標準解讀

《GB/T 13843-1992 藍寶石單晶拋光襯底片》這一標準規定了藍寶石單晶拋光襯底片的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和儲存要求。具體來說，它涵蓋了以下幾個關鍵方面：

  1. 定義與分類：標準首先明確了藍寶石單晶拋光襯底片的基本概念，以及按照尺寸、厚度、晶向等不同參數進行的分類。

  2. 技術要求：

    • 材料：規定了用于制造襯底片的藍寶石單晶應滿足的純度和晶體質量要求。
    • 尺寸和形狀：詳細說明了襯底片的尺寸公差、平面度、平行度及厚度公差等指標。
    • 表面質量：包括表面粗糙度、平整度、潔凈度等，要求無明顯劃痕、污染點或其它缺陷。
    • 物理性能：可能包括密度、熱膨脹系數等物理特性指標，確保襯底片在后續應用中的穩定性。

  3. 試驗方法：為驗證上述技術要求，標準詳細介紹了各項測試的執行方法，如如何測量尺寸、使用何種設備檢測表面粗糙度等。

  4. 檢驗規則：明確了產品檢驗的程序、抽樣方法及合格判定準則，確保每批產品的質量一致性。

  5. 標志、包裝、運輸和儲存：規定了產品上應標注的信息（如生產日期、批號、規格等），以及包裝材料、方式、運輸條件和儲存環境的要求，以防止在流通和存儲過程中對產品質量造成損害。


如需獲取更多詳盡信息，請直接參考下方經官方授權發布的權威標準文檔。

....

查看全部

  • 廢止
  • 已被廢除、停止使用，并不再更新
  • 1992-12-28 頒布
  • 1993-08-01 實施
?正版授權
GB/T 13843-1992藍寶石單晶拋光襯底片_第1頁
GB/T 13843-1992藍寶石單晶拋光襯底片_第2頁
免費預覽已結束，剩余10頁可下載查看

下載本文檔

GB/T 13843-1992藍寶石單晶拋光襯底片-免費下載試讀頁

文檔簡介

UDC621.382.032.9L90中華人民共和國國家標準GB/T13843-92藍寶石單晶拋光襯底片Polishedmonocrystallinesapphiresubstrates1992-12-28發布1993-08-01實施國家技術監督局發布

中華人民共和國國家標準CB/T13843-92藍寶石單晶拋光襯底片Polishedmonocrystallinesapphiresubstrates主題內客與適用范圍本標準規定了生長硅的高純藍寶石單品拋光襯底片的技術要求、測試方法、檢驗規則：本標準適用于制備半導體器件的生長硅的高純藍寶石單品拋光襯底片。引用標準GB/T1556硅單晶晶向X衍射測量方法GB6618硅片厚度和總厚度變化的測試方法GB6619硅片彎曲度的接觸式測試方法GB6621硅拋光片表面平整度的非接觸式測試方法GB66244硅單晶拋光片表面質量目測檢驗方法GB10311表面粗糙度參數及其數值GB2828逐批檢查計數抽樣程序及抽樣表(適用于連續批的檢查》硅片上的缺陷、浩污觀察標準和規程術語，硅品體完整性見附錄A。3技術要求3.11化學組成為高純的α-Al.O,,總雜質含量應小于1×10-。322結品完整性在所有直徑范圍內都是單品結構，位錯應等于或小于10°個/cm2.3.33制備襯底所使用的藍寶石單品的生長方法采用直拉法(CZ)。3.44表面取向在所有直徑范圍內均為(1102)±2"。3.5參考面3.5.1主參考面取向C軸在(1102)面上的投影順時針旋轉45"±2"見圖1)。3.5.2次參考面取向C軸在(1102)面上的投影逆時針旋轉45°±2（

溫馨提示

  • 1. 本站所提供的標準文本僅供個人學習、研究之用，未經授權，嚴禁復制、發行、匯編、翻譯或網絡傳播等，侵權必究。
  • 2. 本站所提供的標準均為PDF格式電子版文本（可閱讀打印），因數字商品的特殊性，一經售出，不提供退換貨服務。
  • 3. 標準文檔要求電子版與印刷版保持一致，所以下載的文檔中可能包含空白頁，非文檔質量問題。

評論

0/150

提交評論