CS31.080.01L40中華人民共和國國家標準GB/T20522-2006/IEC60747-14-3:2001半導體器件第14-3部分;半導體傳感器——壓力傳感器Semiconductordevices-Part14-3：Semiconductorsensors-Pressuresensors（IEC60747-14-3:2001,IDT)2006-08-23發布2007-02-01實施中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布中國國家標準化管理委員會

GB/T20522-2006/IEC60747-14-3:2001《半導體器件第14部分：半導體傳感器》分為以下三部分：-第1部分：總則和分類;第2部分：霍爾元件；第3部分：壓力傳感器。本標準為第3部分.適用于半導體壓力傳感器,它等同采用IEC60747-14-3:2001《半導體器件14-3部分：半導體傳感器一壓力傳感器》英文版）。IEC60747-14-3中對于FSS和FSO有些混用。本標準明確所有測量結果均是相對于FSS的百分比.這樣也與目前國內的情況統一這是本標準與IEC60747-14-3的主要區別。本標準由中華人民共和國信息產業部提出。本標準由全國半導體器件標準化技術委員會歸口本標準起草單位：中國電子技術標準化研究所（CESI)本標準主要起草人：張秋、陳勤。本標準首次發布。

GB/T20522-2006/IEC60747-14-3:2001半導體器件第14-3部分：半導體傳感器-壓力傳感器范圍本標準規定了測量絕壓、表壓和差壓的半導體傳感器的要求規范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內容)或修訂版均不適用于本標準，然而.鼓勵根據本標準達成協議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件.其最新版本適用于本標準。GB/T17573—1998半導體器件分立器件和集成電路第1部分：總則(idtIEC60747-1:1983)GB/T20521-2006半導體器件第14-1部分：半導體傳感器——，-總則和分類術語和定義、文宇符號下列術語和定義、文字符號適用于本標準3通用術語3.1.1半導體壓力傳感器semiconductorpressuresensors半導體壓力傳感器將兩個壓力之間的差轉化為電輸出量.其中-1一個可能是參考壓力(見3.2.3)半導體壓力傳感器包括線性壓力傳感器和壓力開關。線性傳感器的電輸出量隨著壓力的變化而線性地改變開關型傳感器的輸出量隨著增加或減小的壓力差超過特定閥值時,在接通或斷開這兩個穩定的狀態之間切換。在本標準中,電輸出量是用電壓來描述的,也適用于其他輸出量，如GB/T20521-2006中3.8所描述的阻抗、電容、電壓比、頻調輸出或數字輸出等輸出量。3.1.2傳感方式sensingmethods3.1.2.1玉電式piezoelectricsensing壓電器件的基本原理是壓電材料受到應力,產生電荷，經電荷放大器放大，轉化為與電荷成正比的電壓。壓電式傳感器的主要優點是工作溫度范圍寬(可達300C）.頻率范圍寬（可達100kHz)。3.1.2.2玉阻式piezoresistivesensing壓阻的基本原理是當敏感電阻受到應力作用產生形變時.阻值發生變化。敏感電阻可以分成p型和”型兩種。當其位于壓力傳感器膜片上的合適位置上時,對應變和壓力非常敏感。四個合適取向的電阻構成橋式應變計除了橋式應變計.還可以采用橫向