本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告1師S師S120004fangjing@2022年09月30日富創精密(688409.SH)新股研究報告平臺型布局，零部件領軍?富創精密：國產半導體精密零部件領軍者。公司主業為半導體設備金屬零部件的精密制造，有工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類產品。公司自2011年導入國際設備龍頭客戶A以來，經過多年技術積累，產品已導入7納米先進制程，達到國際先進水平。近年來，公司業績快速增長，營收由2019年的2.53億元增長到2021年的8.43億元，年復合增長率達82.43%。2022年H1公司實現收入2.53億元，同比增長73.16%，維持強勁增勢，毛利率達到33.57%，凈利率16.36%。目前，公司已成為客戶A的全球戰略供應商，并進入東京電子、HITACHI和ASMI等全球半導體設備龍頭廠商的供應鏈體系，在國內市場亦廣泛覆蓋北方華創、華海清科、拓荊科技等龍頭客戶。?半導體零部件市場廣闊，國產化亟待突破。零部件在半導體設備廠商的成本構成中占比較高，約為90%左右。據我們測算，2022年全球半導體零部件市場規模約為588億美元。據富創測算，工藝/結構零部件、模組產品、氣體產品三大品類在半導體設備中價值量占比分別為11.8/5.6/5.0%，合計對應2020年全球市場空間160億美元，公司當前全球市場份額不到1%，仍有可觀的份額提升空間。公司預計，到2030年現有產品線的全球市場空間將達300億美元。目前，半導體設備精密零部件制造商主要為美國、日本和中國臺灣的上市公司，大陸國產化率整體較低。國內廠商率先在機械類和氣體類零部件中取得突破，富創精密、新萊應材、江豐電子等廠商收入規模快速增長，國產化趨勢已然形成。?突破先進制程，四大品類平臺化布局。公司四大類產品廣泛應用于境內外客戶的立式爐、涂膠顯影、刻蝕、離子注入、薄膜沉積、CMP設備中。2021年公司工藝件、結構件、模組、氣體產品分別實現收入1.8/3.5/1.6/1.4億元，均有60%以上的兩年年均復合增速。在技術積累方面，公司全系產品擁有海外龍頭設備客戶認證，并在反應腔、傳輸腔模組、氣柜模組等多種品種上是唯一獲得認證的內資廠商。伴隨設備制程的持續迭代，公司亦有多款產品應用于7nm制程的刻蝕設備、薄膜設備、立式爐設備，先進制程進展國內領先。本次發行公司擬募集資金16億元，發行定價69.99元，若發行完成，實際募集資金將達36.58億元。募集資金將投向集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產基地建設項目和補充流動資金，以支撐公司研發戰略及長線擴張。?盈利預測與估值：富創精密作為國內半導體設備精密零部件的領頭企業，有望受益下游需求的高速增長和國產化進程。我們預計公司2022-2024年收入分別為14.01/21.23/31.75億元，歸母凈利潤分別為2.32/4.12/6.10億元，對應發行定價PE分別為63/35/24倍。?風險提示：國際客戶合作發展不及預期；國際貿易摩擦加劇影響出口；新產品驗證導入不及預期；募投項目進展不及預期。盈利預測與財務指標項目/項目/年度2021A2022E2023E2024E營業收入(百萬元) 增長率(%)75.266.251.549.6歸屬母公司股東凈利潤(百萬元)126232412610 增長率(%)35.383.278.048.0每股收益(元)富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告21富創精密：半導體精密零部件平臺化龍頭 31.1國產半導體精密零部件領軍者 31.2營收連年高增，業務快速擴張 31.3具備先進制程技術能力，突破龍頭廠商工藝驗證 51.4實控人控制力穩定，核心技術人員資歷深厚 71.5持續研發投入，構筑技術壁壘 82半導體零部件市場空間廣闊，國產化亟待突破 112.1下游設備市場高速增長 11長空間廣闊 122.3美日廠商主導，國產化趨勢形成 143突破先進制程，四大品類平臺化布局 173.1布局四大類零部件，攻克特種工藝 173.2產品結構日趨豐富，利潤率穩步爬升 213.3突破先進制程，具備國際競爭力 224募投分析 255盈利預測與估值 265.1盈利預測假設與業務拆分 265.2估值分析 276風險提示 28插圖目錄 30表格目錄 30富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告31富創精密：半導體精密零部件平臺化龍頭1.1國產半導體精密零部件領軍者富創精密主要業務為金屬材料零部件精密制造，掌握了可滿足嚴苛標準的精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接、組裝、檢測等多種制造工藝，主要產品包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類，應用于半導體設備、泛半導體設備及其他領域。作為國內半導體設備精密零部件的領軍企業，富創精密是全球為數不多的能夠量產應用于7納米工藝制程半導體設備的精密零部件制造商，是國家高新技術企業、國家級專精特新“小巨人”企業、國家高新區瞪羚企業、國家“02重大專項”及國家智能制造新模式應用項目承擔單位、集成電路裝備零部件精密制造技術國家地方聯合工程研究中心依托單位。通過多年研發和積累，富創精密實現了半導體設備部分精密零部件國產化的自主可控，攻克了多項特種工藝，形成了國產半導體設備的保障。當前，富創已進入多家全球半導體設備龍頭廠商供應鏈體系，并且是客戶A的全球戰略供應商。同時，基于半導體設備國產化趨勢，公司積極開拓境內市場，產品已進入主流國產半導體設備廠商，保障了我國半導體產業供應鏈安全。 圖1：富創精密產品進入多家龍頭廠商供應鏈 公司的工藝技術、行業口碑、產品質量和交付能力不斷得到境內外客戶認可，且下游行業景氣度持續上行，半導體設備的國產化趨勢不斷推進，公司業績快速增三年復合增長率為82.43%。