◆教育內容1.

什么是靜電氣？

2.

帶電的種類和MECHANISM

3.

帶電例4.

ESD

MODEL5.

半導體基本內壓和用語別電阻植

6.

靜電氣對策基本思想7.

Shieldingbag基本構造8.

靜電氣管理必須計策器9.

靜電氣計策的過去和今天10.靜電氣管理

Manual11.靜電氣管理處理

Flow12.溫,濕度和靜電氣關系13.電烙鐵電阻測定14.

靜電氣和COULOMB15.

導電MAT的構造16.

導電MAT

的作用

17.接地方法18.

等離子的原理19.

等離子的管理方法20.理想的作業工程2005.03.16靜電氣的概念和相應對策

MSC

OP2部1/33◆教育內容2005.03.16靜電氣的概念1?物體儲蓄正(+)或者負(-)電荷的狀態叫做

“帯電”狀態.

物體靜止時的電狀態叫做“靜電気”.?電有正電(+)和負電(-)2種.所有的物體都是由原子構成的.正（＋）帶電狀態原子的構造電子受到光,熱等外部力量后,從原子核脫出成為自由移動的自由電子.ーーーーーー+5

ー自由電子1.什么是靜電氣？ーーーーーーー電子陽子+++++中性狀態.靜電氣發生ーーーー+5

ーー負（-）帶電狀態2/33?物體儲蓄正(+)或者負(-)電荷的狀態叫做“帯電”狀態22.帶電的種類及MECHANISM(1)帶電的種類;

①接觸帶電（FILM、紙）

②分離帶電（脫作業服時,取掉LEVEL時

）

③摩擦帶電（帶電物的接近）(2)帶電的MECHANISM

物質A＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－物質B物質A物質B物質A＋＋－＋＋－＋－－＋－－＋－物質B＋＋－＋＋－＋－－＋－－＋－

－＋物質A＋－＋－＋－＋－＋－中性＋－＋－＋－物質B靜電荷負電荷?與物質Ａ、Ｂ中性狀態?接觸,沖擊時電子會移動?以電荷的移動帶電中性靜電氣發生3/332.帶電的種類及MECHANISM(1)帶電的種類;33.帯電列POLYESTER空氣ACRY硝子NYLON雲母

錫絹ALUMINIUM紙POLYURETHANEVINYLTEFLON木棉銅硬質橡膠NICKEL銅銀硫黃NEONURETHANE4/33隨著物質的不同,帶電電荷的符號不同.－＋3.帯電列POLYESTER空氣ACRY硝子NYLON雲母44.ESD

MODEL了解一下因ESD放電導致電子部品的熱化及破壞.

第一,

因人體的接觸制品被充電或放電.第二,

制品本身起KIEPEXITE作用，而充電或放電的情況.搬運過程或自動移送過程中容易發生摩擦起電的物質（PLASTIC種類）帶電，會對電子部品的低電阻PIN等表面迅速放電而導致損傷的情況.第三，被電界充電的部品充電量變的情況.在帶電物和部品之間的靜電感應狀態下，因帶電物的突然性位置變化及靜電感應急激變化而對絕緣及氧化層產生影響導致ShortCircuit的情況。第二，第三之例如右圖，電子部品的金屬（ICPIN）接近帶電物時會發生靜電感應.離帶電物近的部分感應與帶電五反極性的電荷，而離帶電物遠的部分會感應與帶電物相同極性的電荷；在這個狀態下一側的PIN與基板接觸時，與帶電物同極性的電荷流入到接地而引起放電。然后，帶電物遠離（舉起）時，與帶電物反極性的電荷會引起放電的現象發生；因這種現象破壞的情況也有。ESD＝Electrostatic

Discharge,靜電防電5/334.ESDMODEL了解一下因ESD放電導致電子部品的熱化5●Surge導致LD破壞的Mechanism超過定額的強光出力進到激光出射面會破損成damage(COD發生).Laser

ChipLaser光出力

絕對最大定額COD破壞

定額

光出力Iop

驅動電流(A)COD:CatastrophicOpticalDamage6/33●Surge導致LD破壞的Mechanism超過定額的強光出6?Conductive(導電層):

