1、HVAC system introduction & cost saving飛索半導體(中國)有限公司Zhang, haichenMay.082 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL目錄空調(diào)系統(tǒng)的概述空調(diào)系統(tǒng)的概述空調(diào)系統(tǒng)的每個組成部分空調(diào)系統(tǒng)的每個組成部分冷凍機冷凍機AHU/MAU及空氣處理工藝及空氣處理工藝冷卻塔冷卻塔冷凍水冷凍水/冷卻水冷卻水/熱水水路系統(tǒng)熱水水路系統(tǒng)蒸汽系統(tǒng)蒸汽系統(tǒng)潔凈室空調(diào)潔凈室空調(diào)分體空調(diào)分體空調(diào)排風系統(tǒng)排風系統(tǒng)節(jié)能分析節(jié)能分析節(jié)能案例節(jié)能案例3 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIALHVAC (Heat

2、ing Ventilation&Air conditioner) 系統(tǒng)介紹系統(tǒng)介紹4 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL人與環(huán)境的關系人與環(huán)境的關系5 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL1、建筑： 由圍護結(jié)構構成的人類在其中生活與工作場所由圍護結(jié)構構成的人類在其中生活與工作場所。2、圍護結(jié)構 墻、頂、在面、門、窗等構筑物，分為外圍護結(jié)構與內(nèi)圍護結(jié)構墻、頂、在面、門、窗等構筑物，分為外圍護結(jié)構與內(nèi)圍護結(jié)構。3、建筑環(huán)境： 建筑場內(nèi)冷、暖、濕度、空氣潔凈度、空氣流速聲、光等組成。建筑場內(nèi)冷、暖、濕度、空氣潔凈度、空氣流速聲、光等組

3、成。4、環(huán)境作用 關于人類的健康、壽命、工作效率、產(chǎn)品質(zhì)量、科研進行等關于人類的健康、壽命、工作效率、產(chǎn)品質(zhì)量、科研進行等6 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL環(huán)境的要求環(huán)境的要求 舒適性：溫濕度宜人，空氣清新，光照柔和，寧靜溫濕度宜人，空氣清新，光照柔和，寧靜 舒適。舒適。 工藝性：生產(chǎn)與科學實驗，生產(chǎn)與科學實驗， 恒溫：標準量具生產(chǎn)恒溫：標準量具生產(chǎn) ； 恒濕：紡織；恒濕：紡織； 恒溫恒濕：合成纖維生產(chǎn)；恒溫恒濕：合成纖維生產(chǎn)； 潔凈：電子工業(yè)、生物工程；潔凈：電子工業(yè)、生物工程； 無菌：醫(yī)藥，醫(yī)療。無菌：醫(yī)藥，醫(yī)療。7 2007 Spansion, Inc.

4、 CONFIDENTIAL采暖通風與空調(diào)的含義采暖通風與空調(diào)的含義1、采暖通風與空調(diào)：控制建筑熱濕環(huán)境和室內(nèi)空氣品質(zhì)的技術保證建筑：控制建筑熱濕環(huán)境和室內(nèi)空氣品質(zhì)的技術保證建筑環(huán)境中部分指標要求。環(huán)境中部分指標要求。2、采暖（Heating）又稱供暖定義：按需要給建筑物供給熱能，保證室內(nèi)溫度按人們要求持續(xù)在高于按需要給建筑物供給熱能，保證室內(nèi)溫度按人們要求持續(xù)在高于外界環(huán)境。外界環(huán)境。是人類最早期開始使用的室內(nèi)溫度指標控制手段。是人類最早期開始使用的室內(nèi)溫度指標控制手段。分為 分散式：熱源與散熱設備在一處，火坑、火爐、火：熱源與散熱設備在一處，火坑、火爐、火 墻、墻、 火地。火地。 集中式：熱

