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文檔簡介

-----WORD格式--可編輯--專業(yè)資料----- 第一章.按規(guī)模劃分,集成電路的發(fā)展已經(jīng)經(jīng)歷了哪幾代?它的發(fā)展遵循了一條業(yè)界著名的定律,請說出是什么定律?晶體管-分立元件-SSI-MSI-LSI-VLSI-ULSI-GSI-SOC。MOORE定律.什么是無生產(chǎn)線集成電路設計?列出無生產(chǎn)線集成電路設計的特點和環(huán)境。擁有設計人才和技術(shù),但不擁有生產(chǎn)線。特點:電路設計,工藝制造,封裝分立運行。環(huán)境:IC產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)能力剩余,人們需要更多的功能芯片設計.多項目晶圓(MPW)技術(shù)的特點是什么?對發(fā)展集成電路設計有什么意義?MPW:把幾到幾十種工藝上兼容的芯片拼裝到一個宏芯片上,然后以步行的方式排列到一到多個晶圓上。意義:降低成本。.集成電路設計需要哪四個方面的知識?系統(tǒng),電路,工具,工藝方面的知識第二章.為什么硅材料在集成電路技術(shù)中起著舉足輕重的作用?原材料來源豐富,技術(shù)成熟,硅基產(chǎn)品價格低廉.GaAs和InP材料各有哪些特點?P10,11.怎樣的條件下金屬與半導體形成歐姆接觸?怎樣的條件下金屬與半導體形成肖特基接觸?接觸區(qū)半導體重摻雜可實現(xiàn)歐姆接觸,金屬與摻雜半導體接觸形成肖特基接觸.說出多晶硅在CMOS工藝中的作用。P13.列出你知道的異質(zhì)半導體材料系統(tǒng)。GaAs/AlGaAs,InP/InGaAs,Si/SiGe,.SOI材料是怎樣形成的,有什么特點?SOI絕緣體上硅,可以通過氧隔離或者晶片粘結(jié)技術(shù)完成。特點:電極與襯底之間寄生電容大大減少,器件速度更快,功率更低.肖特基接觸和歐姆型接觸各有什么特點?肖特基接觸:阻擋層具有類似PN結(jié)的伏安特性。歐姆型接觸:載流子可以容易地利用量子遂穿效應相應自由傳輸。.簡述雙極型晶體管和MOS晶體管的工作原理。P19,21第三章.寫出晶體外延的意義,列出三種外延生長方法,并比較各自的優(yōu)缺點。意義:用同質(zhì)材料形成具有不同摻雜種類及濃度而具有不同性能的晶體層。外延方法:液態(tài)生長,氣相外延生長,金屬有機物氣相外延生長.寫出掩膜在IC制造過程中的作用,比較整版掩膜和單片掩膜的區(qū)別,列舉三種掩膜的制造方法。P28,29.寫出光刻的作用,光刻有哪兩種曝光方式? 作用:把掩膜上的圖形轉(zhuǎn)換成晶圓上的器件結(jié)構(gòu)。曝光方式有接觸與非接觸兩種。.X射線制版和直接電子束直寫技術(shù)替代光刻技術(shù)有什么優(yōu)缺點?X射線(X-ray)具有比可見光短得多的波長,可用來制作更高分辨率的掩膜版。電子束掃描法,,由于高速電子的波長很短,分辨率很高.說出半導體工藝中摻雜的作用,舉出兩種摻雜方法,并比較其優(yōu)缺點。熱擴散摻雜和離子注入法。與熱擴散相比,離子注入法的優(yōu)點如下:1.摻雜的過程可通過調(diào)整--完整版學習資料分享---------WORD格式--可編輯--專業(yè)資料----- 雜質(zhì)劑量與能量來精確控制雜質(zhì)分布。2.可進行小劑量的摻雜。3.可進行極小深度的摻雜。4.較低的工業(yè)溫度,故光刻膠可用作掩膜。5.可供摻雜的離子種類較多,離子注入法也可用于制作隔離島。