～10*6[?/sq]?StaticDissipative(靜電層):10*7～10*10[?/sq]?Anti-static(帶電防止層):10*11～10*13[?/sq]半導體存在著承受外部沖擊的耐電壓.了解一下?半導體別耐電壓.5.半導體靜電內壓和用語別電阻(1)半導體別靜電內壓(2)用語別電阻★

靜電氣30V也可能破壞部品.7/33?Conductive(導電層):～10*6[?/s7非導電體?金屬?人?纖維?樹脂?塑膠類ＧＮＤ（接地）加濕

等離子導電體6.靜電氣對策基本發狀?第一種接地：靜電氣對策.?第三種接地：電子機器，計測器8/33非導電體?金屬?人?纖維?樹脂?塑膠類ＧＮＤ（接地）加濕8對靜電敏感的電子部品或基板的搬運和保管時使用的ShieldingBag一般如下圖3層構成的.那三層是：金屬

Coating層,Polyester層,Polyethylene層.

金屬層(表面電阻約10-2?/Sq)把發生的靜電感應反應在100micro-sec以內，防止被保管部品受到破壞；

絕緣層構成的Polyester層不僅防止因靜電氣的直接放電受到的破壞，而且經常防止Bag最下面一層Polyethylene層的

Anti-Static物質是化學合成物引起的Bag內部摩擦產生的靜電氣.7.ShieldingBag的構造靜電層Anti-Static

層9/33對靜電敏感的電子部品或基板的搬運和保管時使用的Shieldi98.靜電氣管理必須計測器(1)測DEVICE等放電電荷量的CoulombMeter(2)

測人體的帶電電位的人體電位計

(3)

測Work-Bench及帶電狀態的Work-BenchMonitor

(4)調查等離子的制電效果，離子Balance特性的大氣離子Monitor

(CPM)

10/338.靜電氣管理必須計測器(1)測DEVICE等放電電荷109.靜電氣計測的過去和今天11/339.靜電氣計測的過去和今天11/331110.靜電氣管理菜單12/3310.靜電氣管理菜單12/3312

靜電氣測定

①表面電位

②電荷量判定滿足管理規格時1.管理規格<測定值<耐電壓時:ESDSystem再整備2.使用半導體

耐電壓<測定值

時:

生產品檢定.OK

NG●管理規格

①表面單位;30V以下②電荷量:1nC以下11.靜電氣管理處理Flow13/33靜電氣測定判定滿足管理規格時1.管理規格<測定值<耐電13●作業者的帶電防止對策人體也算是導體，所以接地會防止靜電。但是一般作業者在一定的場所步行，作業等使他們繼續帶電，還因為靜電感應所帶電。用以下方法可以防止帶電。

①著用帶點防止作業鞋(導電鞋)

來防止人體帶的靜電氣.

(但,導電鞋底在干凈的狀態下才起作用)

②作業者基本上在一定的位置作業時,利用靜電環直接接地.此時，為了防止

漏電造成的觸電，加安全電阻

(1MΩ)接地.

③因作業服等衣服帶電時，著用實施帶電防止處理加工的帶電防止作業服

等。14/33●作業者的帶電防止對策人體也算是導體，所以接地會防止靜電。但14●人體靜電氣漏及CHECK方法制電鞋(導電鞋)CHECKERWristStrap(靜電環)CHECKER15/33W/S(1毫歐姆電阻內裝）人體靜電氣流人體靜電氣流制電鞋制電鞋電阻內裝接地●人體靜電氣漏及CHECK方法制電鞋(導電鞋)CHECKE1512.溫，濕度和靜電氣關系溫，濕度是靜電氣的非常重要要素之一.