5、源與散熱設備分開，目前樓房中。熱源與散熱設備分開，目前樓房中。采暖系統(tǒng)的影響：舒適感（溫度），衛(wèi)生、美觀、能量的有效利用。：舒適感（溫度），衛(wèi)生、美觀、能量的有效利用。8 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL采暖通風與空調(diào)的含義采暖通風與空調(diào)的含義3、通風：（Ventilating）定義：向房間送入，或由房間排出空氣的過程。：向房間送入，或由房間排出空氣的過程。目的：利用室外空氣（稱新鮮空氣或新風）來置換建筑物內(nèi)的空氣（稱：利用室外空氣（稱新鮮空氣或新風）來置換建筑物內(nèi)的空氣（稱室內(nèi)空氣）室內(nèi)空氣） 功能： 1.提供人呼吸需要的氧氣；提供人呼吸需要的氧氣； 2.稀釋

6、室內(nèi)污染物或氣味；稀釋室內(nèi)污染物或氣味； 3.排除工藝過程產(chǎn)生的污染物；排除工藝過程產(chǎn)生的污染物； 4.除去室內(nèi)多余的熱量（余熱）和濕量（余除去室內(nèi)多余的熱量（余熱）和濕量（余 濕）；濕）； 5.提供燃燒設備所需氧氣。提供燃燒設備所需氧氣。9 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL采暖通風與空調(diào)的含義采暖通風與空調(diào)的含義4、空氣調(diào)節(jié)（Air Conditioning）簡稱空調(diào)定義：用來對房間或空間內(nèi)的溫度、濕度、潔凈度和空度流動速用來對房間或空間內(nèi)的溫度、濕度、潔凈度和空度流動速度進行調(diào)節(jié)，并提供足夠量的新鮮空氣的建筑環(huán)境控制系統(tǒng)。度進行調(diào)節(jié)，并提供足夠量的新鮮空氣的

7、建筑環(huán)境控制系統(tǒng)。采用采暖，通風或空調(diào)要區(qū)別考慮。采用采暖，通風或空調(diào)要區(qū)別考慮。HVAC（Heating. Ventilating Air Conditioning）10 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL采暖通風與空調(diào)系統(tǒng)的工作原理采暖通風與空調(diào)系統(tǒng)的工作原理一、工作原理1、民用建筑（商用建筑、公共建筑）圖圖1-1（表示對民用建筑室內(nèi)環(huán)境進行控制的基本原理圖）（表示對民用建筑室內(nèi)環(huán)境進行控制的基本原理圖）得熱：人體、照明、電器、太陽輻射、室內(nèi)外溫差。：人體、照明、電器、太陽輻射、室內(nèi)外溫差。得濕：洗滌、晾衣物、烹飪洗滌、晾衣物、烹飪熱負荷：為維持室內(nèi)溫度高于環(huán)

8、境溫度，向建筑物提供的熱量：為維持室內(nèi)溫度高于環(huán)境溫度，向建筑物提供的熱量冷負荷：為維持室內(nèi)溫度低于環(huán)境溫度，所排走的熱量。：為維持室內(nèi)溫度低于環(huán)境溫度，所排走的熱量。濕負荷：為維持室內(nèi)所需要的濕度，所排走的濕量。：為維持室內(nèi)所需要的濕度，所排走的濕量。l暖通空調(diào)任務：向室內(nèi)提供冷量、熱量、加濕或減濕，稀釋室內(nèi)：向室內(nèi)提供冷量、熱量、加濕或減濕，稀釋室內(nèi)的污染物，保證室內(nèi)具有適宜的冷熱舒適條件和良好的空氣品質(zhì)的污染物，保證室內(nèi)具有適宜的冷熱舒適條件和良好的空氣品質(zhì)。11 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL采暖通風與空調(diào)系統(tǒng)的工作原理采暖通風與空調(diào)系統(tǒng)的工作原理2、

