中華人民共和國國家計量技術規范

JJF2160—2024

激光共聚焦顯微鏡校準規范

CalibrationSpecificationforLaserConfocalMicroscopes

2024-10-19發布2025-04-19實施

國家市場監督管理總局發布

JJF2160—2024

激光共聚焦顯微鏡校準規范??

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CalibrationSpecificationforJJF21602024

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LaserConfocalMicroscopes

歸口單位全國幾何量長度計量技術委員會

:

主要起草單位中國計量科學研究院

:

哈爾濱工業大學

參加起草單位南京市計量監督檢測院

:

本規范委托全國幾何量長度計量技術委員會負責解釋

JJF2160—2024

本規范主要起草人

:

施玉書中國計量科學研究院

()

劉儉哈爾濱工業大學

()

張樹中國計量科學研究院

()

參加起草人

:

王珉南京市計量監督檢測院

()

劉辰光哈爾濱工業大學

()

皮磊中國計量科學研究院

()

郭鑫南京市計量監督檢測院

()

JJF2160—2024

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

計量特性

4………………(2)

水平方向長度測量誤差

4.1……………(2)

垂直方向長度測量誤差

4.2……………(2)

水平方向長度測量重復性

4.3…………(2)

垂直方向長度測量重復性

4.4…………(2)

水平方向正交誤差

4.5…………………(2)

畸變

4.6…………………(2)

最大可測傾角

4.7………………………(2)

水平方向拼接誤差

4.8…………………(2)

垂直方向拼接誤差

4.9…………………(2)

載物臺定位誤差

4.10…………………(2)

校準條件

5………………(3)

環境條件

5.1……………(3)

校準項目和校準用標準器

5.2…………(3)

校準項目和校準方法

6…………………(4)

水平方向長度測量誤差

6.1……………(4)

垂直方向長度測量誤差

6.2……………(6)

水平方向長度測量重復性

6.3…………(8)

垂直方向長度測量重復性

6.4…………(8)

水平方向正交誤差

6.5…………………(8)

畸變

6.6…………………(9)

最大可測傾角

6.7………………………(10)

水平方向拼接誤差

6.8…………………(11)

垂直方向拼接誤差

6.9…………………(11)

載物臺定位誤差

6.10…………………(12)

校準結果表達

7…………(12)

復校時間間隔

8…………(12)

附錄激光共聚焦顯微鏡長度測量誤差的不確定度評定

A…………(13)

附錄激光共聚焦顯微鏡校準證書內頁格式

B()…………………(15)

Ⅰ

JJF2160—2024

引言

通用計量術語及定義測量不確定度評定與

JJF1001—2011《》、JJF1059.1—2012《

表示國家計量校準規范編寫規則測量儀器特

》、JJF1071—2010《》、JJF1094—2002《

性評定共同構成支撐本規范制定的基礎性系列規范

》。

本規范為首次發布

。

Ⅱ

JJF2160—2024

激光共聚焦顯微鏡校準規范

1范圍

本規范適用于激光共聚焦顯微鏡的校準其他基于共聚焦原理的顯微鏡校準也可參

,

照本規范

。

2引用文件

本規范引用了下列文件

:

產品幾何技術規范表面結構輪廓法測量標

GB/T19067.1—2003(GPS)

準第部分實物測量標準

1:

產品幾何技術規范光學共焦顯微鏡計量特性及測

GB/T34879—2017(GPS)

量不確定度評定導則

產品幾何量技術規范表面結構區域法第

ISO25178-607:2019(GPS):607

部分非接觸共焦顯微鏡儀器的標稱特性

:()[Geometricalproductspecifications

(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part607:Nominalcharacteristicsofnon-contact

(confocalmicroscopy)instruments]

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用本規范