2022年H1公司收入5.98億元，同比增長73.16%，維持強勁增勢。本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告4盈利能力方面，公司2019-2022年H1毛利率從16.16%穩步提升至33.57%，主要得益于2020年以來行業景氣度上行帶動產能利用率提高，此外，2019-2022年H1期間，公司營收高增使規模效應逐漸體現，期間費用率穩步下降。圖2：2019-2022年H1富創精密營收凈利(百萬元，左軸)及毛利率(%，右軸)營收毛利歸母凈利潤毛利率10008006004002000-20020192020202122H140%30%20%0%資料來源：Wind，民生證券研究院圖3：2019-2022年H1富創精密期間費用率水平銷售費用率管理費用率財務費用率%%%%8%6%4%2%0%201920202021201920202021收入結構方面，公司主營業務收入包括工藝零部件、結構零部件、模組和氣體管路產品，2019-2021年主營業務占比均在98%以上，其他業務收入主要為材料及廢料銷售收入和租賃收入。公司主營業務收入主要來源于大陸以外地區，產品主要銷往國際半導體設備廠商在北美和亞洲的組裝工廠；而隨著國內半導體設備廠商崛起，公司大陸地區銷售收入規模及主營業務收入占比在逐年提升。圖4：富創精密營收情況(百萬元)主營業務收入其他業務收入000圖5：富創精密主營收入分市場區域情況(百萬元)大陸地區北美亞洲歐洲其他地區000成本結構方面，公司原材料采購以鋁合金材料、機械標準件、加工件和電子標準件為主。隨著氣體管路和模組產品業務規模擴張，機械標準件和電子標準件合計采購占比從2019年的26.31%增長至2021年的35.32%。富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告5表1：富創精密原材料采購情況原材料機械標準件2021年2020年2019年金額(百萬元)金額(百萬元)金額金額(百萬元)鋁合金材料.18加工件他材質原料58%材27%64%他外協.28計產品供不應求，存貨大幅增長。富創精密2019-2021年的存貨分別為0.99億元、1.35億元和2.56億元，存貨金額隨著公司業務擴張而快速增長。公司存貨主要為原材料、在產品及半成品、庫存商品。伴隨行業景氣度上行，公司業務規模高速擴張，為確保訂單交付提前備貨導致存貨同比增長，且相應增速與公司營業收入增速基本匹配。圖6：富創精密存貨結構(百萬元)原材料周轉材料委托加工物資在產品及半成品庫存商品發出商品01.3具備先進制程技術能力，突破龍頭廠商工藝驗證富創精密于2008年成立，在主要產品、技術及客戶多方面不斷進行演變與突破，不斷導入先進制程，多次承擔國家02重大專項的課題項目，并與客戶聯合設計開發，成立至今完成了從40nm以上制程到7nm先進制程的突破，目前已經實現7nm制程工藝設備精密零部件的量產，是全球為數不多的能夠量產應用于7納米工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告6在主要客戶方面，公司成立至今通過多家國內外龍頭半導體設備廠商的驗證。2011年首次與全球領先的半導體設備廠商客戶A達成合作、成為其合規供應商，2016年進一步成為客戶A的戰略供應商，當前已累積通過其39項特種工藝認證，還是東京電子、HITACHIHigh-Tech和ASMI等全球半導體設備龍頭廠商的供應、拓荊科技、華海清科、芯源微、中科信裝備、凱世通等主流國產半導體設備廠商，成為其合格供應商，不斷推進我國國產化半導體供應鏈的組建完善。 圖7：富創精密主要歷史沿革情況2019年以來，客戶A在公司收入結構中一直占據較大比重。公司前五大客戶中帆宣科技和TOCALO的最終客戶均為客戶A。2019-2021年，公司最終銷往客戶A的銷售收入占當期營業收入比例為75.24%、74.54%和58.26%，伴隨業務體量增長和其他客戶開拓，占比有所下降。本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告7 圖8：富創精密前五大客戶收入占比201920202021%北方華創TOCALO帆宣科技其他2%2%LO3%基于國際市場的成熟經驗，公司亦積極開拓境內市場，內銷收入迅速提升。富創精密已成主流國產半導體設備廠商的合格供應商，2019-2021年公司內銷收入規模分別為0.38億元、1.05億元和3.25億元，增長迅速，內銷收入占比由2019年的15.34%提升至2021年的39.16%。當前國內設備廠商體量尚小，但由于行業持續景氣，設備廠商規模增長迅速、需求旺盛，未來有望為公司帶來更大的收入本次IPO發行前，公司實際控制人為鄭廣文，擔任董事長、總經理，共計控制公司34.03%的股份表決權。此外，寧波芯富、寧波芯芯、寧波良芯三家企業為員工持股平臺，合計持有公司5.09%股份，三家持股平臺股份45.94%為鄭廣文持有，其他為公司其他董事、高級管理人員、核心技術人員等持有。目前，公司擁有5家境內控股子公司、2家境外全資子公司和2家境內參股公司。其中，公司參股35%的上海廣川為國內研制設備機械手的領軍企業之一，擁有多項半導體制造的相關發明專利。 圖9：發行前富創精密股權結構富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告8富創精密的核心技術人員均擁有深厚的專業資歷，并且在重要科研成果與主要知識產權上對公司具有重要貢獻。公司核心技術人員團隊穩定，2019-2021年未發生人員變動。主要核心技術人員如下：倪世文，公司董事、副總經理，擁有超過23年的半導體設備精密零部件制造開發及生產管理經驗，是公司技術、產品研發負責人。在公司承擔的兩項“02重大專項”任務中，倪世文負責產品研發以及生產制造。宋巖松，公司副總經理，清華大學電氣工程碩士，歷任特變電工沈陽變壓器集團有限公司專家、副總工程師。