9、工業(yè)建筑 特點（與民用建筑比）：空間大，人員密度小，不宜對全車間進（與民用建筑比）：空間大，人員密度小，不宜對全車間進行全面溫、濕度控制（除一些特殊的生產(chǎn)工藝或熱車間）。行全面溫、濕度控制（除一些特殊的生產(chǎn)工藝或熱車間）。排風系統(tǒng)：為排除室內(nèi)的有害氣體，蒸氣，固體顆粒等污染物，：為排除室內(nèi)的有害氣體，蒸氣，固體顆粒等污染物，使室內(nèi)污染物濃度達到要求所設立的通風系統(tǒng)。使室內(nèi)污染物濃度達到要求所設立的通風系統(tǒng)。圖圖1-1（b）暖通空調(diào)工作原理：當室內(nèi)得到熱量或失去熱量時，從室內(nèi)取走當室內(nèi)得到熱量或失去熱量時，從室內(nèi)取走熱量或向室內(nèi)補充熱量，當室內(nèi)得到濕量或失去濕量時，從室內(nèi)熱量或向室內(nèi)補充熱量，當

10、室內(nèi)得到濕量或失去濕量時，從室內(nèi)排走濕量或補充濕量，當有污染氣體時，排走污染空氣，補入等排走濕量或補充濕量，當有污染氣體時，排走污染空氣，補入等量的清潔空氣。量的清潔空氣。12 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL采暖通風與空調(diào)系統(tǒng)的工作原理采暖通風與空調(diào)系統(tǒng)的工作原理熱平衡：使進出房間的熱量相等。：使進出房間的熱量相等。濕平衡：使進出房間的濕量相等。：使進出房間的濕量相等。空氣平衡：使進出房間的空氣量相等使進出房間的空氣量相等 暖通空調(diào)氣流特點：控制對家不同，要求不同，所用方法不同，：控制對家不同，要求不同，所用方法不同，介質(zhì)不同。介質(zhì)不同。課程內(nèi)容：系統(tǒng)的基本組

11、成，設備特點、工作原理，設計要求（：系統(tǒng)的基本組成，設備特點、工作原理，設計要求（負荷計算，水力計算，氣流設立）負荷計算，水力計算，氣流設立）13 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL空調(diào)系統(tǒng)的分類空調(diào)系統(tǒng)的分類14 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL空調(diào)系統(tǒng)的分類空調(diào)系統(tǒng)的分類（1）舒適性空調(diào)保證創(chuàng)造舒適健康環(huán)境的空調(diào)系統(tǒng)，民用建保證創(chuàng)造舒適健康環(huán)境的空調(diào)系統(tǒng)，民用建筑，商用建筑，公共建筑，住宅，辦公樓等見教材筑，商用建筑，公共建筑，住宅，辦公樓等見教材/特點：溫度、濕度精度要求不高。溫度、濕度精度要求不高。（2）工藝性空調(diào)為生產(chǎn)工藝

12、過程和科學實驗創(chuàng)造必要環(huán)境條為生產(chǎn)工藝過程和科學實驗創(chuàng)造必要環(huán)境條件的空調(diào)系統(tǒng)。件的空調(diào)系統(tǒng)。特點：按工藝類型不同，功能，系統(tǒng)形式的差別很大，精度有時按工藝類型不同，功能，系統(tǒng)形式的差別很大，精度有時要求較高。要求較高。 電子：含塵濃度：含塵濃度 組織：相對濕度相對濕度 計量室：溫度：溫度 醫(yī)藥：無菌醫(yī)藥：無菌15 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL空調(diào)系統(tǒng)每個部件的概述空調(diào)系統(tǒng)每個部件的概述16 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL冷凍機冷凍機冷凝器壓縮機控制盤蒸發(fā)器啟動盤馬達蒸發(fā)器節(jié)能器兩段式壓縮機冷凝器膨脹裝置17 2007 Sp