再說，如果正確管理溫，濕度就會大量抑制靜電氣發生。大氣的相對濕度是

60%以上的話，物體的導電性會提高，之所以基本上不會殘留靜電氣；但是30%以下時，靜電氣會多量殘留.16/3312.溫，濕度和靜電氣關系溫，濕度是靜電氣的非常重要要素之一1613.烙鐵電阻CHECK方法(1)接地電阻(2)絕緣電阻絕緣電阻:10MΩ以上烙鐵Concent17/33接地電阻:5Ω

以下烙鐵Concent特別是對

LD端直接焊接的烙鐵非常重要.實際因這個原因出的不良多發履歷也有.★在加熱狀態下確認13.烙鐵電阻CHECK方法(1)接地電阻(2)絕緣電阻絕緣1714.靜電氣和電荷量(Coulomb)靜電氣用另一種話來說是靜止的電荷量.靜止狀態的電荷不是靜止，而是相互之間的力在作用使電荷成靜止狀態；這種力叫做靜電氣力.表明靜電氣力的人是Coulomb，該法則叫做Coulomb法則??.(1)Coulomb法則18/33(2)靜電荷量(靜電用量)兩個電極板之間放有電體，加電壓的話，因分極作用電極會存儲靜電氣.

存儲的靜電荷量是Q=CV[C]

(C:靜電用量,V:電位差)供應電壓因充電顯現的電壓靜電用量絕緣體14.靜電氣和電荷量(Coulomb)靜電氣用另一種話來18在下面認識一下測Coulomb的方法.測靜電破壞的原因——放電電荷量時使用CoulombMeter.14.靜電氣和電荷量(Coulomb)(2)靜電用量(Coulomb)的測定19/33在下面認識一下測Coulomb的方法.14.靜電氣和電荷量19●電荷量CHECK器????20/33●電荷量CHECK器????20/332015.導電Mat的構造了解一下我們常說的導電Mat的構造.2層構造(Static-Dissipative&Conductive)對靜電氣敏感的Device及人體和Mat間的

電位差一直維持

0Volt靜電氣危險開始保護。21/33靜電層(Static-Dissipative)表面電阻:10(7)-10(10)ohm/sq導電層(Conductive)表面電阻:10(3)-10(6)ohm/sq15.導電Mat的構造了解一下我們常說的導電Mat的構造.221完全去掉物體上的靜電荷，多用于半導體制造，電子部品制造等。作用大體上有

①把產生的靜電氣迅速轉到GROUND、

②再也不讓產生靜電氣,大致分為以上兩種.+-++-----++--++---++-+安全電阻:通常使用

1MΩ+-+++++++++__________++為了維持導電Mat的原性能需要定期清掃.注意:不可用Wax等油膜形成的東西清掃.16.導電Mat的作用22/33完全去掉物體上的靜電荷，多用于半導體制造，電子部品制造等。2217.接地方法23/3317.接地方法23/3323●導電Mat接地電阻,Mega，Ohm

CHECK方法24/33●導電Mat接地電阻,Mega，OhmCHECK方法242418.等離子的原理根據依高電壓的KAOROA

放電發生離子.這種離子對帶電物作用，把電荷中化.(1)原理(2)使用場所

:?接地?或者

?加濕?困難的帶電物(塑膠類等).(3)代表性的等離子種類①PulseＤＣ方式：有加+的高電壓電極針和加-的高電壓電極針.

產生+,－各自的離子.定期清掃是非常重要的.

離子產生量多.

制電速度快.

②AC方式：

在一個的電極針上加交流高電壓的方式.

生成+,－各自的離子針是同一的。

離子產生量少.制電速度慢.等離子產生的離子帶電物體

等離子25/3318.等離子的原理根據依高電壓的KAOROA放電發生離2519.等離子的管理方法設置了等離子后，覺得靜電氣對策很完全是一個誤算。之前也說明過，等離子是產生強制電荷，所以沒有去定期充分的管理的話反而會生成靜電氣.26/33★管理POINT;定期的清掃(周1回)及Balance調整非常重要使用時間帶電電位(v)PulseDC

方式

不做清掃和Balance調整的情況.

等離子的例子做定期清掃和Balance調整的情況.

