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圖像傳感器圖像傳感器是在光電技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的將光學(xué)圖像轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的器件,分為真空管圖像傳感器和半導(dǎo)體圖像傳感器。固態(tài)圖像傳感器是高度集成的半導(dǎo)體光電器件,在一個(gè)器件上可以完成光電信號(hào)的轉(zhuǎn)換、傳輸和處理。固態(tài)圖像傳感器的核心是電荷轉(zhuǎn)移器件,有五種類型:電荷耦合器件(CCD)互補(bǔ)式金屬-氧化物-半導(dǎo)體(CMOS)型電荷注入器件(CID)電荷引發(fā)器件(CPD)疊層型成像器件圖像傳感器圖像傳感器是在光電技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的將光學(xué)圖像
電荷耦合器件(ChargeCoupledDevice,簡(jiǎn)稱CCD)是以陣列形式排列在襯底材料上的金屬-氧化物-半導(dǎo)體(MetalOxideSemiconductor,簡(jiǎn)稱MOS)電容器組成的,具有光生電荷、積蓄和轉(zhuǎn)移的功能。MOS光敏單元電荷耦合器件(CCD)
光敏單元陣列電荷耦合器件(ChargeCoupledDevice,
以P型襯底MOS結(jié)構(gòu)為例,如果在金屬電極——柵極上施加一足夠大的正點(diǎn)壓,半導(dǎo)體表面將處于深耗盡狀態(tài),在半導(dǎo)體表面形成電子勢(shì)阱。半導(dǎo)體表面相對(duì)于體內(nèi)的電勢(shì)差稱為勢(shì)阱深度。勢(shì)阱可以存儲(chǔ)少數(shù)載流子(在P型襯底情況下少數(shù)載流子是電子),勢(shì)阱越深存儲(chǔ)電荷越多。當(dāng)光照射到硅片上時(shí),在光子作用下產(chǎn)生電子-空穴對(duì),自由電子會(huì)被勢(shì)阱收集,電子數(shù)主要取決于光照強(qiáng)度和收集(積分)時(shí)間的長(zhǎng)短。CCD以電荷作為信號(hào)的載體,而不是電壓或電流。
CCD電荷的產(chǎn)生以P型襯底MOS結(jié)構(gòu)為例,如果在金屬電極——柵極上施加一足
為了將勢(shì)阱中的電荷轉(zhuǎn)移并輸出,每個(gè)光敏單元對(duì)應(yīng)設(shè)置3個(gè)相鄰的電極(三相)作為轉(zhuǎn)移單元,電極上的脈沖電壓相位依次相差120°,波形都是前緣陡峭后緣傾斜。
**可以是二相、三相、四相等結(jié)構(gòu)。電荷轉(zhuǎn)移CCD電荷的轉(zhuǎn)移為了將勢(shì)阱中的電荷轉(zhuǎn)移并輸出,每個(gè)光敏單元
在t1時(shí)刻,電極1、4、7下方出現(xiàn)勢(shì)阱,并接收各自對(duì)應(yīng)光生電荷包,電荷的多少與光強(qiáng)有關(guān)。
在t2時(shí)刻,電壓φ1下降,電壓φ2最高,電極2、5、8下方勢(shì)阱最深,原來存儲(chǔ)在電極1、4、7下方的電荷將在電場(chǎng)作用下轉(zhuǎn)移到2、5、8下方。
到t3時(shí)刻,電荷全部向右轉(zhuǎn)移的一步。依次類推,在t5時(shí)刻,電荷將轉(zhuǎn)移到電極3、6、9下方。CCD電荷的轉(zhuǎn)移在t1時(shí)刻,電極1、4、7下方出現(xiàn)勢(shì)阱,并
CCD電荷的轉(zhuǎn)移CCD電荷的轉(zhuǎn)移
CCD結(jié)構(gòu)CCD結(jié)構(gòu)主要功能模塊:光敏區(qū)(成像區(qū)、光電轉(zhuǎn)換)轉(zhuǎn)移柵(隔離,轉(zhuǎn)移電荷)電荷移位寄存器陣列(電荷移位輸出)電荷/電壓轉(zhuǎn)換器和電壓放大器(輸出視頻信號(hào))CCD結(jié)構(gòu)CCD結(jié)構(gòu)主要功能模塊:
