ICS13.040.35C70中華人民共和國國家標準GB/T25915.3-2010/ISO14644-3：2005潔凈室及相關受控環境第3部分：檢測方法Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part3：Testmethods(ISO14644-3:2005.IDT)2011-01-14發布2011-05-01實施中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局愛布中國國家標準化餐理委員會

GB/T25915.3-2010/ISO14644-3：2005二次前言引言1范圍規范性引用文件3術語和定義3.1一般術語3.2空氣懸浮粒子測量3.3空氣過濾器和過濾系統3.43.5靜電測量3.6測量器具和測量條件3.7占用狀態4檢測規程4.1潔凈室檢測4.2原理55檢測報告附錄A（資料性附錄)檢測項目的選擇和實施順序附錄B（資料性附錄)檢測方法附錄C（資料性附錄)檢測儀器參考文獻

GB/T25915.3-2010/IS014644-3:2005前GB/T25915《潔凈室及相關受控環境》分為八個部分：第1部分：空氣潔凈度等級；第2部分：證實持續符合GB/T25915.1的檢測與監測技術要求：第3部分：檢測方法；第4部分：設計、建造、啟動；第5部分：運行：第6部分：詞匯：-第7部分：隔離裝置(潔凈風罩、手套箱、隔離器、微環境)第第8部分：空氣分子污染分級本部分是GB/T25915的第3部分本部分按照GB/T1.1—2009給出的規則起草本部分使用翻譯法等同采用ISO14644-3:2005《潔凈室及相關受控環境第3部分：檢測方法》。本部分由全國潔凈室及相關受控環境標準化技術委員會(SAC/TC319）提出并歸口。本部分由蘇州尚科潔凈技術有限公司、上?？菩艡z測科技有限公司、北京市產品質量監督檢驗所負責起草，蘇州英德爾室內空氣技術有限公司、北京控制工程研究所、蘇州克林絡姆空調系統工程有限公司、蘇州工業園區宏基潔凈科技有限公司、蘇州高科凈化有限責任公司、凈微（蘇州)科技有限公司、萊特浩斯儀器(蘇州)有限公司、深圳金開利環境科技有限公司參加起草。本部分主要起草人：吳俊民、涂光備、丁衛敏、張利群、蔡杰、陳思源、張訓彪、嚴勤豐、邊炳秀、郭良、徐偉

GB/T25915.3-2010/ISO14644-3:2005潔凈室及相關受控環境將空氣污染物控制在合適的水平.以便完成對污染敏感的工作。航天、微電子、制藥、醫療器械、食品、醫療等行業的產品和工藝受益于對空氣污染的控制。GB/T25915的本部分給出了對GB/T25915其他各部分所介紹并規定的潔凈室特征進行檢測的方法。?。罕静糠植⑽窗ㄋ袧崈羰覅档臋z測規程。涉及特定產品和特定工藝的潔凈室和潔凈區及相關參數的檢測規程和所用儀器.在SAC/TC319編制的其他文件中討論例如,對活物質的控制與檢測規程(GB/T25916).潔凈室功能性檢測(GB/T25915.4—2010),隔離裝置檢測（GB/T25915.7—2010)。此外，潔凈室的檢測活動中也可以考電采用其他適用標準。GB/T25915的本部分的陳述中參照了美國材料與試驗協會（ASTM),歐洲標準化委員會(CEN）德國標準化協會(DIN).美國環境科學技術學會（IEST),日本空氣潔凈協會（JACA）,日本工業標準（JIS)和國際半導體制造協會（SEMI）等團體編制的標準，

GB/T25915.3-2010/IS014644-3:2005潔凈室及相關受控環境第3部分：檢測方法警告一-GB/T25915的本部分的應用可能涉及有害材料、作業和設備。GB/T25915的本部分未提及與應用有關的所有安全性問題。使用前·GB/T25915本部分的用戶有責任制定適當的安全和衛生獵施·并遵守各種強制性規定。1范圍GB/T25915的本部分規定了潔凈室和潔凈區空氣懸浮粒子潔凈度等級的檢測方法，以及潔凈室和潔凈區性能的檢測方法。性能檢測針對是空態、靜態和動態3種可能的占用狀態下的單向流和非單向流型式潔凈室和潔凈區。本文件推薦了測定性能參數用檢測儀器和檢測規程。某些檢測方法受限于潔凈室或潔凈區的類型,為此·本文件推薦了若干替代方法。為了滿足不同用戶的要求.對于某些檢測項目，本文件推薦了幾種不同的方法和儀器。若需方與供方協商同意，也可以使用本部分未介紹的其他替代方法。替代方法未必給出相同的測量結果。本部分不適用于測量潔凈室或隔離裝置內的產品或工藝。2規范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件.僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T25915.1-2010潔凈室及相關受控環境第1部分：空氣潔凈度等級(ISO14644-1：1999，IDT）GB/T25915.2-2010潔凈室及相關受控環境第2部分：證明持續符合GB/T25915.1的檢測與監測技術要求(ISO14644-2:2000,IDT)GB/T25915.4—2010清凈室及相關受控環境第4部分：設計、建造、啟動（ISO14644-4:2001IDT）ISO7726：1998熱環境人體功效學物理量測量儀器3術語和定義下列術語和定義適用于本文