1CleanRoom清凈室管理資料1CleanRoom2什么是CleanRoom?

?無塵，潔凈的房間

(淸:清凈的清,淨(jìng):潔凈的凈)

即,灰塵的濃度(浮塵粒子),

溫度,濕度,氣流,次壓等綜合管理下的封閉空間清凈室(CleanRoom)

1.CleanRoom基本

?浮游粒子(AirborneParticle)

大小在

0.1μm~5μm之間，

存在于空氣中的固體或液體物質(zhì)

浮游粒子

2什么是CleanRoom?清凈室(CleanRoom3濕度

(Humidity)

?濕度管理的重要性

-濕度和靜電有密切的關(guān)系.-Fab內(nèi)濕度低時(shí)，產(chǎn)生靜電的機(jī)率高.-Fab內(nèi)濕度高時(shí)，雖然減少靜電發(fā)生率，但因濕氣發(fā)生裝備腐蝕（銹），故而粒子的發(fā)生率變高。1.CleanRoom基本3濕度(Humidity)?濕度管理的重要性1.41.CleanRoom基本

清凈度(Class)?1ft1ft1ft=30.48cm1CF=0.028m3CFM(CubicFeetMinute)0.028?空間內(nèi)的粒子，用1分鐘抽樣測量的數(shù)量.

(橫向*縱向*高度

30.48cm空間)

Class1

：

0.028?空間內(nèi)的粒子，1分鐘內(nèi)抽取測量結(jié)果存在1個(gè)

以下粒子時(shí)叫

Class1.

(0.5um以上的粒子

≤1個(gè)/CFM空間)41.CleanRoom基本 清凈度(Class)?151.CleanRoom基本??ClassParticleSize(?)0.10.20.30.55.0ABCDEF11010010001000010000035350----7.575750---58.7587.5875--110100100010000100000---770700Class表

(FED-STD209C)51.CleanRoom基本??ClassParti61.CleanRoom基本CleanRoom業(yè)種別區(qū)分及清凈業(yè)種別產(chǎn)業(yè)系列區(qū)分清凈度

(Class)粒子大小形式電子產(chǎn)業(yè)-半導(dǎo)體(上級)-LCD-Wafer制造1~100.1μm垂直對流式,層流式C/RCleanBench式-宇宙火箭,人工衛(wèi)星-半導(dǎo)體

(中級以下)10~1000.3μm-FILM,CRT-微接觸,光學(xué)儀器類100~1,0000.3μm-精密儀器組立,半導(dǎo)體器件

，鏡頭加工1,000~10,0000.5μm-Computer組裝-精明軸承，電子計(jì)算室10,000~100,0000.5μm制藥產(chǎn)業(yè)-藥品制造,包裝100~1,0000.3μm-發(fā)酵,釀造,保管1,000~10,0000.5μm醫(yī)院,醫(yī)療-實(shí)驗(yàn)室,培養(yǎng)室100~1,0000.3μm-無菌手術(shù)室,新生兒室-精密醫(yī)療器械制造10,000~100,0000.5μm61.CleanRoom基本CleanRoom業(yè)種71.CleanRoom基本Class表

(FED-STD209E)粒子數(shù)粒徑71.CleanRoom基本Class表(FED-81.CleanRoom基本Class表

(FED-STD209E的主要修訂)項(xiàng)目內(nèi)容單位主要使用Miter法，并用英國單位記錄CLASS標(biāo)識0.5?以上的粒子數(shù)為

10/?

,X用

Class標(biāo)識.為了明確Miter法，附加了M

CLASS分類增加了清凈度大于209DClass1的

ClassM1及清凈度小于

Class100,000的

ClassM7.微粒子計(jì)測計(jì)測時(shí)可以使用

CNC,此時(shí)計(jì)測粒子直徑為

0.02?以上.此時(shí)的標(biāo)記為

ClassU(X).

U=微粒子計(jì)測標(biāo)識

X=最大允許粒子濃度

P/?標(biāo)準(zhǔn)計(jì)測粒子0.1,0.2,0.3,0.5,5Micron為基準(zhǔn).但可以使用其他粒子直徑.抽樣根據(jù)計(jì)測場所，計(jì)測時(shí)可以使用其他抽樣類型.但，粒子濃度標(biāo)記為個(gè)/單位體積.

抽樣點(diǎn)多于

10處時(shí)，測量值可以取平均值.清凈度高于ClassM2.5時(shí)，為了節(jié)省計(jì)測時(shí)間可以連續(xù)抽樣.附錄209D的相關(guān)規(guī)格,用語被刪除，增加了等速吸引法，超微粒子濃度測量法，清凈度高于ClassM2.5時(shí)的連續(xù)抽樣法3個(gè)項(xiàng)目.81.CleanRoom基本Class表(FED-91.CleanRoom基本大氣中粒子大小

煙霧GAS粒子

病毒

油煙

發(fā)霉

頭發(fā)

花粉

植物胞子甲醇酵母菌

霧

噴霧

雨

細(xì)菌

下記大小是與人的頭發(fā)厚度（100μm）相比較時(shí)的大小

人能見得著的最小大小（10μm）表示直徑大小為0.3μm，HEPAFilter清除99.97%的粒子表示1μm，VLS1(1M)線幅大小人的頭發(fā)厚度100μm91.CleanRoom基本大氣中粒子大小101.CleanRoom基本大氣中的

粒子

濃度地球環(huán)境的清凈水準(zhǔn)大氣的位置Class水準(zhǔn)備注平流層上層以上Class1,000漢拿山頂部Class10,000高原地帶Class100,000大都市Class1,000,000工廠地帶Class10,000,000越往上空走，清凈度水準(zhǔn)越高101.CleanRoom基本大氣中的粒子濃度地球11CleanRoom污染?

污染源發(fā)生要素?

污染發(fā)生要因

(4M)?Man(人)?Machine(機(jī)器)?Material(材料)?Method(方法/環(huán)境/設(shè)施)現(xiàn)象精神要素污染

(Contamination)無意識灰塵

(Particle)無關(guān)心劃痕

(Scratch)無改善1.CleanRoom基本11CleanRoom污染?污染源發(fā)生要素現(xiàn)象精神要12?污染往CleanRoom移動的路徑為

?1)空氣中(Gas中)混合

(Airborne)

2)貼附表面上

(Surface)

3)貼附工具上

(Tool)

4)業(yè)體(藥品)中混合

(Liquid)污染移動.?污染引起的最終影響為?