CCD圖像傳感器一般分為線型和面型。二者的原理類似,都是通過光學(xué)成像系統(tǒng)將景物圖像成在CCD的像敏面上。CCD圖像傳感器分類線型CCD可以直接接收一維光信號(hào),主要用于測(cè)試、傳真和光學(xué)文字識(shí)別技術(shù)等方面。CCD可以把光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)。每一個(gè)脈沖反應(yīng)一個(gè)光敏元的受光情況,脈沖幅度的高低反映該光敏元受光的強(qiáng)弱,輸出脈沖的順序可以反映光敏元的位置,這就構(gòu)成了圖像傳感器。CCD圖像傳感器一般分為線型和面型。二者的原理類似,都是通
最簡(jiǎn)單的線型CCD是單通道式的,它包括感光區(qū)(光積分單元)和傳輸區(qū)兩部分:感光區(qū)由一列光敏單元組成;傳輸區(qū)由轉(zhuǎn)移柵及一列移位寄存器組成。光照產(chǎn)生的信號(hào)電荷存儲(chǔ)于感光區(qū)的勢(shì)阱中。在轉(zhuǎn)移脈沖到來時(shí),光敏陣列勢(shì)阱中的電荷被并行轉(zhuǎn)移到移位寄存器中,最后在時(shí)鐘脈沖的作用下一位位的移出,形成視頻信號(hào)。傳輸區(qū)是遮光的,以防止因光生噪聲電荷的干擾造成圖像模糊。線型CCD工作原理最簡(jiǎn)單的線型CCD是單通道式的,它包括感光區(qū)(光積分單元)
為了減少信號(hào)電荷在轉(zhuǎn)移過程中的損失,通常采用雙通道式結(jié)構(gòu)。雙通道式CCD有兩列移位寄存器,平行的分置在感光區(qū)兩側(cè)。同樣感光區(qū)的雙通道線型CCD比單通道線型CCD的轉(zhuǎn)移次數(shù)減少一半,降低了傳輸損耗,同時(shí)也縮短了器件尺寸。線型CCD工作原理為了減少信號(hào)電荷在轉(zhuǎn)移過程中的損失,通常采
線型CCD工作原理線掃相機(jī)視覺檢測(cè)平臺(tái)線型CCD工作原理線掃相機(jī)
隔列轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)的像敏單元呈二維排列,每列像敏單元被遮光的垂直移位寄存器隔開,像敏單元與垂直移位寄存器之間又有轉(zhuǎn)移控制柵。像敏單元中的信號(hào)電荷在轉(zhuǎn)移柵電壓控制下轉(zhuǎn)移到垂直移位寄存器,然后在讀出脈沖作用下逐行轉(zhuǎn)移到水平移位寄存器中,再由水平移位寄存器快速輸出,得到視頻信號(hào)。常見的結(jié)構(gòu)有隔列轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)(行間傳輸)和幀轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)(場(chǎng)傳輸)。面型CCD工作原理隔列轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)的像敏單元呈二維排列,每列像敏
幀轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)包括成像區(qū)(光敏區(qū))、電荷移位寄存器和水平移位寄存器三部分。當(dāng)光積分周期結(jié)束時(shí),加在成像區(qū)和存儲(chǔ)區(qū)電極上的時(shí)鐘脈沖使所收集到的信號(hào)電荷迅速轉(zhuǎn)移到存儲(chǔ)區(qū)中。然后逐行轉(zhuǎn)移到讀出寄存器并輸出。在第一幀讀出的同時(shí),成像區(qū)開始收集第二幀信號(hào)電荷。一旦第一幀信號(hào)被全部讀出,馬上傳送第二幀信號(hào),實(shí)現(xiàn)連續(xù)輸出。面型CCD工作原理幀轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)包括成像區(qū)(光敏區(qū))、電荷移位寄存器和水平移位寄
彩色CCD結(jié)構(gòu)CCD硅芯片不能區(qū)分不同光譜的顏色,為了區(qū)分光譜的RGB三基色,常采用兩種方式:1.三晶片結(jié)構(gòu):利用三棱鏡組將圖像分為RGB三基色圖像,分別投影到三片CCD芯片上。圖片質(zhì)量高;結(jié)構(gòu)復(fù)雜,價(jià)格昂貴彩色CCD結(jié)構(gòu)CCD硅芯片不能區(qū)分不同光譜的顏色,