13、ansion, Inc. CONFIDENTIAL制冷循環(huán)原理制冷循環(huán)原理理論冷凍循環(huán)之分析理論冷凍循環(huán)之分析 理論冷凍循環(huán)系基于三點假設狀態(tài)：理論冷凍循環(huán)系基于三點假設狀態(tài)：1. 1. 壓縮與膨脹過程均為壓縮與膨脹過程均為絶絶熱過程熱過程-亦即壓縮與膨脹過程均沒有熱之獲得。亦即壓縮與膨脹過程均沒有熱之獲得。2. 2. 除冷凝器與蒸發(fā)器產(chǎn)生熱傳遞作用外，其余部份均無熱傳遞發(fā)生。除冷凝器與蒸發(fā)器產(chǎn)生熱傳遞作用外，其余部份均無熱傳遞發(fā)生。3. 3. 離開蒸發(fā)器之冷媒為飽和氣體狀態(tài)，離開冷凝器之冷媒為飽和液體狀態(tài)。離開蒸發(fā)器之冷媒為飽和氣體狀態(tài)，離開冷凝器之冷媒為飽和液體狀態(tài)。分析冷凍循環(huán)：分析冷凍

14、循環(huán)：1. 1. 蒸發(fā)過程：蒸發(fā)過程：B B點為冷媒離開冷媒控制器之未飽和氣、液狀態(tài)，點為冷媒離開冷媒控制器之未飽和氣、液狀態(tài)，C C 點為冷媒離開蒸發(fā)器點為冷媒離開蒸發(fā)器之飽和氣態(tài)，之飽和氣態(tài)，BCBC為冷媒液體吸熱變成飽和氣體之蒸發(fā)過程：假設蒸發(fā)器之吸熱作用為潛熱為冷媒液體吸熱變成飽和氣體之蒸發(fā)過程：假設蒸發(fā)器之吸熱作用為潛熱變化、無顯熱變化；故變化、無顯熱變化；故壓力壓力 不變不變溫度溫度 不變不變Enthalpy Enthalpy 增加（蒸發(fā)吸熱）增加（蒸發(fā)吸熱）Entropy Entropy 增加（液體變氣體）增加（液體變氣體）比容比容 增加（液體變氣體）增加（液體變氣體） 2. 2

15、. 壓縮過程：壓縮過程：C C點為冷媒進入壓縮機之飽和氣態(tài)（管路無熱傳），點為冷媒進入壓縮機之飽和氣態(tài)（管路無熱傳），D D點為冷媒離開壓縮機點為冷媒離開壓縮機之過熱氣態(tài)，之過熱氣態(tài)，CDCD為冷媒由低溫低壓變成高溫高壓之氣態(tài)之壓縮過程：因壓縮過程為為冷媒由低溫低壓變成高溫高壓之氣態(tài)之壓縮過程：因壓縮過程為絶絶熱過熱過程，故程，故壓力壓力 增加（壓縮）增加（壓縮）溫度溫度 增加（壓縮熱）增加（壓縮熱）18 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL制冷循環(huán)原理制冷循環(huán)原理Enthalpy Enthalpy 增加（輸入功）增加（輸入功）Entropy Entropy 不變不

16、變比容比容 減少（壓縮）減少（壓縮）3. 3. 冷凝過程：冷凝過程：D D點為冷媒離開壓縮機之過熱氣態(tài)（進入冷凝器之狀態(tài)），點為冷媒離開壓縮機之過熱氣態(tài)（進入冷凝器之狀態(tài)），A A點為冷媒離開冷凝點為冷媒離開冷凝器之飽和液態(tài)，器之飽和液態(tài)，DADA為冷凝過程（亦為等壓之變化），故為冷凝過程（亦為等壓之變化），故壓力壓力 不變（僅潛熱變化）不變（僅潛熱變化）溫度溫度 減少（放出過熱之熱量）減少（放出過熱之熱量）Enthalpy Enthalpy 減少（放出氣態(tài)潛熱）減少（放出氣態(tài)潛熱）Entropy Entropy 減少（氣體變液體）減少（氣體變液體）比容比容 減小（氣體變液體）減小（氣體變液體