1)收率低下

2)品質(zhì)不良

3)信賴性不良1.CleanRoom基本12?污染往CleanRoom移動的路徑為?1.C13區(qū)分遏制灰塵流入遏制灰塵發(fā)生灰塵及時(shí)排除Man(人)通過風(fēng)淋室進(jìn)入清凈室限制清凈室出入人員穿著符合規(guī)格的防塵服禁止不必要的言行出入門口設(shè)置防塵墊Machine(裝備)放入清凈室裝備時(shí)實(shí)施清掃灰塵排除用過濾器設(shè)置驅(qū)動部的低震動對策樹立灰塵無堆積的結(jié)構(gòu)

(位置選定)Material(材料)物品通過傳遞窗返入符合清凈等級(Class)的基材使用資材

/備品整理整頓Method(方法/環(huán)境/設(shè)施)清凈室正壓維持裝備反入口設(shè)置2層

Door低防震性專用清凈室設(shè)備使用清凈室靜電管理周期性清掃實(shí)施換氣次數(shù)維持主要污染源別發(fā)生占有率區(qū)分人生產(chǎn)裝備制造工程產(chǎn)品空氣1980年代30~40%20~30%20~30%10%5%1990年代以后20%35%35%10%5%CleanRoom管理

3大

運(yùn)營原則1.CleanRoom基本13區(qū)分遏制灰塵流入遏制灰塵發(fā)生灰塵及時(shí)排除Man通過風(fēng)14CleanRoom5原則1.CleanRoom基本為了有效使用清凈室并維持，應(yīng)該遵守的事項(xiàng).防止微粒子的侵入(preventing)維持所需的溫濕度及室內(nèi)壓

（providing)祛除產(chǎn)生的微粒子(purging)防止微粒子的發(fā)生

（prohibiting)防止微粒子的累積

（protecting)14CleanRoom5原則1.CleanRoom151.CleanRoom基本CleanRoom主要管理項(xiàng)目及影響項(xiàng)目目的及定義影響粒子(Particle)-粒子(Particle):通常具有0.01?～1000?大小的固體或者其混合狀態(tài)的物質(zhì)

-空氣浮游粒子（AirborneParticle):空氣中浮游的粒子-氣容劑(Aerosol):氣體中分散的固體或液體狀態(tài)的粒子或者其狀態(tài)-氧化膜的形成工程前后附著時(shí)妨礙氧化膜的成長或加速化-Photo工程中誘發(fā)

Bridge不良及

Open不良.-Inplantation

或

Diffusion工程中

起Masking作用.-Etching工程中誘發(fā)蝕刻不良.-結(jié)論:Process中D/D(DefectDensity:Defect/cm3)為主要要因.151.CleanRoom基本CleanRoom主161.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響溫度計(jì)/濕度-為了確保像Photo工程那樣需要超恒溫性的工程或者粒子的帶電及基板（wafer）的吸著等靜電帶電特性及發(fā)生腐蝕有關(guān)系的決定性工程的安全性。

-溫度(Temperature):與通常意義的溫度相同-相對濕度(RelativeHumidity):根據(jù)實(shí)際溫度變化的相對濕度量-絕對濕度(AbsoluteHumidity):單位質(zhì)量包含的濕度量-空間分布不穩(wěn)定時(shí)，熱擴(kuò)散效果引發(fā)

清凈室

內(nèi)氣流移動，起誘發(fā)粒子擴(kuò)散的因子作用-由于濕度上升發(fā)生

PR涂布工程中的

基板（Wafer）表面的

Lifing

誘發(fā)或設(shè)備腐蝕現(xiàn)象-濕度的

Drop(35%以下)提升靜電

Level后，根據(jù)上升的靜電力發(fā)生粒子附著及設(shè)備

膜質(zhì)破壞現(xiàn)象161.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響-為了171.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響流速(Velocity)-清凈室內(nèi)空調(diào)系統(tǒng)的最終排出口(BFU,FFU,CFU等的Hepa,UlpaFilter)

中層流狀態(tài)順流而下的空氣速度

(AirVelocity).-迅速祛除持續(xù)產(chǎn)生的粒子，相互不同的清凈領(lǐng)域間確保積極（

Positive）氣流-管理Room的每小時(shí)室內(nèi)空氣循環(huán)數(shù)

及風(fēng)量，確保垂直層流形的空間-Process和

作業(yè)區(qū)域的風(fēng)速不均衡產(chǎn)生逆氣流，此氣流流入到設(shè)備內(nèi)發(fā)生污染-主要為粒子（

Particle）不良-風(fēng)量增加及減少引起的

Area,Zone別逆氣流形成

-不能確保風(fēng)速低下時(shí)的層流,

即暖流

or偏流發(fā)生-風(fēng)速變化

→溫度變化→改變系統(tǒng)參數(shù)（ProcessParameter）后誘發(fā)不良-風(fēng)速變化時(shí)生產(chǎn)設(shè)備及基板（

Wafer）等的表面特性發(fā)生變化，因此直接或間接影響到表面污染，膜質(zhì)特性.171.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響-清凈181.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響次壓-清凈室內(nèi)是否保持規(guī)定的室內(nèi)壓，由相鄰空間的壓力差判定.與空氣

流入量,排氣量,循環(huán)量及流速等有相關(guān)性.

-防止粒子流入方面管理.-粒子流入清凈室內(nèi)部,使溫濕度及流速發(fā)生變化-對清凈室的污染起到最大幅度變化的參數(shù),Class1000的清凈室形成瞬間逆次壓后清凈度惡化到100萬-壓力增加時(shí)作業(yè)環(huán)境使作業(yè)人員感受的疲勞度上升-復(fù)層結(jié)構(gòu)的清凈室中，因?qū)娱g次壓不均衡，發(fā)生粒子通過清凈室樓梯或升降機(jī)移動的現(xiàn)象.-Bay?ServiceArea間壓力差的變化是改變生產(chǎn)設(shè)備條件的重要因素.(特別是,DiffusionTube,PhotoStepper&

Coater等)*排氣壓力的變動是-起到改變DiffusionTube內(nèi)

Wafer的

OxideThickness,Uniformity等的重要因子作用,-因破壞WetStation內(nèi)

LaminarFlow，加重了粒子的污染,低的時(shí)候起到ChemicalFume污染排放的主要因子作用.181.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響-清凈191.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響震動物體被外力瞬間或連續(xù)性施加或消除后失去平衡的現(xiàn)象-Photo曝光工程的MissAlign的要因來顯現(xiàn).-因精密測量儀器(SEM,TEM等)上降低了

MeasuringQuality，Data的信賴性無法保證的要因.

-建筑物,內(nèi)部設(shè)施(Partition,WorkStation,保管架等)的

MacroVibration成為誘發(fā)自體發(fā)震的因子，并且成為導(dǎo)致設(shè)備故障，熱化的原因.-Sem,Stepper,E-Beam使用設(shè)備時(shí)，震動誘發(fā)

Pattern缺陷.-作業(yè)環(huán)境噪音導(dǎo)致作業(yè)人疲勞，因此成為作業(yè)能率低下的要因.191.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響物體被201.CleanRoom基本目的及定義影響TOC在超純水中的能氧化的碳素化合物.-損傷凈水

System的離子交換樹脂或逆滲透膜.-導(dǎo)致Gate氧化膜的厚度

的不均勻，誘發(fā)絕緣破壞現(xiàn)象(BreakDownVoltage).-根據(jù)有機(jī)物的增加，誘發(fā)細(xì)菌的增加.