缺點:價格昂貴,大劑量注入時,半導體晶格會遭到嚴重破壞且難以恢復.列出干法和濕法氧化法形成5102的化學反應式。干氧Si+O2-SiO2濕氧Si+2H2O-SiO2+2H2第四章.Si工藝和GaAs工藝都有哪些晶體管結(jié)構(gòu)和電路形式?見表4.1.比較CMOS工藝和GaAs工藝的特點。CMOS工藝技術(shù)成熟,功耗低。GaAs工藝技術(shù)不成熟,工作頻率高。.什么是MOS工藝的特征尺寸?工藝可以實現(xiàn)的平面結(jié)構(gòu)的最小寬度,通常指最小柵長。.為什么硅柵工藝取代鋁柵工藝成為CMOS工藝的主流技術(shù)?鋁柵工藝缺點是,制造源漏極與制造柵極需要兩次掩膜步驟(MASKSTEP),不容易對齊。硅柵工藝的優(yōu)點是:自對準的,它無需重疊設計,減小了電容,提高了速度,增加了電路的穩(wěn)定性。.為什么在柵長相同的情況下NMOS管速度要高于PMOS管?因為電子的遷移率大于空穴的遷移率.簡述CMOS工藝的基本工藝流程。P.52.常規(guī)N-WellCMOS工藝需要哪幾層掩膜?每層掩膜分別有什么作用? P50表4.3第五章.說出MOSFET的基本結(jié)構(gòu)。MOSFET由兩個PN結(jié)和一個MOS電容組成。.寫出MOSFET的基本電流方程。M?"[(V—V)V—”2]tox lGSTDS2DS.MOSFET的飽和電流取決于哪些參數(shù)?飽和電流取決于柵極寬度W,柵極長度L,柵-源之間壓降匕『閾值電壓VT,氧化層厚度tOX,氧化層介電常數(shù)自OX.為什么說MOSFET是平方率器件?因為MOSFET的飽和電流具有平方特性.什么是MOSFET的閾值電壓?它受哪些因素影響?閾值電壓就是將柵極下面的Si表面從P型Si變成N型Si所必要的電壓。影響它的因素有4個:材料的功函數(shù)之差,SiO2層中可以移動的正離子的影響,氧化層中固定電荷的影響,界面勢阱的影響.什么是MOS器件的體效應?由于襯底與源端未連接在一起,而引起的閾值電壓的變化叫做體效應。.說明L、W對MOSFET的速度、功耗、驅(qū)動能力的影響。P70,71.MOSFET按比例收縮后對器件特性有什么影響?--完整版學習資料分享----

-----WORD格式--可編輯--專業(yè)資料-----,。5不變,器件占用面積減少,提高電路集成度,減少功耗.MOSFET存在哪些二階效應?分別是由什么原因引起的?P.70-73溝道長度調(diào)制效應,體效應,亞閾值效應.說明MOSFET噪聲的來源、成因及減小的方法。噪聲來源:熱噪聲和閃爍噪聲。熱噪聲是由溝道內(nèi)載流子的無規(guī)則熱運動造成的,可通過增加MOS管的柵寬和偏置電流減少熱噪聲。閃爍噪聲是由溝道處二氧化硅與硅界面上電子的充放電引起的,增加柵長柵寬可降低閃爍噪聲。第八章.芯片電容有幾種實現(xiàn)結(jié)構(gòu)?①利用二極管和三極管的結(jié)電容;②叉指金屬結(jié)構(gòu);③金屬-絕緣體-金屬(MIM)結(jié)構(gòu);④多晶硅/金屬-絕緣體-多晶硅結(jié)構(gòu)。.采用半導體材料實現(xiàn)電阻要注意哪些問題?精度、溫度系數(shù)、寄生參數(shù)、尺寸、承受功耗以及匹配等方面問題3.畫出電阻的高頻等效電路。3.畫出電阻的高頻等效電路。.芯片電感有幾種實現(xiàn)結(jié)構(gòu)?(1)集總電感集總電感可以有下列兩種形式:①匝線圈;②圓形、方形或其他螺旋形多匝線圈;(2)傳輸線電感.微波集成電路設計中,場效應晶體管的柵極常常通過一段傳輸線接偏置電壓。試解釋其作用。阻抗匹配6.6.