主要負責公司的知識庫管理和工藝智能化設計工作，作為主要負責人與西門子共同開發了公司的智能工藝設計系統，實現了機械制造工藝設計的智能化。李吉亮，公司技術研發中心高級技術專家(精密機械制造方向)，擁有15年半導體設備精密零部件產品開發經驗，致力于工藝開發、程序設計、刀具及治具的開發設計、數控機械制造等一系列機械制造技術。褚依輝，公司技術研發中心技術專家(精密機械制造方向)，從事機械工程領域相關工作17年，對機械制造、焊接、組裝和檢測工裝、組合夾具均有豐富的設計經驗，作為發明人獲得專利17項。張少杰，公司技術研發中心技術專家(表面處理方向)，“02重大專項”二期“IC設備超低污染、抗強腐蝕鋁合金零部件制造技術研發及產業化應用”的課題負責人，帶領團隊完成客戶A的20多項表面處理特種工藝認證。主導了公司表面處理生產線的規劃及建設，并負責了千余項首件研制，作為發明人獲得專利5項。安朋娜，公司技術研發中心技術專家(表面處理方向)，“02重大專項”中“大型鋁合金零部件濕法特種工藝技術攻關和產業化”任務的主要研發人員，作為發明人獲得專利9項，形成公司對于表面處理特種工藝制程的標準。李生智，公司技術研發中心技術專家(焊接方向)，負責公司的焊接工藝開發及焊接零部件結構設計工作，具有國際焊接工程師資格，牽頭起草24項焊接及檢驗技術標準，作為發明人獲得專利3項。富創精密專注于金屬機械零部件的研發與制作，為該細分領域內為數不多的進入國際半導體設備廠商的內資供應商。公司高度重視研發，不斷加大投入、優化工藝技術和開發新產品，2019-2021年，公司研發費用分別為0.29億元、0.37億元和0.74億元，研發費用率在2021年達8.8%。富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告9圖10：2019-2021年富創精密研發投入(百萬元)研發費用研發費用率00公司技術人才儲備充足，核心研發團隊經驗豐富，保障公司業務快速發展。截至2021年12月31日，公司擁有研發人員225人，占員工人數的20.68%。近年來公司核心技術研發團隊穩定，技術研發優勢較強。半導體設備零部件的技術壁壘主要體現在精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接技術等方面，富創經過多年積累，掌握了化學鍍膜、高潔凈度清洗、等離子噴涂、超潔凈焊接等自研技術，構筑起競爭壁壘。表2：富創精密的代表性核心技術情況精密機械精密機械技術類型核心技術名稱要應用產品技術來源相關專利保護精密多工位復雜型面制造術部件中的過渡腔、傳輸腔、反應腔等，應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備等制造技術精密微孔制造技術不不銹鋼超高光潔度制造技術部件中的勻氣盤等，應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備等氣體傳送與流量控制產品蝕陽極氧化技術蝕設備、薄膜沉積設備等表面處理特種工藝潔凈度精密清洗技術零部件中的內襯、傳輸腔、勻氣盤，應于刻蝕設備、薄膜沉積設備等技術高性能化學鍍鎳技術部件中的傳輸腔等，應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備等等離子噴涂氧化釔涂層技術等離子噴涂氧化釔涂層技術盤、冷卻板、氣體管路等半導體設備精密零部件焊接技術激光焊接技術腔體襯套、激光焊接冷卻板等半導體設備精密零部件超潔凈管路焊接技術半導體設備氣體管路精密零部件自主研發申請3項專利自2011年以來，公司先后承擔若干重大國家專項，包括IC設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺和基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技術開發兩富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告10大國家“02重大專項”。表3：公司重大科研項目情況號科研項目項目名稱項目周期1國家“02重大專項”2國家“02重大專項”基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技術開發3項目集成電路裝備零部件柔性數字化車間建設——多品種、小批量智能制造新模式應用在已有研發成果基礎上，公司制定了具體的研發計劃，通過研發高新型涂層，以及建立對應低納米線寬加工設備所需零部件的高潔凈度清洗工藝和鍍膜工藝，提升零部件的潔凈度以及在晶圓加工設備中的耐腐蝕性，來延長零部件的更換周期，提升晶圓加工的良率及效率。 表4：公司募集資金投資項目情況(截至2021年12月31日)號稱要目標技術平的比較項目總預算進展情況 (萬元)應用領域1基于原子層沉積技術制備零部件保護薄膜研發項目原子層沉積涂層、鋁合金材料國產化、材國內領先料高溫性能研究表面處理特種30%的研發氣體流量控制器基座工藝技術氣體流量控制器基座工藝技術2研發項目攻克精孔高粗糙度要求、臺階異形孔精密加工技術、不銹鋼金屬高耐腐蝕性技國內領先術要求；標準化操作、刀具管控等工藝標準開發；設計開發自動化產線刻蝕及薄膜沉78%積設備3端管路制造工藝研發項目具備鈦合金及高溫合金材料零部件制造國內領先能力鈦合金及高溫38%合金工藝研發44材料自動化焊接工藝研發項目具備批量碳鋼、不銹鋼材料焊接能力，實國內領先現量產接工藝優化5實現大批量穩定生產勻氣盤;300mm勻勻氣盤類產品流量均勻性和超氣盤通過客戶上機驗證；實現勻氣盤孔高潔凈度技術研發項目徑一致性、表面潔凈度等技術突破薄膜沉積設備66全球戰略客戶產品研發項目通過某客戶首件產品驗證，成為其合格國內領先供應商薄膜沉積設備7潔凈度高真空半導體門閥研發項目通過高端產品客戶端驗證，產品進入市國內領先場刻蝕及薄膜沉46%積設備88制造的切削液集中供給系統研發項目改善生產環境，保證切削液濃度的一致國內領先性及切削液的及時供給，減少人員參與精密機械制造43%藝優化9集成電路化學機械拋光設備關鍵零部件保持環制造工藝研發項目實現保持環量產，突破特種噴涂工藝瓶國內領先頸；實現拋光盤量產，實現托盤軸量產化學機械拋光27%備廢屑儲運，減少人員參與制造的切屑收集及儲運系統研發項目精密機械制造的優化3%未來，公司將繼續加大研發投入和技術儲備，針對未來市場對高端光刻、薄膜沉積、刻蝕、清洗、化學機械拋光等設備的大量需求，加大相應消耗性精密零部件的產品開發力度。