D.O表示Liquid內(nèi)溶解的氧氣量.-Develop或

Rinse時(shí)發(fā)生的水印降低均勻性，誘發(fā)

Wsi的

Lifting現(xiàn)象.-與Wafer接觸時(shí)形成自然氧化膜或氧化膜生成工程時(shí)誘發(fā)低密度氧化膜.201.CleanRoom基本目的及定義影響在超純水中211.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響D.IResistivityD.IWater內(nèi)含有量最多的不純物用于電解質(zhì)(通常稱為離子)來評價(jià)水質(zhì)純度的情況.我司對

D.I的水質(zhì)變化進(jìn)行監(jiān)控，決定是否適合工程使用

-UVLight引起的氧化作用,有機(jī)物的

CO2化引起的非電阻低下-D.I內(nèi)

氣泡(Bubble)發(fā)生引起非電阻減.-配管的長度和流速的不同，非電阻的低下幅不同.-非電阻測量時(shí)不能轉(zhuǎn)移的微粒子，有機(jī)物，微生物不能測量.211.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響D.I22?CleanRoom內(nèi)的

5S是??整理

:

清除非清凈物品

?整頓

:指定的干凈場所中保管管理

?清掃

:設(shè)備,設(shè)施,工裝器具的污染排除

?清潔

:設(shè)備,工裝器具,人的狀態(tài)保持

Clean

?規(guī)范

:清凈守則徹底遵守

干凈的

CleanRoom管理作業(yè)

前.後5分鐘做5S….1.CleanRoom基本22?CleanRoom內(nèi)的5S是?232.出·入流程

/著裝順序入室出室脫工作服防塵手套佩戴

(PVCGLOVE)

防塵口罩佩戴

防塵帽佩戴防塵服穿戴防塵鞋穿戴HandShower&DryAirShower實(shí)施CleanRoom內(nèi)部AirShower

通過

脫防塵口罩脫防塵帽脫防塵手套

(PVCGLOVE)脫防塵服脫防塵鞋穿工作服?????出·入流程HandShower&Dry232.出·入流程/著裝順序入室出室脫工作服防塵手套佩241.口罩2.防塵帽5.HandShower&Dry3.防塵服4.防塵鞋7.AirShower6.防塵手套(PVCGlove)入室2.出·入流程

/著裝順序防塵服穿戴順序241.口罩2.防塵帽5.HandShower&Dry325

按報(bào)警按鈕

(前.后門同時(shí)開啟)風(fēng)淋室內(nèi)被囚禁時(shí)2.出·入流程

/著裝順序25按報(bào)警按鈕風(fēng)淋室內(nèi)被囚禁時(shí)2.出·入流程/著裝順263.防塵服穿戴方法穿戴合適的防塵帽.頭發(fā)，眼毛不能外露口罩塞進(jìn)防塵帽內(nèi)手套塞進(jìn)防塵服袖口內(nèi)穿戴清洗后防塵服,不應(yīng)接觸化工藥品防塵服的褲腳撫平后塞進(jìn)防塵鞋內(nèi).防塵鞋提上穿戴不做濃妝領(lǐng)口帶處不能有縫隙，適當(dāng)勒緊

拉鎖拉到末尾（鄂下）

手套干凈使用防塵鞋拉鎖完全提上穿戴，注意不能接觸化工藥品，污染物質(zhì).AIRSHOWER前在

CLEANMAT上清除灰塵防塵服穿戴例263.防塵服穿戴方法穿戴合適的防塵帽.口罩塞進(jìn)防塵帽內(nèi)手273.防塵服穿戴方法1.口罩正確佩戴防塵口罩正確佩戴狀態(tài)防塵口罩露鼻不良佩戴狀態(tài)防塵口罩露鄂不良佩戴狀態(tài)防塵衣類正確穿戴法不同姿勢測量比正常穿戴增加150倍增加67倍正常露鼻露鄂273.防塵服穿戴方法1.口罩正確佩戴防塵口罩正確佩戴狀283.防塵服穿戴方法2.防塵帽正確穿戴防塵衣類正確穿戴法防塵帽正確佩戴狀態(tài)防塵帽露眼眉不良狀態(tài)防塵帽領(lǐng)口系帶松緊不良狀態(tài)不動姿勢測量比正常穿戴增加858倍增加222倍正常露眼眉露系帶283.防塵服穿戴方法2.防塵帽正確穿戴防塵衣類正確穿戴法293.防塵服穿戴方法3.防塵服正確穿戴防塵衣類正確穿戴法防塵服正確穿戴不良狀態(tài)粘合扣不良狀態(tài)拉鎖不良狀態(tài)流動姿勢測量比正常穿戴增加3倍增加1.5倍正常粘合扣不良拉鎖不良293.防塵服穿戴方法3.防塵服正確穿戴防塵衣類正確穿戴法303.防塵服穿戴方法4.防塵鞋正確穿戴防塵衣類正確穿戴法防塵鞋正確穿戴狀態(tài)防塵鞋套筒穿戴不良狀態(tài)防塵鞋套筒未完全提上時(shí)，因摩擦引起防塵衣類（碳素紗）損傷303.防塵服穿戴方法4.防塵鞋正確穿戴防塵衣類正確穿戴法313.防塵服穿戴方法5.防塵手套正確穿戴防塵衣類正確穿戴法防塵手套正確穿戴狀態(tài)防塵手套手腕不良穿戴狀態(tài)防塵手套手指不良穿戴狀態(tài)比正常穿戴增加40倍增加6倍手套測量正常露手腕手指不良流動姿勢測量313.防塵服穿戴方法5.防塵手套正確穿戴防塵衣類正確穿戴323.防塵服穿戴方法?VinylGlove(塑料手套)的另外名稱

-PVCGlove?

穿戴PVCGlove的理由?-遏制異物接觸皮膚

及灰塵

,靜電的發(fā)生CleanRoom入室時(shí)必須!!穿戴防塵服穿戴理由

:

盡可能遏制灰塵的發(fā)生穿戴防塵服也不能完全封鎖灰塵323.防塵服穿戴方法?VinylGlove(塑料手套33人為引起的灰塵發(fā)生量4.CleanRoom遵守守則動作灰塵發(fā)生量(個(gè)/分,0.5μm)坐著不動30,000坐著輕微動150,000從坐姿站立時(shí)800,000定速步行時(shí)(1.0m/s)2,500,000定速步行時(shí)(1.5m/s)3,000,000做體操時(shí)/跑步時(shí)5,000,000~10,000,000化妝品中發(fā)生的灰塵數(shù)化妝品????????口紅指甲油眼霜灰塵數(shù)8,0006,000800500200單位

:萬個(gè)33人為引起的灰塵發(fā)生量4.CleanRoom遵守守則344.CleanRoom遵守守則

(1)防塵服,防塵鞋及防塵帽按規(guī)定穿戴

(2)AirShower按規(guī)定時(shí)間運(yùn)行

(3)扎堆,雜談等個(gè)人行動禁止

(4)嚼口香糖行為,食物的反入及攝取禁止

(5)走廊或?qū)嶒?yàn)室內(nèi)禁止跑步

(6)CleanPaper之外的一般書籍,紙類反入禁止CleanRoom遵守守則344.CleanRoom遵守守則(1)防塵服35(7)圓珠筆,油性筆外的筆(鉛筆,自動鉛筆,簽字筆)禁止入內(nèi)

