1、設備模塊培訓資料設備模塊培訓資料溫度控制系統溫度控制系統培訓基本內容1.1.學習了解所有工序溫度控制系統的結構學習了解所有工序溫度控制系統的結構 2.2.學習熟悉溫度系統的控制方式學習熟悉溫度系統的控制方式3.3.學習熟悉學習熟悉溫度控制溫度控制系統的電氣原理，元器件原理系統的電氣原理，元器件原理目 錄制絨及工序溫度控制系統制絨及工序溫度控制系統擴散工序溫度控制系統擴散工序溫度控制系統工序溫度控制系統工序溫度控制系統絲網印刷工序溫度控制系統絲網印刷工序溫度控制系統一濕制一濕制程工序程工序( (多晶多晶) )溫度控制的主要元器件有：溫度控制的主要元器件有：PCPC機機PLCPLCPT100PT1

2、00溫控儀溫控儀加熱器加熱器5PLC溫控儀PCPT100加熱器PT100浸泡溫度槽液溫度顯示設定槽體冰水機溫度控制原理圖溫度控制原理圖SSR/接觸器6由溫控儀控制加熱,下槽的PT100檢測槽液溫度反饋給溫控儀.PLC通過浸泡槽的PT100取得浸泡溫度,與設定值比較,決定是對槽體加熱還是降溫.同時PLC對加熱過程監控,若出現異常,在超過極限溫度值后自動報警.PC上可設定溫度值和上下偏差值,并顯示實際的溫度數值.789加熱器加熱器:ROTKAPPE:ROTKAPPE功率功率1600W1600W電壓電壓400V400V溫控儀溫控儀加熱堿槽溶液加熱堿槽溶液控制溫度的起伏控制溫度的起伏1011壓縮機冷凝

3、器干燥過濾器膨脹閥蒸發器汽液分離器12故障一：冰水機常見故障分析故障一：冰水機常見故障分析 一般的，壓縮機不工作時，高壓表顯示壓力為：9kg左右 低壓表顯示壓力為：3.6kg-4kg左右 壓縮機正常工作時，高壓表顯示壓力為：10kg左右 低壓表顯示壓力為：2kg左右 當發現壓力明顯偏低時，冷水機可能發生了氟利昂泄漏，在檢查泄漏處后，需要我們補充氟利昂 當發現壓力已經基本為零時，說明氟利昂已基本漏光了，在我們排除完泄漏點故障后，由于壓縮機中可能已經進入空氣，會引起結冰，需要將壓縮機及其管路抽真空，然后再補氟利昂（6.5kg）。13第一步：壓縮機及其回路抽真空第二步：添加氟利昂1，首先把壓縮機的高

4、壓端調節螺絲順時針擰到底后逆時針擰一圈，這樣，高壓端的兩個口都暢通，將剩余氟利昂放出。2，然后擰開壓縮機底部添加口的帽，將加壓表兩根管路分別連接到高壓口及加液口。加壓表的黃色管路接到真空泵上。（壓縮機底部的這個添加口相當于低壓端）3，逆時針打開加壓表的兩個調節閥，使所有氣路暢通4，打開真空泵，抽真空1小時左右，直至兩個壓力表顯示 -1kg 壓力。1，抽真空完成后將加壓表的調節閥關死，以防漏氣。同時將壓縮機高壓口的調節螺絲順時針鎖死，接上接頭。2，將原來接在真空泵上的黃色管子接到氟利昂罐上，同時準備好秤，將氟利昂罐子放在秤上。3，打開加壓閥的調節閥門，給壓縮機充氟利昂。我們的壓縮機需要充6.5k

5、g左右的氟利昂。因此我們要注意秤上的讀數。如果氟利昂加多了，工作時壓縮機有可能結冰。144，加了4-5kg左右時，可能添加的速度明顯放緩，這是氟利昂罐內和壓縮機內壓力差減小的原因。這是我們打開壓縮機電源，讓壓縮機工作起來，這樣將利于我們添加。5，添加完成后，拔掉壓縮機添加口的管子，不用擔心氟利昂會漏出來，因為這個口是單向的。6，擰開鎖緊的高壓端調節螺絲，讓回路暢通。開機測試冷水機工作是否正常。 壓縮機不工作時， 高壓表顯示壓力為：9kg左右 低壓表顯示壓力為：3.6kg-4kg左右 壓縮機正常工作時，高壓表顯示壓力為：10kg左右 低壓表顯示壓力為：2kg左右15如果是氟利昂部分泄漏，則省去了