富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告112半導體零部件市場空間廣闊，國產化亟待突破2.1下游設備市場高速增長半導體設備精密零部件具有高精密、高潔凈、超強耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特性，生產工藝涉及精密機械制造、工程材料、表面處理特種工藝、電子電機整合及工程設計等多個領域和學科，是半導體設備核心技術的直接保障。 圖11：半導體零部件的重要支撐地位從市場空間上看，全球半導體設備市場規模迅猛發展。根據SEMI統計，全球半導體設備銷售規模從2010年的395億美元增長到2021年的1,026億美元，其中中國大陸市場296億美元，SEMI預計到2022年全球市場將進一步增長15%至1,175億美元。圖12：全球半導體設備市場規模1400120010008006004002000全球設備市場規模(億美元)YOY60%40%20%0%-20%富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告12設備市場的快速增長帶動設備零部件需求。據我們統計，國內半導體設備上市公司年度營業成本中，材料采購成本占比約在85-95%，而毛利率約在38-45%左右(即成本率55-62%)，可推算材料采購成本約為公司當年營收的50%左右。據此我們推算，2022年全球半導體設備市場1,175億美元(SEMI預測)對應588億美元左右的零部件采購額。表5：國內半導體設備廠商營業成本中材料支出及占比情況2021年材料成本(億元)利率北方華創3%美上海3%海清科.135%源微.76川科技9%展望行業未來，我們看好國內設備零部件行業的幾大發展趨勢：1)隨著國內半導體晶圓廠的大幅擴產和半導體設備國產化的進程加快，國內半導體設備精密零部件的國產化率將不斷提升。2)出于降低成本和提升效率的目的，未來半導體設備廠商對標準化、模塊化、流程化會提出更高要求，對模組產品的需求會進一步提升。3)隨著晶圓制造向7納米以及更先進的制程工藝發展，零部件的制造精密度、潔凈度要求將越來越高，對相應工藝技術要求也將隨之提升。4)半導體設備精密零部件制造商的生產會更趨智能化、柔性化，不斷提高生產效率，降低對人工經驗的依賴。2.2種類繁多，成長空間廣闊2.2.1半導體零部件種類繁多半導體設備是高精密、高集成度的復雜系統，設備零部件種類繁多，可大致分為：機械類、電氣類、機電一體類、氣/液/真空系統類、儀器儀表類、光學類等。精密零部件產品中，富創精密主要涉及的種類有：機械類零部件(工藝及結構零部件)、機電一體類零部件(包括非氣柜模組的模組類產品)、氣體/液體/真空系統類零部件(對應氣體管路和氣柜模組產品)，產品線廣闊，是國內少有的平臺型零部表6：各類零部件占配套不同設備的原材料成本比例設設備零部件品類占半導體設備原材料成本的比例在設備中的主要作用機械類20%-40%構建整體框架、基礎結構、晶圓反應環境和實現零部件特殊功能電力、信號、工藝反應制程實現晶圓裝載、傳輸、運動控制、溫度控制實現晶圓裝載、傳輸、運動控制、溫度控制輸和控制特種氣體、液體和保持真空機電一體類氣體/液體/真空系統類富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告13%械標準件%械標準件械加工件元件元件元件儀器儀表類1%-3%控制和監控流量、壓力、真空度、溫度等數值光學類光學類55%(光刻和檢測類)光學設備中控制和傳輸光源他%-5%現設備運行機械類零部件應用最為廣泛，包括組成設備的各種框架、結構件，以及實現晶圓反應環境的特殊工藝零部件。其次是電氣類零部件，作為設備中控制工藝制程的核心部件，需求及技術突破難度都較高。氣/液/真空系統類則根據設備種類不同，有所差異，例如干法設備需要配備氣體系統和真空系統，濕法設備需要配備液體供產化率不算高。并且在高端先進制程應用中，零部件的國產化率更低、突破難度更以國內設備上市公司拓荊科技和華海清科為例，拓荊科技作為干法設備廠商，主要產品為等離子體薄膜設備，成本結構中電氣類占比較高，并且也有較多的氣體輸送系統用量。而華海清科主要產品CMP設備屬于濕法范疇，機械類零部件占比超過60%，并且涉及到清洗液、拋光液使用，液路元件占比達14%。 圖13：拓荊科技2021年1-9月各類原材料采購比例電氣類機電一體類%氣體輸送系統類%屬設備 儀器儀表類 二次配設施 工藝材料類 氣動系統類其他 圖14：華海清科2021年各類原材料采購比例11%11%31%2.2.2可觸達市場廣闊，全球市占率有待提升富創精密產品主要為工藝和結構零部件、模組、氣體類三種，公司估算了各種設備中零部件的價值量占比，例如刻蝕設備2020年全球市場規模137億美元 (SEMI數據)，其中工藝和結構零部件/模組/氣體零部件價值量分別占19.5%/8%/12.5%，則工藝和結構零部件、模組、氣體類三大品類合計有55億美元的全球市場空間。最后匯總得知，按照2020年全球半導體設備712億美元的市場規模對應測算，公司主要從事的三類產品的市場規模為160億美元市場。而根據SEMI預測，2022年全球設備市場將同比增長44%達到1,175億美元，若價值量比例無明顯變化則公司下游市場空間有望超過250億美元。富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告14表7：富創精密主要產品市場規模測算設備名稱2020年全球規模結構部件占比模組產品占比氣柜和氣體管路產品全球市場規模薄膜沉積設備刻蝕設備光刻設備清洗設備4涂膠顯影設備7化學機械拋光設備5理設備6入設備3膠設備52其他前道、測試、封裝設備等8計71211.8%5.6%5.0%60而公司2021年幾種產品總收入8.29億元，即便對應2020年全球市場規模，市場占有率均不足1%，尚有較大成長空間。 