(8)原輔材進(jìn)入時(shí)清除灰塵后入內(nèi)

(9)臨時(shí)員工先得到管理者許可后出入

(10)設(shè)備進(jìn)出入時(shí)先得到管理者的許可

(11)Utility工程

,保修,設(shè)備安裝等作業(yè)時(shí)應(yīng)事先得到許

(12)其他,產(chǎn)生灰塵的一切行為禁止4.CleanRoom遵守守則35(7)圓珠筆,油性筆外的筆(鉛筆,自動鉛筆,簽36化學(xué)品

使用安全守則

(1)化學(xué)品應(yīng)在專用保管場所(試藥柜)保管

(2)使用人熟記

化學(xué)品的危險(xiǎn)性，樹立危險(xiǎn)發(fā)生的對策要領(lǐng)

(3)使用人熟記

使用的化學(xué)品正式名稱外，還要熟記簡稱,性質(zhì),

毒性程度,使用上的注意點(diǎn)及識別法

(4)容器上需記錄名稱及注意事項(xiàng)

(5)使用時(shí)必須用指定的容器4.CleanRoom遵守守則36化學(xué)品使用安全守則(1)化學(xué)品應(yīng)在專用保管場所37

(6)作業(yè)現(xiàn)場保管化學(xué)品時(shí)只保管1日使用量

(7)使用人必須佩戴保護(hù)裝備(護(hù)眼鏡,護(hù)面,橡膠鞋,橡膠手套)

(8)廢棄的藥品立即移動到廢棄物處理場所

(9)使用后的空瓶擰緊蓋后扔掉

(10)粘上化學(xué)品的抹布分離收集后單獨(dú)處理4.CleanRoom遵守守則37(6)作業(yè)現(xiàn)場保管化學(xué)品時(shí)只保管1日使用量4.38MissClean重點(diǎn)點(diǎn)檢事項(xiàng)1.防塵服,防塵鞋、防塵手套,防塵帽,1次用口罩佩戴狀態(tài)不良者2.未取得清凈室入室資格者事前沒聯(lián)絡(luò)管理人進(jìn)入清凈室者3.內(nèi)訪客[業(yè)體,外來人]入室時(shí)事先與管理者沒聯(lián)絡(luò)，未接受教育入室者4.攜帶清凈室禁入物品入室者

[一般紙,清凈室用圓珠筆外,一般抹布,具有粉塵性的物品]5.酸,堿作業(yè)時(shí)未穿戴安全保護(hù)裝備者6.使用的物品

[燒杯,搬運(yùn)車,安全保護(hù)口,一次性用品]未整理整頓者7.課題別特殊試藥上未貼標(biāo)簽保管者8.Passbox中樣品及物品1日以上保管者

[1日以后的物品無條件廢棄]9.清凈室內(nèi)進(jìn)行禁止行動者[跑步,高聲放歌等]10.LIMS沒有登入，但Run進(jìn)行者11.未取得裝備使用資格,但使用裝備者揭發(fā)時(shí)措施事項(xiàng)1.按照各司規(guī)定采取措施4.CleanRoom遵守守則38MissClean重點(diǎn)點(diǎn)檢事項(xiàng)1.防塵服,防塵鞋、39S-LineD-LineC-LineP-Line5.技術(shù)院

Fab位置及環(huán)境基準(zhǔn)Fab位置39S-LineD-LineC-LineP-Line5.技40區(qū)分S-LineC.P-LineD-Line竣工年度1987年(整修

05年

11月)1998年

5月2005年

11月(P)05年

11月2005年

07月形式對流形(Returndownflowtype)對流形(Returndownflowtype)FFU方式(FANFilterUnit)面積總面積

320平,使用面積

240平總面積

180平,使用面積

165平

總面積

240平Class0.5?1000Class0.5?1000Class0.1?10,100Class溫.濕度溫度

22°±2°濕度

45%±5%溫度

22°±2°濕度

45%±5%溫度

22°±1°濕度

45%±5%次壓0.5~1.0mmAq0.5~1.0mmAq0.5~1.0mmAqP-Line面積

80平Fab別

環(huán)境基準(zhǔn)5.???Fab???????40區(qū)分S-LineC.P-LineD-Line竣工年度1941對流形

CleanRoom(S,C,P-Line)?

有利于清凈室內(nèi)局部區(qū)域設(shè)置超清凈空間.?

CLEANROOM中比較粒子清除效率低.?

物流的入室管理及室內(nèi)壓管理起到非常重要的作用6.技術(shù)院

CleanRoom的方式Clean

空氣流向地下層空調(diào)器41對流形CleanRoom(S,C,P-Line)?42FFUCleanRoom(D-Line)?

每1個(gè)Filter由1個(gè)

Motor構(gòu)成?

噪音震動少，易于

HighClass及驅(qū)動?

雖然運(yùn)營費(fèi)用低，但維持管理有難處?

因沒有PREFilter，所以

ULPAFilter的壽命短費(fèi)用貴.6.技術(shù)院

CleanRoom方式Clean

空氣流向42FFUCleanRoom(D-Line)?每1個(gè)43內(nèi)部門外部門內(nèi)部電話PassBox設(shè)備,試藥Gas鋼瓶移動路不能同時(shí)開啟

不開啟內(nèi)部門，內(nèi)外部人通話內(nèi)部人和外部人不能共存樣品及其他防塵資材

Pass7.設(shè)備反出入使用要領(lǐng)反出.入口用安全通道..設(shè)備反入口內(nèi)部電話43內(nèi)部門外部門內(nèi)部電話PassBox設(shè)備,試藥不能同時(shí)開448.FAB內(nèi)非常時(shí)要領(lǐng)?發(fā)生火災(zāi)時(shí)

:首先確認(rèn)火勢是否自己能控制

-可控火災(zāi)

:用滅火器

控制

-不可控火災(zāi)

:無條件躲避?Gas泄露時(shí)

:無條件躲避CleanRoom內(nèi)作業(yè)途中

報(bào)警燈響起時(shí)躲避時(shí)跑步，迅速…448.FAB內(nèi)非常時(shí)要領(lǐng)?發(fā)生火災(zāi)時(shí):首先確認(rèn)火45CleanRoom45CleanRoom469.CleanRoom的分類(方式)根據(jù)控制對象的分類I.C.R(IndustrialCleanRoom)B.C.R(BiologicalCleanRoom)區(qū)分工業(yè)用清凈室生物學(xué)清凈室控制對象浮游粒子(灰塵)生物粒子(微生物)空氣室內(nèi)壓Positive(+)-防止灰塵的侵入Negative(-)-遏制細(xì)菌的污染

