一、目的建立正確操作擴散設備的規范，以保證擴散的質量及保護機器和人身安全。二、范圍適用于電池生產線擴散工段，從擴散作業準備至結束所有生產操作步驟和要求。三、職責3.1工藝技術人員3.1.1負責擴散設備工序生產工藝運行的正常性、穩定性。3.1.2負責部門內工藝運行原始資料的累積、保管，隨時檢查工藝運行狀態，并記錄異常，積極處理工藝異常。3.1.3負責應對擴散設備常見、突出、重大的工藝異常，制定落實整改措施、預防措施、應急方案。3.2設備技術人員3.2.1負責擴散設備開關機、故障分析、設備維護及檢修。3.2.2如有工藝需求，積極配合工藝人員調整設備硬件設置。3.2.3負責部門內設備運行原始資料的累積，保管，隨時檢查設備運行狀態，并記錄異常，積極跟蹤異常情況，處理設備故障.3.3生產人員3.3.1負責依照作業指導書要求，按標準進行生產作業，掌握正確的操作方法，確保操作安全、人身安全。3.3.2細心總結操作經驗，發現新問題或改善建議，及時向工藝技術員匯報。3.3.3配合、協助設備的日常維護工作。四、擴散工藝操作標準流程4.1操作前準備工作4.1.1正確穿戴方法及要求：4.1.2、擴散前工具的準備工具要求：舟叉、石英舟、石英吸筆卸片盒（見下圖）正確穿戴好潔凈服、帽子、鞋子、汗布手套、乳膠手套石英吸筆石英舟石英舟叉（含套管）4.2操作要求及步驟（若插卸片方式更改，再做修改）4.2.1取片從傳遞窗中取硅片到擴散工作臺。（注意：傳遞窗兩邊的門不能同時打開，每次只允許取一盒，不能疊放）。傳遞窗4.2.2插片一次拿一盒擴散工作臺硅片插入石英舟保持傾斜狀，從爐尾到爐口，與石英舟的傾斜方向相同。插片前，注意區分擴散爐是左手設備，還是右手設備。取2盒硅片放到擴散工作臺上，右邊的那一盒翻轉180。單面擴散，一個插槽插2片硅片。依次從左邊、右邊的硅片盒中取硅片，相應地插入一個插槽的左邊和右邊，必須確保沒有滾輪痕跡的那一面作為擴散面。握筆吸片04.2.3上舟插片完成取片插片用舟叉將插滿硅片的石英舟從擴散工作臺裝載到擴散爐的舟托上，注意舟在槳上的位置，從爐尾到爐口，硅片保持“\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\”狀，然后運行工藝流程，進舟。搬運過程中，石英舟外側略微翹4.2.4工藝運行檢查“Slider”是否在上料位置，若不在，手動狀態下移到上料處：“Manual/Slider/toport”（圖一）。把插好硅片的舟放到“slider”上。盡量使舟在“slider”中間位置（圖二）舟叉放進石英舟石英舟外側先翹起圖一圖二在“Setup”界面選擇“Boat”項（圖三），選擇一個舟號，進行工藝信息編輯。選擇確定后，進入“boatactivation”界面（圖四），點選“Setboatactiveforhandling”、“Setboatto‘Readyforprocessing’和‘Boatwillberemovedforunload’”復選框,再點擊“Next”按鈕。圖三圖四進入“Handlinginformation”界面（圖五），把舟上的編號輸入到“BoatID”一欄，同時選擇Loadposition為“Slider”，再點擊“Next”按鈕。進入“Processtubeselection”界面（圖六），選擇需運行工藝的管號，在正常情況下1-4管全部選中，再點擊“Next”按鈕圖五圖六進入“Boatinformation”界面（圖七），在Actualboatlocation位置選擇“Slider”，在Boatstate位置選擇“Waitfortube”，再點擊“Next”按鈕。進入“Processinformation”界面（圖八），選擇相應的運行工藝名，在“Lotsinboat”中輸入相關舟的信息，再點擊“Finish”按鈕。圖七圖八進入“Summary”界面（圖九），顯示8.3-8.8每一步輸入的信息，核對無誤后，點擊“OK”，信息輸入完成。