表8：富創精密全球市場占有率測算目2020年全球市場規模(億美元)2021年公司收入(億元)藝和結構零部件模模組產品0氣柜及氣體管路00.8%計8.29602.3.1全球市場格局相對分散，美日廠商領先身結構復雜，對加工精度、一致性、穩定性要求較高，導致精密零部件制造工序繁瑣，技術難度大，行業內多數企業只專注于個別生產工藝，或專注于特定精密零部件產品，行業內細分賽道繁多、市場格局較為分散，尚未出現壟斷性龍頭廠商。當前，全球半導體設備市場由國際廠商主導，與之配套的半導體設備精密零部件制造商主要為美國、日本和中國臺灣地區的上市公司。而富創的對標公司方面，國內規模較大的半導體設備精密零部件廠商主要為中國臺灣地區的京鼎精密和日本Ferrotec等外資企業的境內子公司，其主要為國際半導體設備廠商供貨。半導體設備精密零部件內資企業中，富創精密能夠直接為國際半導體設備廠商制造量產產品。此外，也有以向國內半導體設備廠商供貨為主的靖江先鋒和托倫斯等。隨著國內半導體市場的快速發展，國家政策重點鼓勵并多方支持國內集成電路及其專用設備產業的經營發展，并對產業鏈安全更加重視，內資半導體精密零部件制造企業有望獲得進一步發展。富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告15表9：各零部件賽道國內外主要企業情況類金屬機械類江先鋒、托倫斯、江豐電子(少量產品)非金屬機械類華(石英零部件)、神工股份(硅部件)ancedEnergyMKS電氣、北方華創(旗下的北廣科技)機電一體類ASML(自產雙工機臺和浸液系統)卓精科(雙工機臺)、新松機器人(機械手)、京儀氣體/液體/真空系統類科儀、北京中科儀儀器儀表類北方華創(旗下的七星流量計)、Compart(萬業參股)光學類Zeiss、Cymer、ASML北京國望光學科技有限公司、長春國科精密光學技術有限公司與我國半導體設備及零部件的市場規模相較，我國國產化供給亟需增加，市場供需不匹配。半導體設備零部件的國產化率整體較低，國內廠商主要在機械類和氣體類零部件中取得突破。表10：各類零部件國產化率情況類整體國產化率端產品國產化率具體情況機械類相對較高低品類繁多，國內已出現進入國際半導體設備廠商的供應商(包括富創精密)低機電一體類較為繁多，國內已出現進入國際半導體設備廠商的供應商(包括富創精密)，大多品類國內廠商主要供應國內半導體設備廠商氣體/液體/統類商儀器儀表類低國際半導體設備廠商，國內企業自研產品僅少量用于國內半光學類低半導體設備廠商，已少量應用于國內光刻設備與國際同業相比，富創精密業務規模仍舊較小，但與國內同業相比，富創精密是少有的能夠提供滿足國際主流客戶標準的精密零部件產品的供應商，技術水平具備競爭優勢及一定先進性，營收體量和利潤率方面亦處于領先地位。基于公司技術積累、客戶基礎和產能擴張規劃，且近年收入逐年高速增長，未來仍有較大成長表11：富創精密與可比廠商情況22021年收入規模企業名稱主要產品毛利率 (億元)富創精密工藝和結構零部件、模組產品、氣體管路8.4330.99%科林 (精密零部件業務部分)特殊氣體輸送系統京鼎精密半導體、能源及面板設備制造及至成自動化發展28.2125.25%富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告16 (精密零部件業務部分)磁性流體密封圈、半導體硅片、熱電半導體致冷材料與器件、半導體石英制品、精密陶瓷制品、半導體真空傳動裝置及大型腔體、太子束蒸發鍍膜機等新萊應材 (泛半導體業務部分)導體核心零部件、泵、閥類產品；真空系統及氣體傳輸控制系統江豐電子江豐電子 (零部件業務部分)各種高純濺射靶材，半導體設備零部件等3%亞智能導體精密金屬結構件nd富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告173.1布局四大類零部件，攻克特種工藝富創精密主要研制產品具體包括四大類：工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路。公司主要產品應用于半導體設備領域，覆蓋集成電路制造中刻蝕、薄膜沉積、光刻及涂膠顯影、化學機械拋光、離子注入等核心環節設備。 圖15：富創精密部分產品應用例示(以刻蝕設備為例)3.1.1工藝零部件工藝零部件主要是半導體設備中晶圓制備工藝的關鍵零部件，少量應用于泛半導體設備及其他領域。該類產品一般需要經過高精密機械制造和復雜的表面處理特種工藝過程，具備高精密、高潔凈、超強耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特點。工藝零部件主要應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備，也少量應用于離子注入設備和高溫擴散設備等。本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告18 圖16：工藝零部件在刻蝕設備中的應用(腔體、內襯)資料來源：中微公司專利《防刻蝕氣體供應管道腐蝕的系統及等離子反應 圖17：富創精密代表性工藝零部件圖示公司代表性工藝零部件包括：腔體(按使用功能分為過渡腔、傳輸腔和反應腔)、內襯和勻氣盤。1)反應腔是晶圓加工生產的工作空間，會有多種工藝氣體在腔體內進行化學反應，因此其對潔凈度和耐腐蝕性要求較高。2)內襯是反應腔體內的核心零件，且比腔體更接近晶圓反應過程，因此對潔凈度、耐腐蝕度要求更高，并通過內襯表面的高致密涂層延長反應腔壽命，降低設備的維護時間。3)勻氣盤則保障特種工藝氣體通過后可均勻沉積在晶圓表面，保障其表面膜層的均勻性和一 圖18：工藝零部件制造技術流程表面處理特種工藝是工藝類零部件的關鍵技術，主要包括化學清洗、電化學拋光、陽極氧化、刷鍍鎳等。不同表面處理特種工藝和精密機械制造工藝的選擇和組合，會形成工藝零部件中不同腔體、內襯和勻氣盤的制造流程差異。