19.等離子的管理方法設置了等離子后，覺得靜電氣對策很完全是26●等離子CHECK器使用法27/33●等離子CHECK器使用法27/3327●靜電氣

CHECK器使用方法28/33●靜電氣CHECK器使用方法28/3328●表面電位計(靜電氣

CHECK機)測定范圍測定此領域帶電物測定領域表面電位計帶電物測定領域表面電位計測定物充分大的時候測定物小的時候半導體DEVICE表面的帶電電位等的面積很小（少），所以用一般的

HANDTYPE

直接測定表面電位很難得到正確的帶電電位.(會比實際值小)29/33●表面電位計(靜電氣CHECK機)測定范圍29??????????????●表面電位計(靜電氣

CHECK機)測定距離測定時隨著與測定物的距離變化能看出來相當的DATA差。隨著測定時，距離調整是非常重要的。靜電氣

check機測定物表示電位(v)??????????????????????????測定物和表面電位計的關系測定物與表面電位計間的距離(x)30/33??????????????●表面電位計(靜電氣CH30●靜電氣CHECKSHEET31/33●靜電氣CHECKSHEET31/333120.理想的作業工程下圖是制作電子部品的理想作業臺例子。導電MAT導電盒子32/33導電椅子蓋導電圍裙?????安全電阻1MΩ接地延長線接地靜電氣特別管理區域20.理想的作業工程下圖是制作電子部品的理想作業臺例子。導電3220.可參考的

internetsite

http://www.constap.co.kr/esd1.htm

/ESDEducation.htm

/products/conductive/index.htm

/esdchtlg.gif

http://shsc.co.kr/

http://constap.co.kr/esd1.htm

http://www.maxcone.co.kr/flattenpro.htm

33/3320.可參考的internetsite33/3333

◆教育內容1.

什么是靜電氣？

2.

帶電的種類和MECHANISM

3.

帶電例4.

ESD

MODEL5.

半導體基本內壓和用語別電阻植

6.

靜電氣對策基本思想7.

Shieldingbag基本構造8.

靜電氣管理必須計策器9.

靜電氣計策的過去和今天10.靜電氣管理

Manual11.靜電氣管理處理

Flow12.溫,濕度和靜電氣關系13.電烙鐵電阻測定14.

靜電氣和COULOMB15.

導電MAT的構造16.

導電MAT

的作用

17.接地方法18.

等離子的原理19.

等離子的管理方法20.理想的作業工程2005.03.16靜電氣的概念和相應對策

MSC

OP2部1/33◆教育內容2005.03.16靜電氣的概念34?物體儲蓄正(+)或者負(-)電荷的狀態叫做

“帯電”狀態.

物體靜止時的電狀態叫做“靜電気”.?電有正電(+)和負電(-)2種.所有的物體都是由原子構成的.正（＋）帶電狀態原子的構造電子受到光,熱等外部力量后,從原子核脫出成為自由移動的自由電子.ーーーーーー+5

ー自由電子1.什么是靜電氣？ーーーーーーー電子陽子+++++中性狀態.靜電氣發生ーーーー+5

ーー負（-）帶電狀態2/33?物體儲蓄正(+)或者負(-)電荷的狀態叫做“帯電”狀態352.帶電的種類及MECHANISM(1)帶電的種類;

①接觸帶電（FILM、紙）

②分離帶電（脫作業服時,取掉LEVEL時

）

③摩擦帶電（帶電物的接近）(2)帶電的MECHANISM

物質A＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－物質B物質A物質B物質A＋＋－＋＋－＋－－＋－－＋－物質B＋＋－＋＋－＋－－＋－－＋－

－＋物質A＋－＋－＋－＋－＋－中性＋－＋－＋－物質B靜電荷負電荷?與物質Ａ、Ｂ中性狀態?接觸,沖擊時電子會移動?以電荷的移動帶電中性靜電氣發生3/332.帶電的種類及MECHANISM(1)帶電的種類;363.帯電列POLYESTER空氣ACRY硝子NYLON雲母

錫絹ALUMINIUM紙POLYURETHANEVINYLTEFLON木棉銅硬質橡膠NICKEL銅銀硫黃NEONURETHANE4/33隨著物質的不同,帶電電荷的符號不同.－＋3.帯電列POLYESTER空氣ACRY硝子NYLON雲母374.ESD

MODEL了解一下因ESD放電導致電子部品的熱化及破壞.