6、抽真空的步驟。從第二步開始直接補充氟利昂即可。需要注意的是，這個時候不需要再加6.5kg的氟利昂了，而是視壓力降的多少來判定添加的量。添加完成后，開機測試工作是的壓力是否正常。如果偏高較多則需要放掉部分氟利昂。使冷水機能正常工作。16故障二：循環泵浦異常運轉故障二：循環泵浦異常運轉 循環泵無法正常工作，檢查發現循環泵壓力太小，無法循環，更換新的泵。 原因: 發現里面葉輪與磁囊有卡的現象。葉輪上的軸承處留有潤滑脂（新泵都有）和硅片在制絨槽的反應生成物氟硅酸，同時磁囊內也留有氟硅酸，用水清理后現正常.注意事項:1、交接班時，需用純水進行清洗。具體方法如下： 排掉3號水洗槽的水，然后再次加純水進去，

7、加到泵浦能正常開啟的水位，運行十分鐘排掉，再次進純水。2、不允許在3、5、7槽未加滿水位的情況下，打開泵浦或者讓泵浦處于待機狀態，使泵浦頻繁的啟動、停止。3、3#槽用水量的下降也是一個原因，氟硅酸不能被沖稀釋掉.17故障三故障三溫度異常高溫報警高溫報警低溫報警低溫報警檢查溫控儀數據是否異常檢查溫控儀數據是否異常加熱器的絕緣加熱器的絕緣更換加熱器更換加熱器測試加熱的好壞測試加熱的好壞PT100是否正常是否正常冰水機運行是否正常冰水機運行是否正常PLC控制線路是否異常控制線路是否異常一濕制一濕制程工序程工序( (單晶單晶) )電源PLC溫控儀接觸器固態繼電器繼電器加熱部分空氣開關PT100PT10

8、0觸摸屏19 加熱的過程中是由溫控儀控制固態繼電器加熱，再通過PT100將實際的溫度數據反饋到溫控儀。溫控儀將做過比較后繼續控制固態繼電器加熱。 在固態繼電器后接一個接觸器，是為了超溫保護。 PLC通過PT100采集到實際的溫度后做出正確的判斷，如果溫度過高將會斷開接觸器，從而停止加熱。加熱系統說明加熱系統說明2021溫控儀溫控儀固態繼電器固態繼電器PT100PLC22加熱管加熱管檢測低液位檢測低液位檢測正常液位檢測正常液位制絨槽制絨槽材料材料:2mm 316L設有進液口、排液口、溢設有進液口、排液口、溢流口和溢流進水流口和溢流進水加熱系統加熱系統（）有液位控制加熱，液位有液位控制加熱，液位低

9、加熱停止低加熱停止23故障現象故障現象溫度異常溫度異常檢查設定檢查設定溫度有無溫度有無異常異常,如果如果有改正設有改正設定溫度定溫度檢查接觸器檢查接觸器是否吸合是否吸合檢查接觸器輸出端檢查接觸器輸出端相間電壓和對地電相間電壓和對地電壓壓,如果不正常如果不正常更換接觸器更換接觸器YES檢查接觸器檢查接觸器線圈電壓線圈電壓有電壓有電壓,更換接觸器更換接觸器YES無電壓無電壓,緊固接緊固接線線,檢查檢查接線接線NO檢查熱電偶是檢查熱電偶是否損壞否損壞更換溫度傳感器更換溫度傳感器YESNO信號是否能傳送信號是否能傳送到到PLC檢測檢測PLC有無損壞有無損壞YESNO更換信號線更換信號線第一第一 第二第

10、二 第三第三 第四第四NO將加熱管拆卸下來將加熱管拆卸下來進行更換進行更換第五第五關閉加熱關閉加熱(停止加熱停止加熱),取取下對應的熔斷下對應的熔斷體進行測量將體進行測量將損壞的熔斷體損壞的熔斷體更換更換高溫異常處理低溫異常處理首先檢查二擴散二擴散工序工序溫度控制的主要元器件有：溫度控制的主要元器件有：PC機、溫控儀、可控硅觸發板、可控硅、加熱絲、熱電偶、變壓器等機、溫控儀、可控硅觸發板、可控硅、加熱絲、熱電偶、變壓器等25測爐體測爐體溫度溫度將測得爐體的將測得爐體的溫度信號傳輸溫度信號傳輸給溫控儀給溫控儀他們之間是通過他們之間是通過232-485轉接口連轉接口連接進行通訊接進行通訊將實際溫度