細(xì)菌控制適用

半導(dǎo)體,電子.精密工學(xué),光學(xué)計(jì)測制藥,食品,醫(yī)院,動物飼養(yǎng)室技術(shù)院清凈室469.CleanRoom的分類(方式)根據(jù)控制對象的479.CleanRoom的分類(方式)根據(jù)氣流的分類層流型和亂流型的差異

層流型為活塞效果(排放方式),亂流型為稀釋空氣(引入干凈空氣)方式479.CleanRoom的分類(方式)根據(jù)氣流的分48比較項(xiàng)目OPENBAY方式FANFILTERUNIT方式(D-Line)A.H.U方式(對流形)基本概念圖

初清凈度維持良好良好良好溫.濕度控制性根據(jù)DRY-COIL的總控制各

LINE保持相同溫度根據(jù)DRY-COIL的總控制各

LINE保持相同溫度各個(gè)ZONE可以控制微震動對應(yīng)需要循環(huán)

FAN的防塵對應(yīng)FFU防塵

LEVEL低需要防塵對策氣流現(xiàn)象確保PLENUMCHAMBER的高度每臺FFU，可以確保層流BAY別層流可能噪音對應(yīng)需要對FAN的噪音對策(COST↑)可以用低噪音型對應(yīng)噪音對應(yīng)上有限度FLEXIBILITYLAYOUT變更時(shí)自由循環(huán)

FAN不可

UPGRADELAYOUT變更時(shí)自由可以通過FFU風(fēng)速變更對應(yīng)BAY變更很難.MAINTENANCE易于保修.SERVICEAREA及底層內(nèi)部中保修易于保修INITIALCOST指數(shù)

100指數(shù)

90指數(shù)

85RUNNINGCOST指數(shù)

100指數(shù)

90指數(shù)

90施工性

&工期施工性良好,可以縮短工期施工性非常優(yōu)秀，可以縮短工期施工性良好,工期非常短針對安全對策的對應(yīng)可能可能可能9.CleanRoom的分類(方式)根據(jù)空氣循環(huán)的分類48比較項(xiàng)目OPENBAY方式FANFILTERUNI4910.CleanRoom空調(diào)

System理解CLEANRoom空調(diào)

SYSTEMFFUType4910.CleanRoom空調(diào)System理解CL50

1.

FILTER是?

一定時(shí)間內(nèi)，一定量的任何流體(air,gas,oil,water,etc)以一定空氣粒子通過,

特別是清除空氣中存在的粉塵，制造所需的清凈空氣

(清除效率:99.9995%??,0.1?)

2.清凈室空氣由

FILTER過濾后的干凈空氣供給到清凈室，以此來維持清凈的環(huán)境.CLEANRoom空調(diào)

SYSTEM基本

FLOW說明10.CleanRoom空調(diào)

System理解50

1.FILTER是?

一定時(shí)間內(nèi)，一定量的任何51

3.

空調(diào)

Flow①OAAir(20～30%)及

ReturnAir(ZONEA.H.U)70～80%的空氣繼續(xù)供給.

②由ULPAFILTER供給的

Air通過清凈室后再通過

Grating(地板)，并移動到

PLENUM(地下層)

③因PLENUM(地下層)中污染的空氣及各種排氣損失的空氣通

過OA(外調(diào)機(jī))供給

④ZONEA.H.U吸入空氣后制造清凈空氣并供給風(fēng)道（天井）.

⑤在這里排除污染的空氣后持續(xù)反復(fù)的供給新鮮的空氣.10.CleanRoom空調(diào)

System理解513.空調(diào)Flow10.CleanRoom5210.CleanRoom空調(diào)

System理解空調(diào)設(shè)備總流程圖5210.CleanRoom空調(diào)System理解空調(diào)5310.CleanRoom空調(diào)

System理解

?????(空氣調(diào)和器)

空氣調(diào)和器

:室內(nèi)空氣調(diào)整到舒適狀態(tài)的裝置,

調(diào)整溫度,濕度,氣流的分布,同時(shí)清除空氣中的灰塵.5310.CleanRoom空調(diào)System理解?5410.CleanRoom空調(diào)

System理解

空氣調(diào)和器(AirHandlingUnit)內(nèi)部圖片

5410.CleanRoom空調(diào)System理解空5510.CleanRoom空調(diào)

System理解HeatingCoil(制熱盤)

制熱時(shí)為了加熱空氣的制熱盤CoolingCoil(制冷盤)

制冷時(shí)為了減濕空氣的制冷盤AirFilter(空氣過濾器)

為了清除空氣中混入的灰塵等不純物的濾劑Humidifier(加濕器)

制熱時(shí)為了增加濕度，噴灑水或蒸汽的加濕噴嘴MixingBox(混合箱)

混合室內(nèi)再循環(huán)的氣流和外部新鮮氣流的混合室空氣調(diào)和器的用語說明5510.CleanRoom空調(diào)System理解He5610.CleanRoom空調(diào)

System理解Damper(通風(fēng)調(diào)節(jié)器)

調(diào)節(jié)空氣量的裝置Fan(送風(fēng)機(jī))

引發(fā)空氣流動的裝置Casing(殼)-上述

各件（Unit）組合在一起，達(dá)到使用目的排列的包裝空氣調(diào)和器用語說明5610.CleanRoom空調(diào)System理解Da5710.CleanRoom空調(diào)

System理解S-Line外調(diào)機(jī)(參照)外氣給氣5710.CleanRoom空調(diào)System理解S-5810.CleanRoom空調(diào)

System理解S-Line空調(diào)機(jī)(參照)5810.CleanRoom空調(diào)System理解S-5910.CleanRoom空調(diào)

System理解溫濕度允許偏差和通風(fēng)次數(shù)的關(guān)系溫度允許差(℃)±2±1±0.5±0.25標(biāo)準(zhǔn)通風(fēng)次數(shù)(次/h)153060120通風(fēng)?室內(nèi)污染空氣排除到室外，并和干凈的外氣交換.通風(fēng)次數(shù)?

CleanRoom室內(nèi)容積相當(dāng)?shù)目諝饬客ㄟ^

Filter循環(huán)的次數(shù)每小時(shí)通風(fēng)次數(shù)

=

室內(nèi)容積

?平均氣流速度(m/sec)×突出面積(㎡)×3,600sec5910.CleanRoom空調(diào)System理解溫濕6010.CleanRoom空調(diào)

System理解CleanRoom的

Class別

標(biāo)準(zhǔn)循環(huán)風(fēng)量清凈度

(Class)通風(fēng)次數(shù)Class100200~600次/hrClass1,00050~70次/hrClass10,00030~40次/hrClass100,00020~30次/hrC=(1-Pr)xQr+Qe(PoxQoxCo)+MC:清凈室的清凈度,Particle濃度

(個(gè)/m3)Co:外氣粉塵/Particle濃度

(個(gè)/m3)Po:外氣系統(tǒng)過濾器的透過率

(1-收集效率)Pr:循環(huán)/返回系統(tǒng)過濾器的透過率(1-收集效率)Qo:外氣導(dǎo)入量(m3)Qr:循環(huán)/返回風(fēng)量(m3/hr)Qe:清凈室的排氣量