微帶線傳播TEM波的條件是什么?w,h<AD/(40Er1^)7.在芯片上設計微帶線時,如何考慮信號完整性問題?--完整版學習資料分享---------WORD格式--可編輯--專業(yè)資料----- 為了保證模型的精確度和信號的完整性,需要對互連線的版圖結(jié)構(gòu)加以約束和進行規(guī)整。為了減少信號或電源引起的損耗以及為了減少芯片面積,大多數(shù)連線應該盡量短。應注意微帶線的趨膚效應和寄生參數(shù)。在長信號線上,分布電阻電容帶來延遲;而在微帶線長距離并行或不同層導線交叉時,要考慮相互串擾問題。8.列出共面波導的特點。CPW的優(yōu)點是:①工藝簡單,費用低,因為所有接地線均在上表面而不需接觸孔。在相鄰的CPW之間有更好的屏蔽,因此有更高的集成度和更小的芯片尺寸。比金屬孔有更低的接地電感。低的阻抗和速度色散。CPW的缺點是:①衰減相對高一些,在50GHz時,CPW的衰減是0.5dB/mm;③由于厚的介質(zhì)層,導熱能力差,不利于大功率放大器的實現(xiàn)。第七章.集成電路電路級模擬的標準工具是什么軟件,能進行何種性能分析?集成電路電路級模擬的標準工具是SPICE可以進行:直流工作點分析直流掃描分析小信號傳輸函數(shù)交流特性分析直流或小信號交流靈敏度分析噪聲分析瞬態(tài)特性分析傅里葉分析失真分析零極點分析.寫出MOS的SPICE元件輸入格式與模型輸入格式。元件輸入格式:M<編號〉〈漏極結(jié)點〉(柵極結(jié)點〉〈源極結(jié)點〉〈襯底結(jié)點〉(模型名稱〉<寬W><長L>(<插指數(shù)M>)例如:M1outin00nmosW=1.2uL=1.2uM=2模型輸入格式:.Model<模型名稱><模型類型><模型參數(shù)>……例如:,MODELNMOSNMOSLEVEL=2LD=0.15UTOX=200.0E-10VTO=0.74KP=8.0E-05+NSUB=5.37E+15GAMMA=0.54PHI=0.6U0=656UEXP=0.157UCRIT=31444+DELTA=2.34VMAX=55261XJ=0.25ULAMBDA=0.037NFS=1E+12NEFF=1.001+NSS=1E+11TPG=1.0RSH=70.00PB=0.58+CGDO=4.3E-10CGSO=4.3E-10CJ=0.0003MJ=0.66CJSW=8.0E-10MJSW=0.24--完整版學習資料分享----

-----WORD格式--可編輯--專業(yè)資料.其中,+為SPICE語法,表示續(xù)行。.用SPICE程序仿真出MOS管的輸出特性曲線。.titleCH6-3.include“models.sp”Ml2100nmosw=5ul=1.0uVds205Vgs101.dcvds050.2vgs151.printdcv(2)i(vds).end4.構(gòu)思一個基本電路如一個放大器,畫出電路圖,編寫SPICE輸入文件,執(zhí)行分析,觀察結(jié)果。4..titleCH6-4.include“models.sp”.globalvddM1outin00nmosw=5ul=1.0uM2outinvddvddpmosw=5ul=1.0uVccvdd05Vinin0sin(0110G1ps0).trans0.01u4u.printtransv(out).end第八章.說明版圖與電路圖的關(guān)系。版圖(Layout)是集成電路設計者將設計、模擬和優(yōu)化后的電路轉(zhuǎn)化成為一系列的幾何圖形,它包含了集成電路尺寸、各層拓撲定義等器件相關(guān)的物理信息數(shù)據(jù)。