3.1.2結構零部件結構零部件一般起連接、支撐和冷卻等作用，應用于半導體設備、面板及光伏等泛半導體設備和其他領域中。對平面度和平行度有較高的要求，部分結構零部件同樣需要具備高潔凈、強耐腐蝕能力和耐擊穿電壓等性能。本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告19圖19：結構零部件在化學機械拋光設備中的應用(流量 計底座)圖20：富創精密代表性結構零部件圖示公司結構零部件制造技術主要采用精密機械制造工藝及焊接技術，也需要相對簡易的表面處理特種工藝，部分產品表面處理特種工藝要求已達到工藝零部件3.1.3模組產品制成具有特定功能的模組產品，需要工藝零部件、結構零部件等自制零部件與外購的電子標準件和機械標準件等經過組裝、測試等環節，主要應用于半導體設備。產品涉及離子注入機模組、刻蝕閥體模組、氣柜模組等。 圖21：富創精密離子注入機模組產品圖示 圖22：富創精密氣柜模組產品圖示不同模組產品分別承載了不同的技術，核心作用與原產品相同。模組產品需要完成密封組裝、電氣組裝、運動部件組裝等，在產品組裝完成后，根據產品在上一級組裝過程中發揮的功能，設計模擬模組實際運轉過程的各項參數要求的測試設司不僅需要具備生產制造技術，同時需要具備裝置功能測試、軟件功能測試能力，來模擬客戶實際使用場景，確保產品不僅在組裝出廠時滿足客戶參數要求，在模擬使用百萬次后，仍保持原有參數保持不變。模組產品除上述工藝零部件和結構零部本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告20件制造技術外，制造技術還涉及裝配及測試，根據不同模組產品的組裝差異需通過不同的測試，如氦氣測試、功能測試、保壓測試、顆粒測試等。 圖23：模組產品制造技術流程3.1.4氣體管路氣體管路產品主要應用于半導體設備中的特殊工藝氣體傳送，是連接氣源到反應腔的傳輸管道。 圖24：富創精密刻蝕機氣體管路產品圖示 圖25：富創精密氣體管路產品圖示由于晶圓加工過程中的氣體具有純度高、腐蝕性強、易燃易爆及毒性的特點，因此對管路的密封性、潔凈度及耐腐蝕能力有較高要求。此外，一旦發生氣體污染，半導體設備廠商較難排查。因此，對零部件制造商的過程管控能力及體系認證要求極高。為滿足客戶嚴苛的標準，公司需要在潔凈間環境內，利用超潔凈管路焊接技術及清洗技術并結合專屬生產設備及自制工裝來保證氣體管路無漏點且管路內焊縫無氧化和缺陷，以保證氣體在傳輸過程中的潔凈度且不發生泄漏。公司氣體管路產品加工技術主要運用焊接技術，部分產品存在少量精密機械制造和表面處理特 圖26：氣體管路制造技術流程 本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告213.2產品結構日趨豐富，利潤率穩步爬升在主要產品營收方面，隨著行業景氣度不斷高漲，以及國產半導體設備廠商崛起，下游需求的旺盛驅動精密零部件的銷量和收入逐年高速增長。公司工藝技術和產品結構日趨完善，尤其是多種模組和氣體管路產品通過客戶A、北方華創等核心客戶認證后批量供貨，該兩類產品合計主營業務收入占比從2019年的25.81%提升至2021年的36.06%。在主要產品毛利率方面，2019年公司擴產完成后，產能利用率同比大幅提升、平均單位成本同比大幅下降，規模效應體現導致工藝和結構零部件毛利率，由2019年的22.77%和18.19%，提升至2020年的36.04%和35.35%；2021年工藝和結構零部件毛利率小幅下降至34.02%和32.38%，是因為隨著國產半導體設備廠商崛起，工藝零部件中內銷收入占比提升，內銷定價稍低于海外。氣體管路產品在2019年屬于前期小批量驗證階段，毛利率不具參考性，2020年、2021年產品通過主要客戶工藝驗證，銷量提升、毛利率水平趨于穩定，分別為34.95%和33.85%。而模組產品毛利率較其他品類產品較低，是因為模組產品屬于高度定制化產品，公司提供的模組產品需外購電子標準件、機械標準件，并結合自產工藝及結構零部件、氣體管路進行組裝，而外購原材料成本占比較高。但隨著公司產品質量和交付周期不斷得到客戶認可，公司給客戶A供貨的刻蝕閥體模組產品銷量從2019年的174件增長至2021年的832件，并且工序優化、生產效率不斷提升，外購原材料價格有所下降。模組產品毛利率持續提升，由2019年的6.15%增至2021年的22.19%。圖27：2019-2021年富創精密分產品營收情況(億元)工藝零部件結構零部件模組產品氣體管路864202019202020192020圖28：2019-2021年富創精密分產品毛利率情況 部件0%工藝及結構零部件方面，公司2017年起預投產能，2019年大量設備驗收轉固，隨著行業景氣度提升以及國內半導體設備廠商崛起，公司訂單量快速增加、產能利率用逐步提升至2021年的90.17%，基本達到“滿產”狀態。氣體管路產品為富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告22公司新業務，公司在2018年開始預投產能，隨著獲得核心客戶認證，業務規模不斷擴大，2021年產能利用率顯著提升至63.18%。而模組產品多為定制化產品，無法準確衡量量化其產能。圖29：富創精密主要產品產能利用率情況氣體管路產品0%公司多數產品的工藝指標都優于主流客戶標準，進入海外龍頭設備廠供應鏈，同京鼎精密等美、日、中國臺灣地區供應商進行市場競爭。其中，反應腔、傳輸腔模組、氣柜模組等產品目前獲得國際主流設備廠認證的內資供應商僅有富創一家。