標準解讀

《GB/T 26112-2010 微機電系統(MEMS)技術 微機械量評定總則》是一項國家標準，旨在為微機電系統的性能評估提供指導。該標準適用于MEMS器件的設計、制造和測試過程中的質量控制與性能評價。根據這項標準，微機械量的評定需要遵循一系列原則和技術要求，以確保測量結果的準確性、一致性和可比性。

首先，標準定義了微機械量的基本概念及其分類，包括但不限于力、位移、速度、加速度等物理量。接著，詳細描述了進行微機械量評定時應考慮的因素，比如環境條件（溫度、濕度）、設備精度以及測試方法的選擇等。此外，還特別強調了在不同應用場景下選擇合適參數的重要性，并提供了如何根據具體需求設定合理評價指標的方法論。

對于數據處理部分，《GB/T 26112-2010》給出了統計分析的基本框架，建議使用平均值、標準差等統計量來表征測量數據的集中趨勢與離散程度；同時，也提到了異常值檢測及剔除的相關規則。通過這種方式，可以有效提高實驗數據的可靠性和有效性。

最后，該標準還涵蓋了文檔記錄的要求，指出所有與測試相關的原始數據、計算過程以及最終結論都應當被妥善保存并易于追溯，這對于保證科學研究的透明度和再現性至關重要。


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  • 2011-01-10 頒布
  • 2011-10-01 實施
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文檔簡介

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標準

GB/T26112—2010

微機電系統MEMS技術

()

微機械量評定總則

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Generalrulesfortheassessmentofmicro-mechanicalparameters

2011-01-10發布2011-10-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T26112—2010

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標準起草單位天津大學中機生產力促進中心西安交通大學大連理工大學太原理工大學中

:、、、、、

原工學院

。

本標準主要起草人胡曉東丁紅宇劉偉張蘋景蔚宣蔣莊德劉沖張文棟趙則祥

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26112—2010

微機電系統MEMS技術

()

微機械量評定總則

1范圍

本標準規定了微機械量的評定基本原則評定要素評定程序評定方法以及評定規則

、、、。

本標準適用于企業研究機構檢測機構從事微機電技術及產品的研究設計生產檢測及使用

、、、、、。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅所注日期的版本適用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

微機電系統技術術語

GB/T26111(MEMS)

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T26111。

31

.

微機械量micro-mechanicalparameters

泛指一切與微機械性質和狀態相關的物理量包括幾何量流量溫度聲學力學和運動等物理量

,、、、、;

由于幾何量流量溫度聲學等物理量進行了專門的分類因此微機械量是指位移速度加速度振動

、、、,、、、

等運動特性參量以及與運動特性相關的力學參量

,。

32

.

微位移Microscaledisplacement

描述質點在微米級尺度下位置變化的物理量其大小等于起點至終點的直線距離方向由起點指向

,,

終點

。

注1微結構在受到一定激勵的條件下會產生位置的變化典型的位置變化有兩種形式平移和轉動分別對應線位

:,,,

移和角位移

。

注2如果將微結構基底作為一個參考平面與這個參考平面面平行的位移為面內位移否則稱為離面位移

:,,。

33

.

振動vibration

物體的往復運動按照往復運動的方向可分為線振動和角振動評定微結構的振動特性主要包

。。

括振動幅度諧振頻率振動模態品質因子

:、、、。

34

.

殘余應力residualstress

在微加工處理完成后在沒有外力的作用下在微機械結構內部保持平衡而存留的應力稱為殘余

,,,

應力是內應力外應力和熱應力的綜合作用

,、。

35

.

應力梯度stressgradient

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