11、和設定溫度進行對將實際溫度和設定溫度進行對比根據溫差輸出觸發電壓比根據溫差輸出觸發電壓0-5V觸發板根據溫控儀觸發板根據溫控儀輸出的觸發電壓值輸出的觸發電壓值給出相應輸出信號給出相應輸出信號可控硅對加熱電流可控硅對加熱電流進行調節進行調節380V交流電通過交流電通過熔斷體輸入變壓熔斷體輸入變壓器初級端器初級端按下加熱開按下加熱開(按紐按紐)接觸接觸器吸合器吸合,輸輸入入380V交交流電給熔斷流電給熔斷體體根據觸發信號控制變根據觸發信號控制變壓器輸出的加熱電流壓器輸出的加熱電流輸出給爐體輸出給爐體變壓器次級端變壓器次級端輸出給可控硅輸出給可控硅藍色為低藍色為低壓控制部分壓控制部分工作原理分兩部分

12、工作原理分兩部分: : 1: 1:低壓控制部分低壓控制部分. . 2: 2:高壓主電路部分高壓主電路部分. .彩色為高壓彩色為高壓主電路部分主電路部分超溫保護超溫保護2627溫控儀溫控儀工控機工控機可控硅可控硅熱電偶熱電偶28TokyoWuxiLondonMunichWashingtonSan FranciscoSydney可控硅可控硅熱電偶熱電偶溫控儀溫控儀熔斷體熔斷體交流接觸器交流接觸器觸發板觸發板變壓器變壓器29故障現象一故障現象一某一管某一管,某一溫區的某一溫區的溫度突然下降或者爬升緩慢溫度突然下降或者爬升緩慢檢查設定檢查設定溫度有無溫度有無異常異常,如果如果有改正設有改正設定溫度定溫

13、度檢查接觸器檢查接觸器是否吸合是否吸合檢查接觸器輸出端檢查接觸器輸出端相間電壓和對地電相間電壓和對地電壓壓,分別是分別是380V和和220V,如果不正常如果不正常更換接觸器更換接觸器YES檢查接觸器檢查接觸器線圈電壓線圈電壓(正常正常220V)有電壓有電壓,更換接觸器更換接觸器YES無電壓無電壓,緊固接緊固接線線,檢查檢查接線接線NO用鉗型表測量用鉗型表測量爐體有無加熱爐體有無加熱電流電流有電流有電流,但是太小但是太小(不在不在75A-100A范圍內范圍內)調整電阻調整電阻,直至電流正常直至電流正常YESNO無電流無電流,測量溫控測量溫控儀儀,有無輸有無輸出電壓出電壓,(正正常常0-5V)更換

14、觸發板更換觸發板YESNO緊固溫控儀緊固溫控儀接線接線,問題仍問題仍存存,更換溫控更換溫控儀儀第一第一 第二第二 第三第三 第四第四NO按下加熱關按下加熱關(紅色按紐紅色按紐),取取下對應的熔斷下對應的熔斷體進行測量將體進行測量將損壞的熔斷體損壞的熔斷體更換更換,將爐體接線卸下將爐體接線卸下,測測量爐體內阻量爐體內阻,有斷絲有斷絲更新換爐體更新換爐體第五第五30故障現象二故障現象二某一管某一管,某一溫區的某一溫區的溫度突然上升很快溫度突然上升很快,不受控制不受控制.這類故障發生這類故障發生,通常為可控硅通常為可控硅擊穿擊穿,更換可控硅后正常更換可控硅后正常在拆卸前在拆卸前,先將加熱關掉先將加熱

15、關掉(按下按下加熱關按紐加熱關按紐),先卸下阻容板先卸下阻容板,再再拆下散熱片拆下散熱片,接著拆下可控硅接著拆下可控硅阻容板阻容板可控硅可控硅散熱片散熱片在安裝可控硅時在安裝可控硅時,注意夾板要注意夾板要夾緊夾緊,固定螺絲要擰緊固定螺絲要擰緊.在拆卸和安裝時注意安在拆卸和安裝時注意安全不要碰到帶電電纜全不要碰到帶電電纜.和和臨管的帶電元件臨管的帶電元件.三三PECVD工序工序1 1、PECVDPECVD工序工序PC機機溫控儀溫控儀熱電偶熱電偶超溫保護繼電器超溫保護繼電器加熱絲加熱絲32加熱系統按加熱絲類型可分成兩部分：紅外線加熱加熱系統按加熱絲類型可分成兩部分：紅外線加熱,普通電熱絲普通電熱絲