表12：富創精密產品與主流客戶指標對比及供應商競爭格局產品類型要產品具體指標流客戶指標對比他主要供應商情況渡腔蝕性、密封性、潔凈度一致或優于傳輸腔性、密封性、潔凈度、真空度一致或優于通過主流國際客戶認證還包括少量美國廠商、中國臺地區京鼎精密等；零部件反應腔性、密封性、潔凈度、真空度、耐擊穿電壓一致或優于資企業性、致密性、潔凈度、耐擊穿電壓于包括少量美國廠商、韓國資企業盤潔凈度、微孔加工于等；資企業結構零部件盤軸度、平行度、尺寸公差精度致或優于 (主流國內客戶)具體產品類別與公司存在一定差異鑄鋼平臺面度、平行度致或優于 (主流國內客戶)定子冷卻套尺寸公差精度于 (主流國內客戶)流量計底座度、耐腐蝕性、密性一致或優于資企業卻板、潔凈度、耐電壓于通過主流國際客戶認證的還包括少量中國臺灣地區和富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告23性、密封性資企業模組產品注入機模組密封性于 (主流國內客戶)具體產品類別與公司存在一定差異傳輸腔模組密封性于通過主流國際客戶認證還有中國臺灣地區的京鼎精密等；除富創外尚無內資企業過渡腔模組密封性于資企業密封性于地區京鼎精密等；資企業氣柜模組精準控制、密封性、安全性、潔凈度一致或優于過主流國際客戶認證的還包括美國超科林等少量美資企業氣體管路氣體管路潔凈度、密封性、耐腐蝕性一致或優于過主流國際客戶認證的還包括美國超科林等少量美資企業薄膜沉積、CMP設備中。工藝能力持續提升之下，部分腔體、內襯、勻氣盤等高端產品已導入客戶7nm制程的前道設備，成為全球為數不多的能夠量產應用于7nm工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。公司未來將持續加大技術研發投入，持續擴大先進制程的半導體設備精密零部件的品類，提升工藝水平和產品性能，同時已在加快研制應用于5nm及更先進工藝制程的半導體設備精密零部件。表13：富創精密產品應用制程水平達7nm的情況藝流程溫擴散光刻相關蝕離子注入薄膜沉積化學機械拋光應用公司產品的前道設備擴散爐光刻機、涂膠顯影備硅刻蝕、介質刻蝕、金屬刻蝕束流、中束流和離子注入設備ALD設備圖例對應公司主要產品·工藝零部件：腔；·結構零部件：基板等多種產品·結構零部件：基、冷卻板等多種品·工藝零部件：腔、內襯、勻氣；·結構零部件：流計底座、鉸鏈底板、基座·模組產品：腔體組、刻蝕閥體模組和氣柜模組；·氣體管路·工藝零部件：腔；·模組產品：離子入機模組；·氣柜模組；·氣體管路·工藝零部件：腔體、勻氣盤；·結構零部件：流計底座、鉸鏈底、支架等多種產·模組產品：腔體·氣體管路·結構零部件：托定子冷卻套等本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告24代表性境外客戶無HI客戶A客戶A、ASMI客戶A代表性境內客戶北方華創芯源微上海微電方華創、中微公司備、凱世通中科信裝方華創、拓荊科技海清科應用最高制程水平96納米(光刻機)/28納米(涂膠顯影設備)富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告254募投分析公司本次募投項目投資總額16億元，擬使用募集資金金額為16億元，募集資金扣除發行費用后將用于2個項目：集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產基地和補充流動資金。表14：公司募集資金投資方向情況號募集資金投資方向投資金額(萬元)使用募集資金金額1集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產基地2補充流動資金計160,000160,000集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產基地項目建設期2年，落地南通，總用地面積約171畝(114,047m2)，總建設面積89,050.95m2。項目將新建精密機械制造、焊接、表面處理特種工藝、鈑金、管路、組裝生產線，并搭建智能信息化管理平臺，打造具備核心技術能力的集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產基地。進一步提高公司精密零部件的配套供應能力，擴大產能以滿足客戶需求。表15：集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產基地項目投資概算號項目名稱合計(萬元)1程費用建筑工程備購置2建設其它費用3備費4地費5流動資金458.0746%計100,000.00100.00%為滿足公司持續研發投入及業務規模擴大的需求，為公司持續經營和發展提供資金保障，本次發行募集資金中的6億元擬用于公司后續研發投入、補充公司主營業務發展所需要的流動資金。作為技術密集型行業，公司長期高度重視核心技術、工藝的研發和創新；隨著公司的技術和產品獲得客戶A等國內外知名半導體設備廠商的認可，公司生產經營規模持續擴大，研發投入以及業務規模擴大使得公司對于營運資金的需求持續增加。有效補充運營資金后，將促進公司實施未來發展戰略，在現有產品的基礎上逐步實現半導體設備精密零部件的國產化，助力國內半導體設備企業實現關鍵設備的自主可控。富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告26結結構零部件5盈利預測與估值5.1盈利預測假設與業務拆分公司報表將主營業務分為四類：工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管工藝和結構零部件：受益于行業景氣與公司堅持先進技術的研制，零部件產品的銷量與收入快速增長。我們認為，公司的產品具有國際競爭力與較強的國產替代能力，因此營收將維持較高增速。預測2022-2024年工藝零部件收入同比增長66.5/45.5/44.4%，結構零部件收入同比增長63.6/51.3/51.5%。毛利率方面，該兩類業務2021年毛利率略有下降，主要因為國內市場開拓期毛利率較低，而2022年H1公司整體毛利率已有顯著回升，伴隨國內收入放量、先進制程工藝實現突破，我們預計2022-2024年工藝類零部件毛利率34.5/35.0/35.0%，結構零部件毛利率33.0/33.0/33.0%，未來三年保持平穩。模組產品：公司模組產品質量與交付周期已得到主要客戶的認可，銷量迅速提升，伴隨著公司工序優化、生產效率提升和承接訂單增多，該業務收入有望持續增長。伴隨氣柜等模組新產品快速放量，我們預測2022-2024年收入同比增長67.5/58.9/55.0%。