在“Job”頁面點擊然“Run”按鈕（圖十），回到自動運行狀態。機械手自動送舟到SiC槳上，開始運行工藝。圖九圖十0當某一管的“Tubestate”（圖十一）顯示藍色時，需要人工輸入信息，打開相應管的CESAR界面。1在紅色的對話框“Adjusttemperature?”中（圖十二）輸入需要修改的溫度或默認值，再在鍵盤上點擊“Enter”鍵。圖十一圖十二2在彈出的紅色對話框“Adjustdiffusiontime?”中（圖十三）輸入需要修改的時間或默認值，再在鍵盤上點擊“Enter”鍵。3在彈出的紅色對話框“Adjustdriveintime?”（圖十四）中輸入需要修改的時間或默認值，再在鍵盤上點擊“Enter”鍵,信息輸入完畢，槳自動送舟到石英管，開始擴散工藝。圖十三圖十四5當工藝運行完，自動取舟到“Storage”位置冷卻；冷卻后“Slider”自動取舟到下料位置并伴有蜂鳴提示，進行取舟卸片和測試方塊電阻；再放上需要擴散的舟。6同時CMI電腦彈出“BoatInfo”界面（圖十五），點擊“Unloaddone”按鈕，在軟件中完成卸舟信息。7進入“BoatInfoModeSelect”界面（圖十六），選擇“Wafer（Productionwaferwithhostvalidation）”項，點擊“OK”按鈕圖十五圖十六8進入“MaterialLoading”界面（圖十七），在“Boat”輸入舟編號，在“Lot”輸入舟相關的信息，同時彈出“Recipe”項，選擇相應的工藝名，點擊“Loaddone”按鈕，機械手自動上料，工藝運行開始圖十七4.2.5下舟工藝流程結束，退出工藝，退舟，石英舟在槳上冷卻5mins，用舟叉將石英舟（含硅片）挑下來，放在卸片臺內再冷卻3mins,注意爐口、爐尾的位置4.2.6測量從爐尾到爐口，每舟依次取6片硅片，如果是單面擴散，取右邊的硅片，注意取片的方式。然后用四探針測試儀測量方阻，測量順序為從爐口到爐尾，每片硅片測5個點，4個角和中心，注意測量的順序，測量完，將測量的硅片還回，繼續下一道工序。數據記錄前，記錄這一爐硅片的相關內容：流程卡號、設備號、工藝編號、硅片等級（合格品或等外品）、硅片數量、流入流出時間、壓差、擴散方式、日期、出爐時間等。用吸筆吸片取片準備翻轉翻轉完畢裝入片盒，確保底邊在遠離身體的一側；單面擴散時，確保擴散面朝上將卸片盒拿到四探針測試儀處，從卸片盒中取出第一片硅片，將第一片硅片放在測片臺上，按R□/e按鈕將電流值至4.530mA（每2h校準一次）R□/e按鈕切換讀取穩定值并做數值記錄按照從1到5的順序，依次測量按上升按鈕，等待探針上升自動停止后從測片臺水平抽出硅片從卸片盒中取出第二片硅片，將第二片硅片放在測片臺上。按下降按鈕，等待探針下降自動停止后讀取穩定值并做數值記錄。按上升按鈕，等待探針上升自動停止后從測片臺水平抽出硅片。重復上述步驟測第三、四、五片硅片的方塊電阻。將測試完的硅片放回至原來石英舟處，并根據實測的方塊電阻調節擴散溫度。4.2.7卸片、填寫流程單按照從爐口到爐尾的順序，將硅片卸到硅片盒中，注意硅片方向，確保擴散面一致向上，填寫標簽，標簽內容包括：流程卡號、單/雙面擴散、硅片等級（合格品或等外品）、已擴散、采用噴磷方式需注明。填寫流程單，流程單的內容包括：流程卡號、設備號、工藝編號、硅片等級（合格品或等外品）、硅片數量、流入流出時間、擴散方式、日期、出爐時間等。裝好的硅片，送往下一道工序。用手取片兩片分開，注意左右不能混淆用手取片右邊的硅片準備翻轉右邊的硅片準備翻轉完畢右邊的硅片從片盒周邊傾斜放入右邊的硅片放左邊的硅片，保持原來的狀態不變，準備放入片盒左邊的硅片從片盒周邊傾斜放入HYPERLINK"/retype/zoom/164a7e5c312b3169a451a4a5?pn=11&x=0&y=0&raww=261&rawh=195&o=p