標準解讀

《YS/T 718-2009 平面磁控濺射靶材 光學薄膜用鈮靶》是中國有色金屬行業標準之一，該標準詳細規定了用于光學薄膜制備過程中作為平面磁控濺射源的鈮靶的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和貯存等內容。

根據此標準，鈮靶按照純度分為Nb-0級（純度≥99.95%）與Nb-1級（純度≥99.9%），并明確了不同級別鈮靶的具體化學成分要求。此外，還對鈮靶的外觀質量提出了具體要求，如表面應光滑無裂紋、氣孔等缺陷；尺寸偏差也有明確規定，包括直徑、厚度及平面度等參數需符合特定范圍內的限制值。

在物理性能方面，該標準對密度、電阻率等關鍵指標設定了相應的限值，并給出了測試這些性能的方法。同時，對于如何進行取樣、檢測樣品準備以及具體的分析測試步驟也做了詳細的描述，確保了測試結果的一致性和可靠性。

關于驗收規則，《YS/T 718-2009》規定了每批產品出廠前必須經過嚴格的質量檢查，只有當所有項目均達到標準要求時才能被認定為合格品。如果初次檢驗不合格，則允許從同一批次中抽取雙倍數量的樣品進行復檢，最終判定依據以復檢結果為準。

最后，在包裝、標識、運輸和儲存方面，本標準提供了指導原則，旨在保證鈮靶在整個供應鏈過程中的安全性和完整性。例如，推薦使用防潮、防震材料進行包裝，并清晰地標明產品的相關信息如規格型號、生產日期等；運輸時應注意避免劇烈碰撞；存放條件則建議保持干燥通風環境，遠離腐蝕性物質。


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  • 2009-12-04 頒布
  • 2010-06-01 實施
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文檔簡介

犐犆犛７７．１５０．９９

犎６３

中華人民共和國有色金屬行業標準

犢犛／犜７１８—２００９

平面磁控濺射靶材

光學薄膜用鈮靶

犉犾犪狋犿犪犵狀犲狋犻狀犵狊狆狌狋狋犲狉犻狀犵狋犪狉犵犲狋—

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２００９１２０４發布２０１００６０１實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

書

犢犛／犜７１８—２００９

前言

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口。

本標準起草單位：利達光電股份有限公司。

本標準主要起草人：李智超、楊太禮、付勇、段玉玲、張向東、趙倫。

Ⅰ

書

犢犛／犜７１８—２００９

平面磁控濺射靶材

光學薄膜用鈮靶

１范圍

本標準規定了平面磁控濺射光學薄膜用鈮靶材的要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存

及訂貨單（或合同）內容。

本標準適用于平面磁控濺射光學薄膜用鈮靶材。

２規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ／Ｔ２０４０銅及銅合金板材

ＧＢ／Ｔ３６３０鈮板材、帶材和箔材

ＧＢ／Ｔ５１２１（所有部分）銅及銅合金化學分析方法

ＧＢ／Ｔ５２３１加工銅及銅合金化學成分和產品形狀

ＧＢ／Ｔ６３９４金屬平均晶粒度測定方法

ＧＢ／Ｔ１５０７６（所有部分）鉭鈮化學分析方法

３術語和定義

下列術語和定義適用于本標準。

搭接率犅狅狀犱犻狀犵犘犲狉犮犲狀狋犪犵犲

鈮板與背板之間的實際接合面積占應接合面積的百分比。

４要求

４．１材質

背板（銅板）和鈮板。

４．２化學成分

鈮板的牌號及其化學成分應符合ＧＢ／Ｔ３６３０的規定；銅板的牌號及其化學成分應符合ＧＢ／Ｔ５２３１

的規定。

４．３靶材的尺寸及允許偏差

靶材的尺寸及允許偏差由供需雙方協商。

４．４表面狀況

靶材表面粗糙度及平面度由供需雙方協商。

４．５外觀質量

鈮板和

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