彩色CCD結(jié)構(gòu)2.彩色濾波陣列—Bayer濾波器模式彩色濾波馬賽克;犧牲分辨率,簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu),降低價(jià)格;通過反馬賽克算法從Bayer模式圖像恢復(fù)出RGB模式圖像。彩色CCD結(jié)構(gòu)2.彩色濾波陣列—Bayer濾波器模式
彩色CCD結(jié)構(gòu)基于USB2.0總線的高分辨數(shù)字圖像傳感器(1280*1024)
彩色CCD結(jié)構(gòu)基于USB2.0總線的高分辨數(shù)字圖像傳感器
CCD的長(zhǎng)寬比和尺寸CCD長(zhǎng)寬比為4:3,尺寸如圖所示:CCD像元密度Z——有效區(qū)內(nèi)采樣的點(diǎn)數(shù):768*576,1024*768,2048*2048等CCD的長(zhǎng)寬比和尺寸CCD長(zhǎng)寬比為4:3,尺寸如圖
1.響應(yīng)度(靈敏度):光電轉(zhuǎn)換效率,輸出電信號(hào)與輸入光信號(hào)能量之比;與入射光波長(zhǎng)有關(guān),因此分為光譜響應(yīng)度(對(duì)特定波長(zhǎng)入射光)和積分響應(yīng)度(對(duì)連續(xù)波長(zhǎng)輻射光);2.光譜特性:響應(yīng)度與入射光頻率或波長(zhǎng)的關(guān)系(光譜峰值);
CCD硅晶片對(duì)400nm至1060nm的光波都很敏感,為使CCD和人眼對(duì)外界圖像的感應(yīng)盡可能一致,常在CCD前方加入紅外濾波器(Infra-RedFilter)。在機(jī)器視覺中,可將IR濾波器去掉,或加入特定光譜濾波器,制成紅外光感應(yīng)器。CCD的基本特性參數(shù)1.響應(yīng)度(靈敏度):光電轉(zhuǎn)換效率,輸出電信號(hào)與輸入光信
CCD的光譜特性CCD的光譜特性
CCD的光譜特性可見光與近紅外混合成像,波長(zhǎng)約為400-1200nmCCD的光譜特性可見光與近紅外混合成像,波長(zhǎng)約為400
CCD的基本特性參數(shù)3.暗電流:無光信號(hào)時(shí)的輸出電流——圖像噪聲;4.分辨率:取決于光敏單元間距,常用光敏單元數(shù)表示,一般像元越多分辨率越高;實(shí)際分辨率還與CCD光敏單元的中心間距、光學(xué)系統(tǒng)的放大率有關(guān)。CCD實(shí)際分辨率=光敏單元中心距/光學(xué)系統(tǒng)放大倍率最大被測(cè)物尺寸=最大成像尺寸/光學(xué)系統(tǒng)放大倍數(shù)5.均勻性:光敏單元對(duì)光強(qiáng)度響應(yīng)的一致性。CCD的基本特性參數(shù)3.暗電流:無光信號(hào)時(shí)的輸出電流——
非接觸檢測(cè);響應(yīng)快;可靠性高,維修簡(jiǎn)便;測(cè)量精度高;體積小,重量輕;容易與計(jì)算機(jī)連接;對(duì)被測(cè)物體需要強(qiáng)光照射;受被測(cè)物體以外的光的影響.CCD傳感器的應(yīng)用特點(diǎn)非接觸檢測(cè);CCD傳感器的應(yīng)用特點(diǎn)
CMOS圖像傳感器
CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor)互補(bǔ)式金屬-氧化物-半導(dǎo)體,NMOS和PMOS串聯(lián);是集成電路中廣泛使用的一個(gè)基本單元,在動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器中廣泛使用,如計(jì)算機(jī)內(nèi)存;出現(xiàn)于20世紀(jì)70年代初,早期CMOS圖像傳感器圖片質(zhì)量差,僅用于低端產(chǎn)品;90年代后重新得到關(guān)注,低功耗、高集成度;已廣泛用于各種高、中、低端圖像采集設(shè)備。CMOS圖像傳感器CMOS(Complementar
CCD和CMOS的工作框圖以電荷形式傳輸以電壓形式傳輸CCD和CMOS的工作框圖以電荷形式傳輸以電壓形
CCD和CMOS的集成度CMOS芯片除了具有CCD芯片的功能單元,還包括了控制電路、A/D轉(zhuǎn)換和視頻信號(hào)處理電路,可以進(jìn)行亮度、對(duì)比度、噪音抑制、邊緣檢測(cè)等復(fù)雜處理。CCD和CMOS
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