版圖與電路圖是一一對應的,包括元件對應以及結(jié)點連線對應。.說明版圖層、掩膜層與工序的關(guān)系。集成電路制造廠家根據(jù)版圖中集成電路尺寸、各層拓撲定義等器件相關(guān)的物理信息數(shù)據(jù)來制造掩膜。根據(jù)復雜程度,不同工藝需要的一套掩膜可能有幾層到十幾層。一層掩膜對應于一種工藝制造中的一道或數(shù)道工序。掩膜上的圖形決定著芯片上器件或連接物理層的尺寸。因此版圖上的幾何--完整版學習資料分享---------WORD格式--可編輯--專業(yè)資料.圖形尺寸與芯片上物理層尺寸直接相關(guān)。.說明設計規(guī)則與工藝制造的關(guān)系。由于器件的物理特性和工藝限制,芯片上物理層的尺寸對版圖的設計有著特定的規(guī)則,這些規(guī)則是各集成電路制造廠家根據(jù)本身的工藝特點和技術(shù)水平而制定的。因此不同的工藝,就有不同的設計規(guī)則。.設計規(guī)則主要包括哪幾種幾何關(guān)系?設計規(guī)則主要包括各層的最小寬度、層與層之間的最小間距以及最小交疊等。.給出版圖設計中的圖元(Instance)與電路中的元件(Element)概念的區(qū)別。圖元可以是一些不具有電路功能的圖形組合,譬如以圖形組成的字母、圖標(Logo)等。.為提高電路性能在版圖設計中要注意哪些準則?(1)匹配設計(2)抗干擾設計(3)寄生優(yōu)化設計(4)可靠性設計.版圖設計中整體布局有哪些注意事項?(1)布局圖應盡可能與功能框圖或電路圖一致,然后根據(jù)模塊的面積大小進行調(diào)整。(2)設計布局圖的一個重要的任務是安排焊盤。一個設計好的集成電路應該有足夠的焊盤來進行信號的輸入/輸出和連接電源電壓及地線。(3)集成電路必須是可測的。最后的測試都是將芯片上的輸入/輸出焊盤和測試探針或封裝線連接起來。.版圖設計中元件布局布線方面有哪些注意事項?(1)金屬連線的寬度是版圖設計必須考慮的問題。(2)應確保電路中各處電位相同。芯片內(nèi)部的電源線和地線應全部連通,對于襯底應該保證良好的接地。(3)對高頻信號,盡量減少寄生電容的干擾,對直流信號,盡量利用寄生電容來旁路掉直流信號中的交流成分從而穩(wěn)定直流。(4)對于電路中較長的走線,要考慮到電阻效應。為防止寄生大電阻對電路性能的影響,電路中盡量不走長線。.簡述用cadence軟件進行全定制IC設計的流程。I原理圖建庫;建底層單元;電路圖輸入;設置電路元件屬性;Check&Save;生成symbol;原理圖仿真。II版圖(1) 新建一個library/cell/view;--完整版學習資料分享----

,WORD格式--可編輯--專業(yè)資料.進行cell的版圖編輯;版圖驗證;寄生提取與后仿真;導出GDSII文件。第九章.小信號放大器有哪些特點?小信號放大器工作在小信號狀態(tài),提供放大的信號電流和電壓,需要考慮電路的增益和帶寬等指標。.限幅放大器屬于小信號放大器還是大信號放大器?大信號放大器.運算放大器有哪些特點和性能指標?運算放大器是高增益的差動放大器,通常工作在閉環(huán)狀態(tài)。其性能指標有:增益小信號帶寬大信號帶寬輸出擺幅線形度噪聲與失調(diào)電源抑制.說明環(huán)形振蕩器的工作原理,比較環(huán)形RC振蕩器和LC振蕩器的優(yōu)缺點。環(huán)形振蕩器是由若干增益級首尾相連組成的,是一個總直流相位偏移180。的N個增益級級聯(lián)于反饋電路

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