ICS1704030

CCSN.51.

中華人民共和國國家標準

GB/T44926—2024

納米技術微區表面及亞表面表征

光學暗場共焦顯微法

Nanotechnologies—Characterizationofmicrosurfaceandsubsurface—

Opticaldark-fieldconfocalmicroscopy

2024-12-31發布2025-07-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T44926—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

原理

4………………………2

設備配置及測量條件

5……………………4

測量步驟

6…………………4

數據處理

7…………………5

結果表征

8…………………6

影響表征結果的因素

9……………………6

測試報告

10…………………7

附錄規范性暗場散射共焦模塊

A()……………………8

附錄資料性光學暗場共焦顯微鏡測量結果傾斜矯正方法

B()………9

附錄資料性光學暗場共焦顯微鏡亞表面測量介質校正系數計算方法

C()…………11

附錄資料性釹玻璃光學暗場共焦顯微測量結果示例

D()……………13

附錄資料性亞表面臺階高度測量結果示例

E()………15

參考文獻

……………………16

Ⅰ

GB/T44926—2024

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國科學院提出

。

本文件由全國納米技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC279)。

本標準起草單位哈爾濱工業大學中國計量科學研究院昆明物理研究所西安應用光學研究所

:、、、、

北京微電子技術研究所航天科工防御技術研究試驗中心

、。

本標準主要起草人劉儉施玉書劉辰光張樹胡旭張云龍李冬梅馮慧

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T44926—2024

引言

微納器件及高端光學元件的表面及亞表面質量控制是產品性能和使用壽命的重要影響因素對微

。

區表面及亞表面微米及納米尺度特征結構進行有效表征是提升微納加工及超精密加工機理探索工藝

,、

定型和量產質控能力的重要保障在超光滑光學元件微光學器件半導體材料等領域具有廣泛應用

,、、

需求

。

光學暗場共焦顯微鏡能夠實現對樣品微區表面和亞表面微弱暗場散射信號的三維高效探測本文

,

件的制定為使用光學暗場共焦顯微鏡表征光學透明固體材料的表面及亞表面特征結構提供了規范統一

的方法有利于提升高性能器件的檢測水平為精密光學元件及微納器件加工生產質控及新工藝研發提

,,

供檢測保障

。

Ⅳ

GB/T44926—2024

納米技術微區表面及亞表面表征

光學暗場共焦顯微法

1范圍

本文件描述了采用光學暗場共焦顯微鏡對微區表面及亞表面的表征方法

。

本文件適用于固體材料

。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

產品幾何技術規范光學共焦顯微鏡計量特性及測量不確定度評定

GB/T34879—2017(GPS)

導則

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T34879—2017。

31

.

亞表面subsurface

固體材料表面以下具有光學透明度的區域

。

注通常深度在百微米以內

:。

32

.

共焦顯微術confocalmicroscopyCM

;

采用約束性照明和約束性探測借助軸向掃描獲得光學層析圖像并通過提取軸向最大信號位置確

,,

定區域樣品表面形狀的測量方法

。

來源

[:GB/T34879—2017,3.1]

33

.

光學暗場共焦顯微鏡opticaldark-fieldconfocalmicroscopeODCM