毛利率方面，由于前期產能利用率較低，且模組產品需外購部分標準件，因此毛利率水平較其他產品略低，但隨著公司規模效應體現與自產組件比例提高，毛利率水平有望向其他品類看齊，我們預測2022-2024年毛利率將提升至24.0/26.0/28.0%。氣體管路：通過核心客戶的產品認證后，該業務規模迅速擴大，產銷量不斷提升。氣體業務下游以干法設備為主，國內客戶均為國產設備龍頭公司，近年收入增隨國內客戶持續放量，我們預計該業務將維持增長趨勢，2022-2024年收入同比增長74.1/53.3/46.7%。毛利率方面，2019年處于前期小批量驗證階段，產能利用率較低，毛利率水平不具有參考性。2020年來，隨著公司產品銷量提升，毛利率趨于穩定，我們預測2022-2024年將保持在34%的穩態水平。表16：分業務收入預測(百萬元)202020212022E2023E2024E營業務合計81.6%52零部件32.5%.4%.1營收1973525768721320毛利率35.4%32.4%33.0%33.0%33.0%富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告276營收100161270429665模組產品毛利率14.2%22.2%24.0%26.0%28.0%營收59138240368540.7%氣體管路75.2估值分析公司主業為半導體零部件，我們選取同為半導體設備零部件公司的華亞智能、新萊應材、江豐電子作為同行業可比公司，以2022年9月30日的收盤價計算，同行業公司的2022-2024年的PE均值為61/43/32倍。富創精密的發行定價為69.99元/股，我們預計公司2022-2024年EPS分別為1.11/1.97/2.92元，對應發行價2022-2024年PE分別為63/35/24倍，2022年估值略高于可比公司平均水平，2023-2024年估值低于可比公司均值水平，考慮到公司主業更高的增速和平臺化產品線布局，我們看好公司在零部件領域的持續領先優勢。表17：可比公司估值對比代碼稱價 (元)每股收益(元)PE(倍)2022E2023E2024E2022E2023E2024E043.SZ亞智能.61SZ新萊應材5SZ江豐電子639.SHnd富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告286風險提示1)國際客戶合作發展不及預期。若第一大客戶為海外企業，占比較高，若其對公司的采購需求減弱，甚至終止雙方戰略合作關系，將對公司生產經營產生不利2)國際貿易摩擦加劇影響出口。公司產品主要銷往國際半導體設備廠商，若貿易壁壘增加，公司產品出口受限，將對公司業績造成不利影響。3)新產品驗證導入不及預期。精密零部件須緊跟下游需求不斷升級，若公司產品研發不能及時滿足客戶先進工藝制程演進與產品更新迭代，將對公司競爭力和業績產生不利影響。4)募投項目進展不及預期。公司募投項目為大型生產基地規劃，未來收入增長依賴新基地的投產和產能爬坡，若募投項目建設進展不及預期，將對公司業績造成不利影響。富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告292,4876371,3932,487利潤表(百萬元)2021A2022E2023E2024E業總收入8431,4012,1233,175業成本業稅金及附加48銷售費用管理費用研發費用31務費用1產減值損失投資收益000業利潤36251447662業外收支2,4876371,3932,487利潤表(百萬元)2021A2022E2023E2024E業總收入8431,4012,1233,175業成本業稅金及附加48銷售費用管理費用研發費用31務費用1產減值損失投資收益000業利潤36251447662業外收支-1-1利潤總額36251447661所得稅6潤00潤2623241261048資產負債表(百萬元)2021A2022E2023E2024E幣資金應收賬款及票據預付款項9貨其他流動資產流動資產合計9963,6343,9384,529股權投資3333無形資產非流動資產合計1,4902,0162,4792,692資產合計5,6506,4177,221短期借款000應付賬款及票據其他流動負債流動負債合計4819021,114期借款00其他長期負債00000000非流動負債合計755455400400負債合計9361,3021,514本少數股東權益69股東權益合計1,0944,7145,1155,707負債和股東權益合計5,6506,4177,221要財務指標2021A2022E2023E2024E成長能力(%)業收入增長率.59增長率.03盈利能力(%)潤率.10.96償債能力流動比率.37.07速動比率現金比率資產負債率(%)經營效率應收賬款周轉天數存貨周轉天數總資產周轉率每股指標(元)每股收益每股凈資產每股經營現金流每股股利估值分析股息收益率(%)公司財務報表數據預測匯總現現金流量表(百萬元)潤2021A2024E2022E2023E00運資金變動經營活動現金流157259598680資本開支資本開支0000資0000投資活動現金流投資活動現金流-701-501-627-700股權募資00股權募資00債債務募資130籌資活動現金流4712,913-550現現金凈流量2,472-158791證券研究院預測(注：EPS以總股本2.09億股測算，PE/PB以發行價測算)富創精密(688409.SH)/電子本公司具備證券投資咨詢業務資格，請務必閱讀最后一頁免責聲明證券研究報告30插圖目錄圖1：富創精密產品進入多家龍頭廠商供應鏈 3圖2：2019-2022年H1富創精密營收凈利(百萬元，左軸)及毛利率(%，右軸) 42019-2022年H1富創精密期間費用率水平 4圖4：富創精密營收情況(百萬元) 4圖5：富創精密主營收入分市場區域情況(百萬元) 4圖6：富創精密存貨結構(百萬元) 5 圖10：2019-2021年富創精密研發投入(百萬元) 9 11 HYPERLINK\l"_bo