16、加熱其中上料腔是紅外線加熱，工藝腔是普通電熱絲加熱加熱其中上料腔是紅外線加熱，工藝腔是普通電熱絲加熱紅外線加熱絲紅外線加熱絲普通電熱絲普通電熱絲33溫控儀溫控儀可控硅可控硅加熱絲加熱絲溫控儀是整個加熱系統的控制單元，其通過熱電偶采集溫度，實時控制可控溫控儀是整個加熱系統的控制單元，其通過熱電偶采集溫度，實時控制可控硅，對加熱絲進行通斷式加熱硅，對加熱絲進行通斷式加熱超溫保超溫保護繼電護繼電器器機機接觸器接觸器電源電源熱電偶熱電偶熱電偶熱電偶34溫控儀（正面）溫控儀（正面）溫控儀（背面）溫控儀（背面）超溫保護繼電器超溫保護繼電器可控硅（紅外）可控硅（紅外）可控硅（普通）可控硅（普通）35可控硅部

17、分可控硅部分溫控儀部分溫控儀部分超溫繼電器部分超溫繼電器部分這部分電路在柜中這部分電路在柜中36電熱絲加熱系統電熱絲加熱系統電氣接線電氣接線可控硅部分可控硅部分溫控儀部分溫控儀部分超溫繼電器部分超溫繼電器部分這部分電路在柜中這部分電路在柜中37常見故障的處理常見故障的處理四四絲印絲印工序工序1 1、絲印工序、絲印工序工控機工控機CAN-BUS I/O熱電偶熱電偶溫控儀溫控儀39AC380VCAN-BUS I/O熱電偶檢測控制信號輸出SSRPC40熱電偶檢測熱電偶檢測加熱輸出信號加熱輸出信號加熱主電路加熱主電路41超溫保護超溫保護42CAN-BUS I/OSSR溫控儀溫控儀43故障現象故障現象某

18、一溫區的某一溫區的溫度下降或者升溫緩慢溫度下降或者升溫緩慢檢查設定檢查設定溫度有無溫度有無異常異常,如果如果有改正設有改正設定溫度定溫度檢查接觸器檢查接觸器是否吸合是否吸合檢查接觸器輸出端檢查接觸器輸出端相間電壓和對地電相間電壓和對地電壓壓,分別是分別是380V和和220V,如果不正常如果不正常更換接觸器更換接觸器YES檢查接觸器檢查接觸器線圈電壓線圈電壓(正常正常220V)有電壓有電壓,更換接觸器更換接觸器YES無電壓無電壓,緊固接緊固接線線,檢查檢查接線和接線和加熱信號加熱信號NO第一第一 第二第二 第三第三第四第四NO將加熱關閉將加熱關閉,取取下對應的熔斷下對應的熔斷體進行測量將體進行測

19、量將損壞的熔斷體損壞的熔斷體更換更換前三步檢查均無問題，前三步檢查均無問題，則可判定為加熱管損則可判定為加熱管損壞壞,更新換新加熱管更新換新加熱管四四絲印絲印工序工序1 1、絲印工序（燒結爐）、絲印工序（燒結爐）工控機、工控機、REG97、CAN-BUS I/OPLC、SSR、熱電偶、溫控儀、熱電偶、溫控儀HTO區FF區45熱電偶TMM溫度信號采集器REG97PCCAN-busI/OSSR加熱體Can-busSwitchPLC表示Ethernet表示Can-bus熱電偶46 SSR 報警信號報警信號 SSR 控制信號控制信號47去去SSR控制加熱絲控制加熱絲48HTOHTO區區電熱絲加熱電熱絲加熱CAN-BUS I/O溫度信號溫度信號采集器采集器超溫保護超溫保護SSR49FFFF區區紅外加熱紅外加熱CAN-BUSI/O溫度信號溫度信號采集器采集器超溫保護超溫保護SSR50REG97Switch51故故障障現現象象一一設備進入設備進入正常，加正常，加熱系統開熱系統開始升溫始升溫報警燈報警燈紅色閃爍，紅色閃爍，顯示器顯示器上確認上確認并復位并復位報警信報警信息息復位超復位超溫保護溫保護繼電器繼電器超溫繼電器超溫繼電器Alarm紅燈亮紅燈亮蜂鳴器警報蜂鳴器警報52故障現象二故障現象二溫度控制器超溫報警第一第一第二第二第三第三檢查檢查REG97是否正常是否正常檢查熱電偶檢查熱電偶