標準解讀

《GB/T 30901-2014 高純氟化銨溶液》是一項國家標準，該標準規定了高純度氟化銨溶液的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和貯存的要求。適用于工業生產中使用的高純氟化銨溶液。

根據此標準，對于高純氟化銨溶液的質量控制主要體現在以下幾個方面：

  • 技術要求：明確了產品應達到的物理化學性質指標，包括但不限于外觀、密度、p值（或pH值）、主含量等關鍵參數，并對可能存在的雜質種類及其最大允許含量做出了限制。
  • 試驗方法：提供了測定上述各項指標的具體操作步驟與條件設置，確保檢測結果準確可靠。這些方法涵蓋了樣品處理、儀器設備選擇、分析過程控制等多個環節。
  • 檢驗規則：定義了抽樣方案、合格判斷準則等內容，指導生產企業如何進行批次間的質量一致性驗證。
  • 包裝、標志、運輸及儲存：詳細描述了成品出廠前后的處理方式，旨在保護產品質量不受外界因素影響，同時便于用戶識別與使用。


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....

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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2014-07-08 頒布
  • 2014-12-01 實施
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文檔簡介

ICS7106050

G12..

中華人民共和國國家標準

GB/T30901—2014

高純氟化銨溶液

Highpurityammoniumfluoridesolutionforindustrialuse

2014-07-08發布2014-12-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30901—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國石油和化學工業聯合會提出

。

本標準由全國化學標準化技術委員會無機化工分會歸口

(SAC/TC63/SC1)。

本標準起草單位浙江凱恒電子材料有限公司福建省邵武市永飛化工有限公司鷹鵬集團宣城亨

:、、/

泰化工科技有限公司巨化集團技術中心山東興氟新材料有限公司中海油天津化工研究設計院國家

、、、、

無機鹽產品質量監督檢驗中心

。

本標準主要起草人田志揚趙曉亞萬群平林益興張紅英周鵬鵬郭鳳鑫王芳

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T30901—2014

高純氟化銨溶液

1范圍

本標準規定了高純氟化銨溶液的分級要求試驗方法檢驗規則標志標簽包裝運輸貯存和

、、、、、、、、

安全

。

本標準適用于高純氟化銨溶液該產品主要應用于集成電路和超大規模集成電路芯片的清洗蝕

。、

刻等行業

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運圖示標志

GB/T191—2008

化工產品采樣總則

GB/T6678

液體化工產品采樣通則

GB/T6680

分析實驗室用水規格和試驗方法

GB/T6682—2008

數值修約規則與極限數值的表示和判定

GB/T8170

無機化工產品水溶液中值測定通用方法

GB/T23769—2009pH

液體無機化工產品色度測定通用方法

GB/T23770—2009

無機化工產品化學分析用標準溶液制劑及制品的制備第部分標準滴定溶

HG/T3696.1、1:

液的制備

無機化工產品化學分析用標準溶液制劑及制品的制備第部分雜質標準溶

HG/T3696.2、2:

液的制備

無機化工產品化學分析用標準溶液制劑及制品的制備第部分制劑及制品

HG/T3696.3、3:

的制備

3分子式和相對分子質量

分子式

:NH4F。

相對分子質量按年國際相對原子質量

:37.04(2011)。

4分級

高純氟化銨溶液按用途分為兩個等級

:

級主要用于線寬為以上集成電路的清洗與蝕刻

———UP-S:0.2μm;

級主要用于線寬為集成電路的清洗與蝕刻

———UP-SS:

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