1、2021/3/91ELA基礎知識介紹Array-MFG2015/09/10Locfe南城2021/3/92Outline1. ELA與LTPS制程2. 準分子激光退火系統3. ELA工藝技術4. ELA工藝測試2021/3/93準分子就是一種處于激發態的復合粒子，在標準狀態下，即在基態時，它處于分離狀態，而在激發態處于分子狀態。常見的準分子有：XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr* 2021/3/94準分子激光對應的紫外波段，a-Si薄膜對紫外光有大的吸收系數紫外光的注入深度較小，可以減小激光對玻璃基板的作用2021/3/952021/3/962021/3/972021/3/98

2、 2. 準分子激光退火系統(2) 準分子激光原理、結構及參數 (1) 準分子激光退火系統的結構(3) 光學系統構成簡介(4)退火腔結構簡介2021/3/99ELA系統基本組成2021/3/910TCZ & JSW ELA System overviewELA System overview2021/3/911激光器原理2021/3/912激光器原理2021/3/9132021/3/914Laser tube design2021/3/915LasingIon branchDischarge Xe，F2Xe，Xe* ，Xe+ ，F2 ，F-Xe*，F2 Xe+ ，F-(XeF)*Xe，F

3、Neutral branch351 nme- + XeXe+ + e- + e-e- + XeXe*+ e- e- + F2F- + FXe+ + F-+ M(XeF)*+ MXe*+ F2 (XeF)*+ FPumping:Stimulated:(XeF)* + hXe + F +2h (351nm)Losses:(XeF)*Xe + F+h (351nm)(XeF)* + MXe + F + M(XeF)* + M + XeXe2F + MX + h(351nm)X*2021/3/9162021/3/917Gas lifetime2021/3/918準分子激光原理、結構及參數準分子激光原理

4、、結構及參數- -參數參數2021/3/919準分子激光原理、結構及參數準分子激光原理、結構及參數- -參數參數Peak to Peak Energy Fluctuation2021/3/920準分子激光原理、結構及參數準分子激光原理、結構及參數- -參數參數Pulse duration2021/3/921Pulse duration2021/3/922準分子光學系統簡介準分子光學系統簡介光學系統示意圖2021/3/923準分子光學系統簡介準分子光學系統簡介Monitor system示意圖2021/3/924準分子光學系統簡介準分子光學系統簡介Beam Short Axis & Lo

5、ng Axis2021/3/925Short Axis Slope準分子光學系統簡介準分子光學系統簡介2021/3/926退火腔結構簡介退火腔結構簡介退火腔室結構2021/3/927退火腔結構簡介退火腔結構簡介Scan Process2021/3/9283. ELA工藝技術(1)晶化機制(2)主要參數2021/3/929薄膜吸收與加熱薄膜吸收與加熱薄膜表層熔融薄膜表層熔融熱能傳導熱能傳導部分熔融部分熔融接近完全熔融接近完全熔融完全熔融完全熔融激光照射激光照射多晶硅晶化過程2021/3/930晶化機制2021/3/931主要參數Energy Density Vs Melt regime2021/

6、3/932主要參數Overlap Vs PitchOverlap相鄰兩個shot之間的重合程度Pitch相鄰兩個shot之間的距離Overlap=(Beam Width-Pitch)/ Beam Width2021/3/933Overlap Vs. Grain Size主要參數2021/3/934主要參數CVD Thin Film Concern2021/3/935主要參數Dehydrogen2021/3/9364. ELA工藝測試(2) SEM測試(3) AFM測試(1) 宏觀檢查(4) -PCD測試2021/3/937宏觀檢查宏觀檢查-Mura2021/3/938SEM測試2021/3/939AFM測試2021/3/940AFM測試Sur