(m3/hr)M:CleanRoom內(nèi)產(chǎn)塵量,Particle發(fā)生量(個(gè)/hr)6010.CleanRoom空調(diào)System理解Cl6110.CleanRoom空調(diào)

System理解CleanRoom各室間所需壓力差Room壓力差清凈度相互不同的

CleanRoom間0.5mmAq清凈室和清凈室走廊,更衣室等0.5~1.0mmAq清凈室走廊,更衣室等和普通室走廊1.0mmAq清凈室和普通室1.5mmAq必要風(fēng)量

QQ=AxΔv=(0.9x1.8)x√1.22x9.8x1.0x0.9991X3600=23.559CMH假設(shè)設(shè)定1.0mmAq正壓后開啟

900mmx1800mm的片開門時(shí)，根據(jù)伯努利定義需要

23.559CMH(m3/hr)的

Make-upAir(風(fēng)量)6110.CleanRoom空調(diào)System理解Cl6211.CleanRoom用附屬機(jī)器清凈室一般組成6211.CleanRoom用附屬機(jī)器清凈室一般組成6311.CleanRoom用附屬機(jī)器CleanBench空氣浮游粒子的濃度控制在規(guī)定清凈度界限內(nèi)，使污染得到控制的作業(yè)臺6311.CleanRoom用附屬機(jī)器CleanBe6411.CleanRoom用附屬機(jī)器CleanBooth根據(jù)設(shè)置位置可以移動的垂直層流形簡易清凈室

.天井上設(shè)置了清凈空氣供給裝置，墻壁用塑料隔斷等.6411.CleanRoom用附屬機(jī)器CleanBo6511.CleanRoom用附屬機(jī)器AirShower(照片)6511.CleanRoom用附屬機(jī)器AirShow6611.CleanRoom用附屬機(jī)器AirShower(風(fēng)淋室)1)風(fēng)淋室用于

SmockRoom和清凈室之間人員進(jìn)出入的出口使用2)風(fēng)淋室的入口和出口門為了不能同時(shí)開啟，設(shè)置Interlock裝置.

但緊急狀態(tài)下可以開啟設(shè)置.3)風(fēng)淋室的入口門關(guān)閉時(shí)立即對入室者吹風(fēng)18~20秒的強(qiáng)烈清凈空氣，并能自動停止.4)風(fēng)淋室內(nèi)部壓力應(yīng)低于清凈室設(shè)置.5)僅限于1次使用人員使用.6)鎖住(Interlock)狀態(tài)下不能強(qiáng)制開門.7)實(shí)施風(fēng)淋期間，入室者應(yīng)輕輕搖晃身體.6611.CleanRoom用附屬機(jī)器AirShow6711.CleanRoom用附屬機(jī)器AirShower效果灰塵粒徑5μm以下5~20μm20~50μm50μm以上清除效率80%85%90%95%AirShower的清除灰塵效率灰塵粒徑未實(shí)施風(fēng)淋風(fēng)淋后風(fēng)淋+Ionizer0.3μm以下571,000個(gè)121,000個(gè)35,000個(gè)0.5μm以下367,000個(gè)72,000個(gè)26,000個(gè)6711.CleanRoom用附屬機(jī)器AirShow6811.CleanRoom用附屬機(jī)器FFU(FanFilterUnit)?節(jié)省空間

:僅用單體裝備可以清凈所需空間.?簡便的安裝

:F.F.U只需插上電源可以啟動，所以不太需要安裝時(shí)間和安裝技術(shù).?易于結(jié)構(gòu)的變更.UNIT的處置能力和構(gòu)造簡單，有利于擴(kuò)張及改造.6811.CleanRoom用附屬機(jī)器FFU(Fan6911.CleanRoom用附屬機(jī)器HEPAFilterUnit?可以收集大于0.3μm粒徑的粒子狀物質(zhì)

99.97%以上的

FilterBox★

這是說明

0.3μm粒子

10,000個(gè)中可以通過HEPA的粒子數(shù)最多為

3個(gè)(0.03%).?用內(nèi)置HEPAFilter的

Unit，在天井附著安裝

(Duct連接)6911.CleanRoom用附屬機(jī)器HEPAFil7011.CleanRoom用附屬機(jī)器PassBox?PASSBOX是

CLEANROOM中的內(nèi)部清凈度保持原先基準(zhǔn)，并且物品能從外部自由進(jìn)出的

CLEANUNIT.(以物品傳遞為目的使用)?PASSBOX安裝在

CLEANROOM和非

CLEANROOM的界限上，防止污染的空氣混入.7011.CleanRoom用附屬機(jī)器PassBox7111.CleanRoom用附屬機(jī)器ReliefDamper?維持室內(nèi)正壓的穩(wěn)定,控制空氣流向的室內(nèi)外或者相鄰室空氣次壓的機(jī)器，防止室外污染空氣進(jìn)入CleanRoom的裝置7111.CleanRoom用附屬機(jī)器ReliefD7211.CleanRoom用附屬機(jī)器CleanLockerCleanRoom內(nèi)進(jìn)出入作業(yè)人員的服裝（無塵服）保管柜，是保持服裝清凈及防止污染的裝備.

7211.CleanRoom用附屬機(jī)器CleanLo7312.CleanRoom用

FilterFilter用語?HEPA:HighEfficiencyParticulateAirFilter

(高性能空氣過濾器

:0.3μm,99,97%以上)?ULPA:UltraLowParticulateAirFilter

(超高性能空氣過濾器

:0.1μm,99,999%以上)?DOP:DioctylPhthalate(鄰苯二甲酸二辛酯

:C24H38O4-噴霧劑)?PSL:PolyStyreneLatex(PSL+超純凈

–噴霧劑)?SCAN:泄露檢查

(LeakTest)?收集效率

:Filter的粒子收集(清除)能率?透過率

:

粒子通過

Filter出口的比率7312.CleanRoom用FilterFilte7412.CleanRoom用

FilterFilter區(qū)分區(qū)分性能備注PreFilter(初期過濾器)AFI85%(收集的灰塵重量測定-重量法)MediumFilter(中性能過濾器

)NBS90%(灰塵的濁度測定-比色法)HEPAFilter(高性能過濾器)DOPTest0.3μm99,97%(灰塵個(gè)數(shù)測定-計(jì)數(shù)法)HighEfficiencyParticulateAirFilterULPAFilrer(超高性能過濾器)DOPTest0.1μm99,999%(灰塵個(gè)數(shù)測定-計(jì)數(shù)法)UltraLowParticulateAirFilter7412.CleanRoom用FilterFilter7512.CleanRoom用

FilterFilterType(SeparatorTypeFilter)流向空氣

折彎分離器

濾材

密封材

框架

墊片7512.CleanRoom用FilterFilter7612.CleanRoom?FilterFilterType(Mini-PleatTypeFilter)

框架墊片

過濾器濾材

空間保持劑空氣流向7612.CleanRoom?FilterFilter7712.CleanRoom用

FilterFilter的收集效果?慣性沖突效果

(InertialImpactionEffect)

粒子順著空氣流向接近纖維，接著由自身慣性從氣流中脫離，沖向過濾器的纖維

后被俘獲.

