標準解讀

《GB/T 15862-1995 離子注入機通用技術條件》是中國關于離子注入機設備制定的一項國家標準，旨在規范離子注入機的技術要求、測試方法以及檢驗規則，確保設備的性能穩定性和產品的質量一致性。此標準詳細闡述了離子注入機在設計、制造及使用過程中需要遵循的基本原則和技術指標，適用于半導體工業中用于材料表面改性處理的各類離子注入設備。以下是該標準的主要內容概覽：

  1. 范圍：明確了標準適用的離子注入機類型，包括常溫、高能、低能及特殊應用的離子注入機，涵蓋了它們的構造、功能特性和安全要求。

  2. 引用標準：列出了實施本標準時需要參考的其他相關國家標準和行業標準，確保各項技術要求的一致性和協調性。

  3. 術語和定義：對離子注入機相關的專業術語進行了明確界定，如束流強度、能量分辨率、劑量控制精度等，為后續技術條款的理解奠定基礎。

  4. 基本要求：概述了離子注入機在機械結構、電氣系統、真空系統、控制系統等方面應滿足的基本條件，確保設備的穩定運行和操作安全。

  5. 性能要求：

    • 束流特性：規定了離子束的強度、能量、劑量控制精度及穩定性等關鍵參數的最低標準。
    • 注入均勻性：要求離子注入在指定區域內的分布應達到一定的均勻度，以保證半導體器件的性能一致性。
    • 束斑尺寸與形狀：定義了離子束斑的大小及其形狀的控制要求，這對于精確控制注入深度和區域至關重要。
    • 能量分辨率與可調范圍：明確了設備應具備的能量調節能力及能量分辨率，以適應不同材料和工藝的需求。

  6. 試驗方法：詳細描述了如何測試離子注入機的各項性能指標，包括測試環境、測試設備、測試步驟及數據處理方法。

  7. 檢驗規則：規定了產品出廠前的檢驗項目、檢驗頻次及合格判定準則，確保每臺設備都符合標準要求。

  8. 標志、包裝、運輸和儲存：對設備的標識信息、包裝方式、運輸條件及儲存環境提出了具體要求，以保護設備在交付過程中的完好無損。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現行標準GB/T 15862-2012
  • 1995-12-22 頒布
  • 1996-08-01 實施
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ICS31.200L97中華人民共和國國家標準GB/T15862-1995離子注人機通用技術條件Genericspecificationforionimplantationequipment1995-12-22發布1996-08-01實施國家技術監督局發布

中華人民共和國國家標準GB/T15862-1995離子注人機通用技術條件Cenericspecificationforionimplantationequipment主題內容與適用范圍本標準規定了離子注人機的術語、產品分類、技術要求、試驗、檢驗規則和標志、包裝、運輸、財存：本標準適用于半導體工藝用電能離子注入機。其他離子注入機亦可參照使用。2引用標準GB191包裝儲運圖示標志GBn193出口機械、電工、儀器儀表產品包裝通用技術條件GB5080.7設備可靠性試驗“恒定失效率假定下的失效率與平均無故障時間的驗證試驗方案GB6388運輸包裝收發貨標志SJ142電子工業專用設備總技術要求SJ1276，金屬鍍層和化學處理層質量檢驗技術要求SJ2573涂料涂覆通用技術條件術語3.1東能量beamenergy到達靶上離子所具有的動能，單位為電子伏特(eV)、3.2靶束流beamcurrentontarget單位時間內靶上接收到的離子束電荷量，單位為安培(A)。3.3均勾性uniformity表征注人離子劑量不均勻的程度。用相對標準偏差表示3.44重復性repeatability表征片間(或批間)在相同條件下注入離子劑量不重復的程度。用相對標準偏差表示.3.55真空度vacuumn不引束條件下，離子注入機真空室所能達到的最低壓強。4產品分類4.1」離子注入機按能量高低分為：低能離子注入機；b中能離子注入機；高能離子注入機;北伏離子注人機。4.22離子注入機

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