標準解讀

《GB/T 34879-2017 產品幾何技術規范(GPS) 光學共焦顯微鏡計量特性及測量不確定度評定導則》是一項國家標準,主要針對使用光學共焦顯微鏡進行測量時涉及的技術規范。該標準詳細規定了如何評價此類儀器的計量性能以及如何對通過這些設備獲得的數據進行不確定度分析。

首先,在計量特性方面,標準涵蓋了多個關鍵參數,如分辨率、線性度誤差、重復性和再現性等,并提供了具體測試方法來評估這些參數是否符合要求。對于分辨率來說,它不僅包括橫向分辨率也考慮到了縱向分辨率;而在線性度誤差上,則關注的是整個測量范圍內實際值與理論值之間偏差的程度。

其次,關于測量不確定度的評定部分,標準提供了一套系統的方法論框架,指導用戶從輸入量的選擇開始,經過模型建立、靈敏系數計算直至最終合成擴展不確定度報告的過程。這當中特別強調了需要識別所有可能影響結果的因素,并合理估計其帶來的不確定性貢獻,同時也要考慮到不同來源間可能存在相關性的問題。

此外,本標準還給出了實例分析,幫助讀者更好地理解如何將上述原則應用于實際案例中去。通過具體的步驟演示,展示了怎樣基于實驗數據完成不確定度評估,并且討論了一些常見的誤區及其避免策略。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2017-11-01 頒布
  • 2018-05-01 實施
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GB/T 34879-2017產品幾何技術規范(GPS)光學共焦顯微鏡計量特性及測量不確定度評定導則_第1頁
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GB/T 34879-2017產品幾何技術規范(GPS)光學共焦顯微鏡計量特性及測量不確定度評定導則-免費下載試讀頁

文檔簡介

ICS1704030

J04..

中華人民共和國國家標準

GB/T34879—2017

產品幾何技術規范GPS

()

光學共焦顯微鏡計量特性及測量

不確定度評定導則

GeometricalroductsecificationsGPS—Metroloical

pp()g

characteristicsandguidetouncertaintyofmeasurement

foropticalconfocalmicroscopes

2017-11-01發布2018-05-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34879—2017

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國產品幾何技術規范標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC240)。

本標準起草單位哈爾濱工業大學中機生產力促進中心中國計量科學研究院北京銳馳恒業儀器

:、、、

科技有限公司

本標準主要起草人劉儉李夢周明翠新陳剛施玉書譚久彬王偉波劉辰光王宇航李亮

:、、、、、、、、、。

GB/T34879—2017

產品幾何技術規范GPS

()

光學共焦顯微鏡計量特性及測量

不確定度評定導則

1范圍

本標準描述了光學共焦顯微鏡在宏觀或微觀三維表面形狀測量中的計量特性并規定了測量不確

,

定度評定的橫向和軸向測量結果的示值讀取方法

本標準適用于工業測量光學共焦顯微鏡

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產品幾何技術規范表面結構區域法第部分表面層析測量方法

ISO25178-600(GPS):600:

的計量特性

(Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part600:Metrologi-

calcharacteristicsforareal-topographymeasuringmethods)

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

31

.

共焦顯微術confocalmicroscopyCM

;

采用約束性照明和約束性探測借助軸向掃描獲得光學層析圖像并通過提取軸向最大信號位置確

,,

定區域樣品表面形狀的測量方法

注實現照明與探測約束的掩模圖案可能為單點多點網格或狹縫等任一能夠產生層析特性的掩模圖案

:、、。

32

.

照明模式illuminationpattern

使用特定圖形結構限定樣品被照明范圍的照明方式

33

.

探測模式detectionpattern

使用特定圖形結構限定探測器接收樣品成像信號區域范圍的探測方式

34

.

光學層析能力opticalsectioningstrength

共焦顯微鏡阻止離焦光信號被探測器接收的程度

35

.

平面掃描in-planescanning

在x-平面內獲得共焦層析圖像的機械或光學位移

y。

36

.

軸向掃描axialscan

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