粒徑(0.5μm以上),通過速度快時(shí)效果好.

?擴(kuò)散效果

(BrownianDiffusionEffect)

小的粒子不隨空氣流向移動，而是做曲線移動.所以順著氣流通過濾材的大粒子，也因?yàn)闉V材中移動距離長且無方向性被俘獲.粒徑(0.01~0.1μm),通過速度小時(shí)，效果明顯7712.CleanRoom用FilterFilte7812.CleanRoom用

Filter?切斷效果

(InterceptionEffect)

粒子隨空氣流向運(yùn)動時(shí)，因?yàn)槊總€(gè)粒子

都有大小，所以碰到過濾器的纖維后被俘獲.

粒徑(0.1~1.0μm以上)對

纖維徑比大時(shí)，

效果顯著.?重力效果

(GravitationalSettingEffect)

隨空氣流向移動的粒子接近纖維時(shí)，

因自身的重力從氣流中脫離后被過濾器的

纖維俘獲.

粒徑(10~100μm)大，且通過速度慢時(shí)，

效果顯著.7812.CleanRoom用Filter?切斷效7912.CleanRoom用

Filter收集效果別粒徑和收集效率的相關(guān)

GRAPH粒徑

(PARTICLEDIAMERER,μm)收集效率擴(kuò)散效果擴(kuò)散及切斷效果沖突及切斷效果7912.CleanRoom用Filter收集效果別8012.CleanRoom用

Filter收集效率

&粒徑,速度相關(guān)

GRAPH粒徑速度收集效率收集效率全體全體切斷擴(kuò)散重力慣性擴(kuò)散慣性切斷重力8012.CleanRoom用Filter收集效率8112.CleanRoom用

FilterFilter使用時(shí)注意事項(xiàng)

包裝?分離器置于垂直方向包裝.?Filter出入口兩側(cè)設(shè)置防止受損的防護(hù)板（厚紙板或薄合板）后包裝,搬運(yùn)?車廂內(nèi)碼放時(shí)包裝箱應(yīng)垂直放置.?為了防止水分滲透包裝箱，設(shè)置防止水分封蓋.?打捆時(shí)設(shè)置護(hù)帶保管

?保管場所應(yīng)是干燥且通風(fēng)良好安裝

?Filter面不能受損.8112.CleanRoom用FilterFilte82CleanRoom清凈室管理資料1CleanRoom83什么是CleanRoom?

?無塵，潔凈的房間

(淸:清凈的清,淨(jìng):潔凈的凈)

即,灰塵的濃度(浮塵粒子),

溫度,濕度,氣流,次壓等綜合管理下的封閉空間清凈室(CleanRoom)

1.CleanRoom基本

?浮游粒子(AirborneParticle)

大小在

0.1μm~5μm之間，

存在于空氣中的固體或液體物質(zhì)

浮游粒子

2什么是CleanRoom?清凈室(CleanRoom84濕度

(Humidity)

?濕度管理的重要性

-濕度和靜電有密切的關(guān)系.-Fab內(nèi)濕度低時(shí)，產(chǎn)生靜電的機(jī)率高.-Fab內(nèi)濕度高時(shí)，雖然減少靜電發(fā)生率，但因濕氣發(fā)生裝備腐蝕（銹），故而粒子的發(fā)生率變高。1.CleanRoom基本3濕度(Humidity)?濕度管理的重要性1.851.CleanRoom基本

清凈度(Class)?1ft1ft1ft=30.48cm1CF=0.028m3CFM(CubicFeetMinute)0.028?空間內(nèi)的粒子，用1分鐘抽樣測量的數(shù)量.

(橫向*縱向*高度

30.48cm空間)

Class1

：

0.028?空間內(nèi)的粒子，1分鐘內(nèi)抽取測量結(jié)果存在1個(gè)

以下粒子時(shí)叫

Class1.

(0.5um以上的粒子

≤1個(gè)/CFM空間)41.CleanRoom基本 清凈度(Class)?1861.CleanRoom基本??ClassParticleSize(?)0.10.20.30.55.0ABCDEF11010010001000010000035350----7.575750---58.7587.5875--110100100010000100000---770700Class表

(FED-STD209C)51.CleanRoom基本??ClassParti871.CleanRoom基本CleanRoom業(yè)種別區(qū)分及清凈業(yè)種別產(chǎn)業(yè)系列區(qū)分清凈度

(Class)粒子大小形式電子產(chǎn)業(yè)-半導(dǎo)體(上級)-LCD-Wafer制造1~100.1μm垂直對流式,層流式C/RCleanBench式-宇宙火箭,人工衛(wèi)星-半導(dǎo)體

(中級以下)10~1000.3μm-FILM,CRT-微接觸,光學(xué)儀器類100~1,0000.3μm-精密儀器組立,半導(dǎo)體器件

，鏡頭加工1,000~10,0000.5μm-Computer組裝-精明軸承，電子計(jì)算室10,000~100,0000.5μm制藥產(chǎn)業(yè)-藥品制造,包裝100~1,0000.3μm-發(fā)酵,釀造,保管1,000~10,0000.5μm醫(yī)院,醫(yī)療-實(shí)驗(yàn)室,培養(yǎng)室100~1,0000.3μm-無菌手術(shù)室,新生兒室-精密醫(yī)療器械制造10,000~100,0000.5μm61.CleanRoom基本CleanRoom業(yè)種881.CleanRoom基本Class表

(FED-STD209E)粒子數(shù)粒徑71.CleanRoom基本Class表(FED-891.CleanRoom基本Class表

(FED-STD209E的主要修訂)項(xiàng)目內(nèi)容單位主要使用Miter法，并用英國單位記錄CLASS標(biāo)識0.5?以上的粒子數(shù)為

10/?

,X用

Class標(biāo)識.為了明確Miter法，附加了M

CLASS分類增加了清凈度大于209DClass1的

ClassM1及清凈度小于

Class100,000的

ClassM7.微粒子計(jì)測計(jì)測時(shí)可以使用

CNC,此時(shí)計(jì)測粒子直徑為

0.02?以上.此時(shí)的標(biāo)記為

ClassU(X).

U=微粒子計(jì)測標(biāo)識

X=最大允許粒子濃度

P/?標(biāo)準(zhǔn)計(jì)測粒子0.1,0.2,0.3,0.5,5Micron為基準(zhǔn).但可以使用其他粒子直徑.抽樣根據(jù)計(jì)測場所，計(jì)測時(shí)可以使用其他抽樣類型.但，粒子濃度標(biāo)記為個(gè)/單位體積.

