標準解讀
GB/T 16943-1997 是一項中華人民共和國國家標準,全稱為《電子工業用氣體 氦》。這項標準規定了電子工業所使用的氦氣的質量要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和儲存要求,旨在確保氦氣作為電子工業原材料時的純度與質量,滿足該領域對高純度氣體的嚴格需求。
標準內容概覽:
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范圍:明確了本標準適用于電子工業生產中使用的氦氣,規定了其技術條件及試驗方法。
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規范性引用文件:列出了實施本標準時所依據或參考的其他相關標準和文件,這些文件對于理解和執行標準內容是必要的。
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術語和定義:雖然具體定義未列出,通常會包括氦氣純度、雜質含量等基本概念的界定。
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要求:
- 純度:詳細規定了氦氣的最低純度要求,可能包括總雜質含量的最大允許限值。
- 雜質含量:指定了氦氣中可能含有的各種雜質元素(如氮、氧、氬等)的具體含量限制。
- 物理化學性質:可能包括了氦氣的壓力、溫度條件下的物化特性要求。
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試驗方法:
- 描述了如何通過科學方法檢測氦氣的純度和雜質含量,包括氣相色譜分析、光譜分析等手段。
- 規定了采樣、預處理、分析過程的具體步驟和條件。
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檢驗規則:
- 包括了產品出廠前的檢驗項目、抽樣方案、判定規則等,確保每批產品的質量符合標準要求。
- 可能還包括了型式檢驗和監督檢驗的具體安排。
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標志、包裝、運輸、儲存:
- 規定了氦氣容器上應標注的信息,如產品名稱、規格、批號、純度等級、生產日期等。
- 對包裝材料、方式以及在運輸和儲存過程中的環境條件(如溫度、壓力)提出了要求,以防止污染或變質。
實施意義:
該標準的制定和實施有助于統一電子工業用氦氣的質量標準,保證生產過程的穩定性和產品的可靠性,促進電子元器件和半導體制造業的高質量發展。同時,也為氦氣供應商提供了明確的質量控制指標,便于國內外貿易中的品質鑒定與交流。
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文檔簡介
Te71.100.20G86中華人民共和國國家標準CB/T16943一1997電子工業用氣體Gasesforelectronicindustry-Helium1997-08-13發布1998-05-01實施國家技術監督局發布
GB/T16943-1997前本標準是根據SEMIC3.20-一92《鋼瓶裝氮標準》(1995年版)制定的,在技術要求上與之等同,檢驗方法與之等效。在將SEMIC3.20—92轉化為本國家標準時,結合我國的實際情況,刪去了SEMIC3.20—92中僅作為參考的物理常數和注釋等內容,試驗方法中增加了抽樣和氮氣純度兩條,各項雜質含量的測定,分別采用我國相應的通用試驗方法國家標準,同時對檢測限和標樣要求按SEMI標準規定進行了適當的調整。以上變動與SEMI標準無實質性差異,并使標準的技術內容更加完整。本標準由中華人民共和國化學工業部提出。本標準由化學工業部西南化工研究院歸口。本標準起草單位:化學工業部西南化工研究院、四川石油管理局六菱化工公司。本標準主娶起草人:余中玉、戴啟文
中華人民共和國國家標準電子工業用氣體GB/T16943-1997Gasesforelectronicindustry-Helium1范園本標準規定了電子工業用氨氣的技術要求、檢驗方法以及包裝、標志等,適用于以深冷法從天然氣、空氣或工廠弛放氣提取的高純度氮,在半導體及其器件生產中用作清洗氣、加壓氣,也用作載氣和保護氣等:分子式:He相對分子質量:4.003(按1991年國際相對原子質量)2引用標準下列標準所包含的條文,通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時,所示版本均為有效。所有標準都會被修訂,使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。GB/T4844.1-1995工業氮氣GB/T5832.1-86氣體中微量水分的測定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測定露點法GB/T6285—86氣體中微量氧的測定電化學法GB/T8984.1一1997氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB/T8984.3-1997氣體中總烴的測定火焰離子化法3要求電子工業用氮氣的技術指標應符合表1的要求。表1技術指標VM日指標氨氣純度,10-99.9995一氧化碳和二氧化碳總含量,10-1.0氮含量,10-“2.0氧含量,10-0.5總烴(以甲烷計)含量,10
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