第一,

因人體的接觸制品被充電或放電.第二,

制品本身起KIEPEXITE作用，而充電或放電的情況.搬運過程或自動移送過程中容易發生摩擦起電的物質（PLASTIC種類）帶電，會對電子部品的低電阻PIN等表面迅速放電而導致損傷的情況.第三，被電界充電的部品充電量變的情況.在帶電物和部品之間的靜電感應狀態下，因帶電物的突然性位置變化及靜電感應急激變化而對絕緣及氧化層產生影響導致ShortCircuit的情況。第二，第三之例如右圖，電子部品的金屬（ICPIN）接近帶電物時會發生靜電感應.離帶電物近的部分感應與帶電五反極性的電荷，而離帶電物遠的部分會感應與帶電物相同極性的電荷；在這個狀態下一側的PIN與基板接觸時，與帶電物同極性的電荷流入到接地而引起放電。然后，帶電物遠離（舉起）時，與帶電物反極性的電荷會引起放電的現象發生；因這種現象破壞的情況也有。ESD＝Electrostatic

Discharge,靜電防電5/334.ESDMODEL了解一下因ESD放電導致電子部品的熱化38●Surge導致LD破壞的Mechanism超過定額的強光出力進到激光出射面會破損成damage(COD發生).Laser

ChipLaser光出力

絕對最大定額COD破壞

定額

光出力Iop

驅動電流(A)COD:CatastrophicOpticalDamage6/33●Surge導致LD破壞的Mechanism超過定額的強光出39?Conductive(導電層):

～10*6[?/sq]?StaticDissipative(靜電層):10*7～10*10[?/sq]?Anti-static(帶電防止層):10*11～10*13[?/sq]半導體存在著承受外部沖擊的耐電壓.了解一下?半導體別耐電壓.5.半導體靜電內壓和用語別電阻(1)半導體別靜電內壓(2)用語別電阻★

靜電氣30V也可能破壞部品.7/33?Conductive(導電層):～10*6[?/s40非導電體?金屬?人?纖維?樹脂?塑膠類ＧＮＤ（接地）加濕

等離子導電體6.靜電氣對策基本發狀?第一種接地：靜電氣對策.?第三種接地：電子機器，計測器8/33非導電體?金屬?人?纖維?樹脂?塑膠類ＧＮＤ（接地）加濕41對靜電敏感的電子部品或基板的搬運和保管時使用的ShieldingBag一般如下圖3層構成的.那三層是：金屬

Coating層,Polyester層,Polyethylene層.

金屬層(表面電阻約10-2?/Sq)把發生的靜電感應反應在100micro-sec以內，防止被保管部品受到破壞；

絕緣層構成的Polyester層不僅防止因靜電氣的直接放電受到的破壞，而且經常防止Bag最下面一層Polyethylene層的

Anti-Static物質是化學合成物引起的Bag內部摩擦產生的靜電氣.7.ShieldingBag的構造靜電層Anti-Static

層9/33對靜電敏感的電子部品或基板的搬運和保管時使用的Shieldi428.靜電氣管理必須計測器(1)測DEVICE等放電電荷量的CoulombMeter(2)

測人體的帶電電位的人體電位計

(3)

測Work-Bench及帶電狀態的Work-BenchMonitor

(4)調查等離子的制電效果，離子Balance特性的大氣離子Monitor

(CPM)

10/338.靜電氣管理必須計測器(1)測DEVICE等放電電荷439.靜電氣計測的過去和今天11/339.靜電氣計測的過去和今天11/334410.靜電氣管理菜單12/3310.靜電氣管理菜單12/3345

靜電氣測定

①表面電位

②電荷量判定滿足管理規格時1.管理規格<測定值<耐電壓時:ESDSystem再整備2.使用半導體

耐電壓<測定值

時:

生產品檢定.OK

NG●管理規格

①表面單位;30V以下②電荷量:1nC以下11.靜電氣管理處理Flow13/33靜電氣測定判定滿足管理規格時1.管理規格<測定值<耐電46●作業者的帶電防止對策人體也算是導體，所以接地會防止靜電。但是一般作業者在一定的場所步行，作業等使他們繼續帶電，還因為靜電感應所帶電。用以下方法可以防止帶電。

①著用帶點防止作業鞋(導電鞋)

來防止人體帶的靜電氣.

(但,導電鞋底在干凈的狀態下才起作用)

②作業者基本上在一定的位置作業時,利用靜電環直接接地.此時，為了防止

漏電造成的觸電，加安全電阻

(1MΩ)接地.

