ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T36504—2018

印刷線路板表面污染物分析

俄歇電子能譜

Guidefortheanalysisoftheprintedcircuitboardsurfacecontamination—

Augerelectronspectroscopy

2018-07-13發布2019-06-01實施

國家市場監督管理總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T36504—2018

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語定義

3…………………1

方法概述

4…………………1

樣品制備與安裝

5…………………………2

分析步驟

6…………………3

測量報告

7…………………6

參考文獻

………………………7

GB/T36504—2018

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準起草單位清華大學南京信息工程大學

:、。

本標準主要起草人姚文清楊立平騰飛徐同廣嚴楷李展平王雅君陳圣朱永法

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T36504—2018

引言

隨著高科技的發展需要提高電子產品的功能和性能高度集成化的工藝要求使印刷線路板越來越

,,

向微小精細的方向發展對于器件表面工藝技術有愈加苛刻的要求由此印刷線路板表面污染物分析

,。,

至關重要

。

俄歇電子能譜具有很高的表面靈敏度其檢測深度約為原子單層

(AES),3~10(0.4nm~5nm),

檢測極限為-3原子濃度空間分辨率可達到可用于分析除氫和氦以外元素的定性定

10,4nm,(Li-U)、

量分析廣泛用于材料的表面化學分析

,。

本標準規定了一種高分辨率俄歇電子能譜儀測量印刷線路板表面污染物的方法為印刷線路板的

,

失效分析提供了參考

。

Ⅱ

GB/T36504—2018

印刷線路板表面污染物分析

俄歇電子能譜

1范圍

本標準規定了一種準確測量印刷線路板鍍金手指表面污染物的方

PCB(printedcircuitboard)

法俄歇電子能譜法

———(AES)。

本標準適用于具有一定導電性固體表面納米尺度元素分布的準確測量

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008

俄歇電子能譜分析方法通則

GB/T26533—2011

表面化學分析高分辨俄歇電子能譜儀元素和化學態分析用能量標校準

GB/T29731—2013

表面化學分析深度剖析濺射深度測量

GB/T29557—2013

表面化學分析分析樣品的制備和安裝方法指南

GB/T30815—2014

表面化學分析俄歇電子能譜數據記錄與報告的規范要求

GB/T32565—2016(AES)

表面化學分析俄歇電子能譜荷電控制與校正方法報告的規范要求

GB/T32998—2016

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4方法概述

41電離截面

.

電離截面是指原子中一個已被電子占據的殼層中將產生空位過程的截面是一束電子轟擊樣品

。

時具有能量的原電子束使原子內殼層電離并形成空位的幾率

,。

根據半經驗方法計算電離截面可以用式來進行計算

,(1)。

-

.×14abéUù

WWêú

Q=65110ê14-Uú

WE2?Uln.+.(1)?……(1)

W165235e

式中

:

Q原子的電離截面單位為平方厘米2

W———,