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白光干涉儀的光譜干涉模式原理白光干涉儀的光譜干涉模式原理主要基于光的干涉和光譜分析。以下是對該原理的詳細解釋：一、基本原理白光干涉儀利用干涉原理測量光程之差，從而測定有關物理量。在光譜干涉模式中，白光作為光源，其發出的光經過擴束準直后，通過分光棱鏡等光學元件被分成兩束相干光。一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射。兩束反射光最終匯聚并發生干涉，形成干涉條紋。二、光譜干涉的特點白光光源：白光屬于多色光，具有連續的光譜。這使得白光干涉儀能夠在寬光譜范圍內進行干涉測量，從而獲取更多的被測表面信息。干涉條紋的移動：兩束相干光間光程差的任何變化都會靈敏地導致干涉條紋的移動。在光譜干涉模式中，干涉條紋的移動與光的波長有關，不同波長的光會形成不同的干涉條紋。光譜分析：通過光譜儀等光學元件，可以將干涉信號轉化為不同波長光譜的測量。這些光譜信息包含了被測表面的高度、形貌等物理量信息。三、光譜干涉的測量過程光路設置：在白光干涉儀中，通過設置適當的光路，使得參考光和測量光能夠發生干涉。這通常包括光源、分束器、參考光路和待測光路等部分。干涉信號獲取：當兩束相干光發生干涉時，會形成干涉條紋。通過干涉儀的接收屏或探測器，可以獲取干涉信號的強度分布。光譜分析：將干涉信號輸入到光譜儀中，進行光譜分析。光譜儀會將干涉信號轉化為不同波長光譜的測量，從而獲取被測表面的高度、形貌等物理量信息。數據處理：對光譜儀獲取的數據進行處理和分析，得到被測表面的三維形貌圖或其他相關物理量信息。四、應用與優勢光譜干涉模式在白光干涉儀中具有廣泛的應用。它可以用于測量各種材料的表面形貌、薄膜厚度、折射率等物理量。與其他測量方法相比，光譜干涉模式具有更高的測量精度和更廣泛的測量范圍。此外，它還具有非接觸式測量、無損檢測等優點，適用于各種復雜表面的測量。綜上所述，白光干涉儀的光譜干涉模式原理是基于光的干涉和光譜分析原理，通過測量干涉條紋的移動和光譜信息來獲取被測表面的物理量信息。該模式具有高精度、廣測量范圍和非接觸式測量等優點，在材料科學、微機電系統（MEMS）、航空航天等領域具有廣泛的應用前景。TopMapMicroView白光干涉3D輪廓儀一款可以“實時”動態/靜態微納級3D輪廓測量的白光干涉儀1)一改傳統白光干涉操作復雜的問題，實現一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現卓越的重復性表現。2)系統集成CST連續掃描技術，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。3）可搭載多普勒激光測振系統，實現實現“動態”3D輪廓測量。實際案例1，優于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7

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