ICS3702017180

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N33..

中華人民共和國國家標準

GB/T26533—2011

俄歇電子能譜分析方法通則

GeneralrulesforAugerelectronspectroscopicanalysis

2011-05-12發布2011-12-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T26533—2011

目次

前言…………………………

Ⅲ

范圍………………………

11

規范性引用文件…………………………

21

術語和定義………………

31

方法原理…………………

41

儀器………………………

52

儀器組成……………

5.12

儀器性能……………

5.23

樣品………………………

63

分析步驟…………………

74

能量標尺校正………………………

7.14

定性分析及操作步驟…………

7.2AES6

俄歇電子能譜的定量分析…………

7.36

深度剖析……………

7.47

元素化學態分析……………………

7.57

分析結果的表述…………………………

87

俄歇全譜……………

8.17

窄譜…………………

8.27

線掃描譜……………

8.37

深度剖析譜…………………………

8.47

多點顯微對比分析…………………

8.58

樣品表面元素分布圖………………

8.6(Augermap)8

分析結果表述方式…………………

8.78

圖俄歇躍遷………………………

1KL1L32

圖俄歇電子能譜簡圖……………………

22

圖和三個參考物質的直接譜和微分譜相對能量分辨率………

3Cu、AuAl(0.3%)5

表參考物質的俄歇電子動能參考值……………………

14

Ⅰ

GB/T26533—2011

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準起草單位清華大學化學系

:。

本標準主要起草人姚文清李展平曹立禮朱永法

:、、、。

Ⅲ

GB/T26533—2011

俄歇電子能譜分析方法通則

1范圍

本標準規定了以電子束為激發源的俄歇電子能譜的一般表面

(AES,AugerElectronSpectroscopy)

分析方法

。

本標準適用于俄歇電子能譜儀

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008

表面化學分析深度分析濺射深度的測量

ISO/TR15969:2001(SurfaceChemicalAnalysis—

DepthProfiling—MeasurementofSputteredDepth)

表面化學分析表面分析樣品的制備和固定方法指南

ISO18116:2005(SurfaceChemicalAnal-

ysis—GuidelinesforPreparationandMountingofSpecimensforAnalysis)

表面化學分析和均勻材料定量分析所用的實驗相對靈敏度因

ISO18118:2002(E)AESXPS

子使用指南

(SurfaceChemicalAnalysis—AESandXPS—GuidetouseofExperimentalRelativeSensi-

tivityFactorsfortheQuantitativeAnalysisofHomogeneousMaterials)

表面化學分析俄歇電子能譜化學信息來源

ISO/TR18394:2006(SurfaceChemical

Analysis—AugerElectronSpectrometers—DerivationofChemicalInformation)

表面化學分析俄歇電子能譜和射線光電子譜分析者對于橫向分辨

ISO/TR19319:2003X

率分析范圍和樣品觀察范圍的測定

、(SurfaceChemicalAnalysis—AugerEletronSpectroscopyandX-

rayPhotoelectronSpectroscopy—DeterminationofLateralResolution,AnalysisArea,andSample

AreaViewedbytheAnalyser)

表面分析中制樣和裝樣的標準指南

ASTME1078—2002(StandsardGuideforSpecimenPrepa-

rationandMountinginSurfaceAnalysis)

表面分析前樣品處理標準指南

ASTME1829—2002