抽樣點(diǎn)多于

10處時(shí)，測量值可以取平均值.清凈度高于ClassM2.5時(shí)，為了節(jié)省計(jì)測時(shí)間可以連續(xù)抽樣.附錄209D的相關(guān)規(guī)格,用語被刪除，增加了等速吸引法，超微粒子濃度測量法，清凈度高于ClassM2.5時(shí)的連續(xù)抽樣法3個(gè)項(xiàng)目.81.CleanRoom基本Class表(FED-901.CleanRoom基本大氣中粒子大小

煙霧GAS粒子

病毒

油煙

發(fā)霉

頭發(fā)

花粉

植物胞子甲醇酵母菌

霧

噴霧

雨

細(xì)菌

下記大小是與人的頭發(fā)厚度（100μm）相比較時(shí)的大小

人能見得著的最小大小（10μm）表示直徑大小為0.3μm，HEPAFilter清除99.97%的粒子表示1μm，VLS1(1M)線幅大小人的頭發(fā)厚度100μm91.CleanRoom基本大氣中粒子大小911.CleanRoom基本大氣中的

粒子

濃度地球環(huán)境的清凈水準(zhǔn)大氣的位置Class水準(zhǔn)備注平流層上層以上Class1,000漢拿山頂部Class10,000高原地帶Class100,000大都市Class1,000,000工廠地帶Class10,000,000越往上空走，清凈度水準(zhǔn)越高101.CleanRoom基本大氣中的粒子濃度地球92CleanRoom污染?

污染源發(fā)生要素?

污染發(fā)生要因

(4M)?Man(人)?Machine(機(jī)器)?Material(材料)?Method(方法/環(huán)境/設(shè)施)現(xiàn)象精神要素污染

(Contamination)無意識灰塵

(Particle)無關(guān)心劃痕

(Scratch)無改善1.CleanRoom基本11CleanRoom污染?污染源發(fā)生要素現(xiàn)象精神要93?污染往CleanRoom移動的路徑為

?1)空氣中(Gas中)混合

(Airborne)

2)貼附表面上

(Surface)

3)貼附工具上

(Tool)

4)業(yè)體(藥品)中混合

(Liquid)污染移動.?污染引起的最終影響為?

1)收率低下

2)品質(zhì)不良

3)信賴性不良1.CleanRoom基本12?污染往CleanRoom移動的路徑為?1.C94區(qū)分遏制灰塵流入遏制灰塵發(fā)生灰塵及時(shí)排除Man(人)通過風(fēng)淋室進(jìn)入清凈室限制清凈室出入人員穿著符合規(guī)格的防塵服禁止不必要的言行出入門口設(shè)置防塵墊Machine(裝備)放入清凈室裝備時(shí)實(shí)施清掃灰塵排除用過濾器設(shè)置驅(qū)動部的低震動對策樹立灰塵無堆積的結(jié)構(gòu)

(位置選定)Material(材料)物品通過傳遞窗返入符合清凈等級(Class)的基材使用資材

/備品整理整頓Method(方法/環(huán)境/設(shè)施)清凈室正壓維持裝備反入口設(shè)置2層

Door低防震性專用清凈室設(shè)備使用清凈室靜電管理周期性清掃實(shí)施換氣次數(shù)維持主要污染源別發(fā)生占有率區(qū)分人生產(chǎn)裝備制造工程產(chǎn)品空氣1980年代30~40%20~30%20~30%10%5%1990年代以后20%35%35%10%5%CleanRoom管理

3大

運(yùn)營原則1.CleanRoom基本13區(qū)分遏制灰塵流入遏制灰塵發(fā)生灰塵及時(shí)排除Man通過風(fēng)95CleanRoom5原則1.CleanRoom基本為了有效使用清凈室并維持，應(yīng)該遵守的事項(xiàng).防止微粒子的侵入(preventing)維持所需的溫濕度及室內(nèi)壓

（providing)祛除產(chǎn)生的微粒子(purging)防止微粒子的發(fā)生

（prohibiting)防止微粒子的累積

（protecting)14CleanRoom5原則1.CleanRoom961.CleanRoom基本CleanRoom主要管理項(xiàng)目及影響項(xiàng)目目的及定義影響粒子(Particle)-粒子(Particle):通常具有0.01?～1000?大小的固體或者其混合狀態(tài)的物質(zhì)

-空氣浮游粒子（AirborneParticle):空氣中浮游的粒子-氣容劑(Aerosol):氣體中分散的固體或液體狀態(tài)的粒子或者其狀態(tài)-氧化膜的形成工程前后附著時(shí)妨礙氧化膜的成長或加速化-Photo工程中誘發(fā)

Bridge不良及

Open不良.-Inplantation

或

Diffusion工程中

起Masking作用.-Etching工程中誘發(fā)蝕刻不良.-結(jié)論:Process中D/D(DefectDensity:Defect/cm3)為主要要因.151.CleanRoom基本CleanRoom主971.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響溫度計(jì)/濕度-為了確保像Photo工程那樣需要超恒溫性的工程或者粒子的帶電及基板（wafer）的吸著等靜電帶電特性及發(fā)生腐蝕有關(guān)系的決定性工程的安全性。

-溫度(Temperature):與通常意義的溫度相同-相對濕度(RelativeHumidity):根據(jù)實(shí)際溫度變化的相對濕度量-絕對濕度(AbsoluteHumidity):單位質(zhì)量包含的濕度量-空間分布不穩(wěn)定時(shí)，熱擴(kuò)散效果引發(fā)

清凈室

內(nèi)氣流移動，起誘發(fā)粒子擴(kuò)散的因子作用-由于濕度上升發(fā)生

PR涂布工程中的

基板（Wafer）表面的

Lifing

誘發(fā)或設(shè)備腐蝕現(xiàn)象-濕度的

Drop(35%以下)提升靜電

Level后，根據(jù)上升的靜電力發(fā)生粒子附著及設(shè)備

膜質(zhì)破壞現(xiàn)象161.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響-為了981.CleanRoom基本項(xiàng)目目的及定義影響流速(Velocity)-清凈室內(nèi)空調(diào)系統(tǒng)的最終排出口(BFU,FFU,CFU等的Hepa,UlpaFilter)

中層流狀態(tài)順流而下的空氣速度

(AirVelocity).-迅速祛除持續(xù)產(chǎn)生的粒子，相互不同的清凈領(lǐng)域間確保積極（

Positive）氣流-管理Room的每小時(shí)室內(nèi)空氣循環(huán)數(shù)

及風(fēng)量，確保垂直層流形的空間-Process和

作業(yè)區(qū)域的風(fēng)速不均衡產(chǎn)生逆氣流，此氣流流入到設(shè)備內(nèi)發(fā)生污染-主要為粒子（

Particle）不良-風(fēng)量增加及減少引起的

Area,Zone別逆氣流形成

-不能確保風(fēng)速低下時(shí)的層流,

即暖流

or偏流發(fā)生-風(fēng)速變化

→溫度變化→改變系統(tǒng)參數(shù)（ProcessParameter）后誘發(fā)不良-風(fēng)速變化時(shí)生產(chǎn)設(shè)備及基板（

Wafer）等的表面特性發(fā)生變化，因此直接或間接影響到表面污染，膜質(zhì)