③因作業服等衣服帶電時，著用實施帶電防止處理加工的帶電防止作業服

等。14/33●作業者的帶電防止對策人體也算是導體，所以接地會防止靜電。但47●人體靜電氣漏及CHECK方法制電鞋(導電鞋)CHECKERWristStrap(靜電環)CHECKER15/33W/S(1毫歐姆電阻內裝）人體靜電氣流人體靜電氣流制電鞋制電鞋電阻內裝接地●人體靜電氣漏及CHECK方法制電鞋(導電鞋)CHECKE4812.溫，濕度和靜電氣關系溫，濕度是靜電氣的非常重要要素之一.

再說，如果正確管理溫，濕度就會大量抑制靜電氣發生。大氣的相對濕度是

60%以上的話，物體的導電性會提高，之所以基本上不會殘留靜電氣；但是30%以下時，靜電氣會多量殘留.16/3312.溫，濕度和靜電氣關系溫，濕度是靜電氣的非常重要要素之一4913.烙鐵電阻CHECK方法(1)接地電阻(2)絕緣電阻絕緣電阻:10MΩ以上烙鐵Concent17/33接地電阻:5Ω

以下烙鐵Concent特別是對

LD端直接焊接的烙鐵非常重要.實際因這個原因出的不良多發履歷也有.★在加熱狀態下確認13.烙鐵電阻CHECK方法(1)接地電阻(2)絕緣電阻絕緣5014.靜電氣和電荷量(Coulomb)靜電氣用另一種話來說是靜止的電荷量.靜止狀態的電荷不是靜止，而是相互之間的力在作用使電荷成靜止狀態；這種力叫做靜電氣力.表明靜電氣力的人是Coulomb，該法則叫做Coulomb法則??.(1)Coulomb法則18/33(2)靜電荷量(靜電用量)兩個電極板之間放有電體，加電壓的話，因分極作用電極會存儲靜電氣.

存儲的靜電荷量是Q=CV[C]

(C:靜電用量,V:電位差)供應電壓因充電顯現的電壓靜電用量絕緣體14.靜電氣和電荷量(Coulomb)靜電氣用另一種話來51在下面認識一下測Coulomb的方法.測靜電破壞的原因——放電電荷量時使用CoulombMeter.14.靜電氣和電荷量(Coulomb)(2)靜電用量(Coulomb)的測定19/33在下面認識一下測Coulomb的方法.14.靜電氣和電荷量52●電荷量CHECK器????20/33●電荷量CHECK器????20/335315.導電Mat的構造了解一下我們常說的導電Mat的構造.2層構造(Static-Dissipative&Conductive)對靜電氣敏感的Device及人體和Mat間的

電位差一直維持

0Volt靜電氣危險開始保護。21/33靜電層(Static-Dissipative)表面電阻:10(7)-10(10)ohm/sq導電層(Conductive)表面電阻:10(3)-10(6)ohm/sq15.導電Mat的構造了解一下我們常說的導電Mat的構造.254完全去掉物體上的靜電荷，多用于半導體制造，電子部品制造等。作用大體上有

①把產生的靜電氣迅速轉到GROUND、

②再也不讓產生靜電氣,大致分為以上兩種.+-++-----++--++---++-+安全電阻:通常使用

1MΩ+-+++++++++__________++為了維持導電Mat的原性能需要定期清掃.注意:不可用Wax等油膜形成的東西清掃.16.導電Mat的作用22/33完全去掉物體上的靜電荷，多用于半導體制造，電子部品制造等。5517.接地方法23/3317.接地方法23/3356●導電Mat接地電阻,Mega，Ohm

CHECK方法24/33●導電Mat接地電阻,Mega，OhmCHECK方法245718.等離子的原理根據依高電壓的KAOROA

放電發生離子.這種離子對帶電物作用，把電荷中化.(1)原理(2)使用場所

:?接地?或者

?加濕?困難的帶電物(塑膠類等).(3)代表性的等離子種類①PulseＤＣ方式：有加+的高電壓電極針和加-的高電壓電極針.

產生+,－各自的離子.定期清掃是非常重要的.

離子產生量多.

制電速度快.

②AC方式：

在一個的電極針上加交流高電壓的方式.