ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T30815—2014/ISO181162005

:

表面化學分析分析樣品的制備

和安裝方法指南

Surfacechemicalanalysis—Guidelinesforpreparationandmounting

ofspecimensforanalysis

(ISO18116:2005,IDT)

2014-06-24發布2015-02-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30815—2014/ISO181162005

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………1

一般要求

5…………………1

樣品的視檢

6………………1

樣品注意事項

7……………2

樣品的來歷

7.1…………………………2

探測的信息

7.2…………………………2

已使用其他分析技術分析過的樣品

7.3………………2

樣品污染的來源

8…………………………2

工具手套固定物和類似的材料

8.1、、…………………2

暴露于氣體

8.2…………………………3

暴露于儀器真空

8.3……………………3

暴露于電子離子或射線

8.4、X………………………3

分析室的污染

8.5………………………3

樣品的保存和傳遞

9………………………3

保存時間

9.1……………3

保存容器

9.2……………4

溫度和濕度

9.3…………………………4

樣品傳遞

9.4……………4

樣品安裝步驟

10……………4

常規步驟

10.1……………4

粉末和微粒

10.2…………………………4

線纖維和細絲

10.3、……………………5

支架固定

10.4……………5

減小分析過程的熱損傷

10.5……………5

減小樣品荷電的方法

11……………………5

概述

11.1…………………5

導電掩膜柵網包裹或鍍膜

11.2、、………………………5

中和槍

11.3………………6

電子束和離子束

11.4……………………6

樣品制備技術

12……………6

Ⅰ

GB/T30815—2014/ISO181162005

:

概述

12.1…………………6

機械分離

12.2……………6

減薄與去除

12.3…………………………6

基材的去除

12.4…………………………7

切片技術

12.5……………7

覆蓋層的生長

12.6………………………8

溶劑

12.7…………………8

化學刻蝕

12.8……………8

離子濺射

12.9……………8

等離子刻蝕

12.10………………………9

加熱

12.11………………9

紫外線照射

12.12………………………10

斷裂解理和劃刻

13、………………………10

斷裂

13.1………………10

解理

13.2………………10

劃刻

13.3………………10

特殊的樣品處理技術

14…………………11

放氣樣品的預抽真空

14.1……………11

粘性液體

14.2…………………………11

溶質余渣

14.3…………………………11

參考文獻

……………………12

Ⅱ

GB/T30815—2014/ISO181162005

:

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用表面化學分析分析樣品的制備和安裝方法指南

ISO18116:2005《》。

與本標準中規范性引用的國際文件有一致性對應關系的我國文件如下

:

表面化學分析詞匯

———GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準負責起草單位廈門愛勞德光電有限公司清華大學

:、。

本標準主要起草人王水菊時海燕李展平姚文清岑丹霞劉芬

:、、、、、。

Ⅲ

GB/T30815—2014/ISO181162005

:

引言

本標準旨在協助分析者對表面化學分析的樣品進行操作安裝和處理盡管本標準表述的方法主

、。

要是為俄歇電子能譜射線光電子能譜和二次離子質譜等表面分析技術準備

(AES)、X(XPS)(SIMS)

的但也可用于許多其他表面敏感的分析技術例如離子散射譜低能電子衍射和電子能量損失譜樣

,,,、,

品處理會影響這些表面敏感的分析技術的測試結果和對幾個納米厚度的表面層敏

。AES、XPSSIMS

感這樣的薄層會因導入分析室前的樣品安裝或表面處理而受到嚴重干擾

,。

正確的樣品制備和安裝對于表面化學分析是特別關鍵的不恰當的制備可能導致表面組成改變和

。

分析結果不可靠樣品要小心安裝以便盡可能減小或避免因安裝操作而引入的污染物為了使分析

。,。

結果能代表原始樣品在制備和安裝樣品時應保持樣品的表面狀態本標準表述了表面分析者在使用

,。

任何表面敏感的分析技術時為了把樣品制備的影響減到最小可能需要使用的方法本標準還表述了

,。

不影響所需分析信息的樣品安裝方法

。

Ⅳ

GB/T30815—2014/ISO181162005

:

表面化學分析表面分析樣品的制備

和安裝方法指南

1范圍

本標準提供了表面化學分析樣品安裝和表面處理方法的指導目的是幫助分析人員理解在使用俄

。

歇電子能譜二次離子質譜和射線光電子能譜等表面分析技術進行分析時所必需的專門樣品處理

、X,

條件

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

ISO18115(Surfacechemicalanalysis—Vocabulary)

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

ISO18115。

4符號和縮略語

俄歇電子能譜

AES:Augerelectronspectroscopy,;

二次離子質譜

SIMS:secondary-ionmassspectrometry,;

射線光電子能譜

XPS:X-rayphotoelectronspectroscopy,X。

5一般要求

關于樣品操作的一般信息有兩本書[1,2]是適用的表面敏感的分析技術所要求的潔凈度遠高于許

。

多其他分析形式不應裸手接觸樣品和樣品架盡可能減少或省去對擬分析表面的操作指紋攜有可