司。上海廣東浙江中國地區靜電卡盤相關專利申請分布在中國，靜電卡盤相關申請最多的地區是上海，達299件；北京地區相關申請有261件；浙江地區相關申請有65件。全球各地區創新主體靜電卡盤相關專利平均申請量美國司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司16司司司司司司司司司司司司司司司司司司76中國英國84“136件全球范圍內，創新主體靜電卡盤相關專利平均申請數量最多的地區是美國，達136件；9全球靜電卡盤相關創新主體分布情況創新主體數量創新主體數量"98個創新主體最多的地區是中國，達98個；日本、美國分列二三位。9311以色列韓國31“34家日本地區靜電卡盤相關創新主體上市公司數量34家；中國地區創新主體中有18家上市公司。9653全球靜電卡盤相關專利申請分布—Professiona//PSer全球范圍內靜電卡盤相關專利申請量排名前三地區：日本4499件、美國2592件、中國791件。”韓國，日本韓國，日本8靜電卡盤相關專利技術分類發展歷程…半導體器件半導體器件半導體器件半導體器件半導體器件—Professiona/IPService“44.60%部(電學)、B部部(化學、冶金)。靜電卡盤技術領域的專利類型主要為發明。9發明，9596,96.2%PCTPCT指定期滿，619,6.2%“38.8%靜電卡盤相關專利中的有效專利有3871件；失效專利中，有接近一半的專利曾經獲得授權，且專利權存續2過或長或短的一段時間。有效，3871,38.8%駁回申請終止放棄避免重復授權PCT指定期內，75,0.8%失效，4041,40.5%靜電卡盤相關專利申請趨勢中國88海外從全球申請趨勢來看，靜電卡盤技術領域的第一件專利出現于1975年，1975年-1990年，專利申請數量緩慢增長；1991年-2004年，總體呈現上升趨勢，但增長速度比較緩慢；2006年-2015年，專利申請數量波動較大，且有幾年呈明顯下降趨勢；2016年-2019年，專利申請數量快速上升，并在2019年達到了從中國申請趨勢來看，與全球申請趨勢基本一致，但中國靜電卡盤相關技術的專利申請整體上落后于全球一個時期；中國目前處于快速發展期，結合全球申請趨勢，中國主體的專利申請數量可能在幾年之后有所下降。靜電卡盤相關專利