17、） 4. 4. 膨脹過程：膨脹過程：A A點為冷媒進入冷媒控制器之飽和液態(tài)，點為冷媒進入冷媒控制器之飽和液態(tài)，B B點為冷媒離開冷點為冷媒離開冷 媒控制器之未飽和媒控制器之未飽和液、氣狀態(tài)，液、氣狀態(tài)，ABAB為高壓變低壓之膨脹過程；因膨脹過程為為高壓變低壓之膨脹過程；因膨脹過程為絶絶熱過程，故熱過程，故壓力壓力 減少（降壓作用）減少（降壓作用）溫度溫度 減少（降壓作用）減少（降壓作用）Enthalpy Enthalpy 不變（不變（絶絶熱過程）熱過程）Entropy Entropy 減少減少比容比容 變大變大19 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL冷凍循環(huán)分析圖

18、冷凍循環(huán)分析圖 壓縮機 冷媒控制器 冷凝器 蒸發(fā)器 氣態(tài)冷媒 液態(tài)冷媒 高壓中溫冷媒 低壓中溫冷媒 液態(tài)冷媒 低壓低溫冷媒高壓高溫冷媒 氣態(tài)冷媒 12 5 冰水 28 38 冷卻水水 4160V馬達 膨脹閥 AEDCBXh xhahchehd蒸發(fā)器冷凝器壓縮機膨脹閥20 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL空氣系統(tǒng)（空氣系統(tǒng)（AHU/MAU）21 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL空氣處理過程空氣處理過程A.A. 冷卻除濕：當冷卻除濕：當A A點之空氣通過表面溫度低于點之空氣通過表面溫度低于A A狀態(tài)之露點溫度的冷卻管排狀態(tài)之露點溫度的

19、冷卻管排 時，時，A A狀狀 態(tài)之空氣不僅被冷卻同時被除濕；空氣線圖上是向左下方的態(tài)之空氣不僅被冷卻同時被除濕；空氣線圖上是向左下方的方向進行，斜度是按濕與冷卻量的多寡而定。方向進行，斜度是按濕與冷卻量的多寡而定。B.B. 顯熱除濕：當顯熱除濕：當A A點之空氣通過表面溫度低于點之空氣通過表面溫度低于A A狀態(tài)之干球溫度但高于狀態(tài)之干球溫度但高于A A之露點之露點溫度之管排時，溫度之管排時，A A點不僅被冷卻不被除濕；空氣線圖上是向左水平點不僅被冷卻不被除濕；空氣線圖上是向左水平的方向進行。的方向進行。C.C. 蒸發(fā)冷卻：當蒸發(fā)冷卻：當A A點之空氣通過一水溫等于其濕球溫度之噴水區(qū)時，空氣之顯

20、熱點之空氣通過一水溫等于其濕球溫度之噴水區(qū)時，空氣之顯熱減少，使干球溫度降低；但是，水之蒸發(fā)潛熱加于空氣中（等于減少，使干球溫度降低；但是，水之蒸發(fā)潛熱加于空氣中（等于顯熱減少量），故顯熱減少量），故EnthalpyEnthalpy值不變，所以值不變，所以A A是向左上方進行。是向左上方進行。D.D. 純加濕：當加濕器對當純加濕：當加濕器對當A A點之空氣加濕時，點之空氣加濕時，A A點之空氣只增加水汽含量，亦即點之空氣只增加水汽含量，亦即絶絶對濕度增加，但干球溫度不變，故對濕度增加，但干球溫度不變，故A A點是向上方進行。點是向上方進行。E.E. 加熱加濕：對加熱加濕：對A A點之空氣加熱且

21、加濕時，點之空氣加熱且加濕時，A A點空氣之顯熱潛熱均增加，故點空氣之顯熱潛熱均增加，故A A是是向右上方進行，斜度是按加濕量與加熱量的多寡而定。向右上方進行，斜度是按加濕量與加熱量的多寡而定。F.F. 純加熱：當以熱水管排或電熱器對純加熱：當以熱水管排或電熱器對A A點之空氣加熱時，只有顯熱變化而無潛熱點之空氣加熱時，只有顯熱變化而無潛熱變化，故變化，故A A點是向右水平方向進行。點是向右水平方向進行。G.G. 化學除濕：利用化學干燥劑除濕時，雖空氣中的水蒸汽被干燥劑吸收，但水汽化學除濕：利用化學干燥劑除濕時，雖空氣中的水蒸汽被干燥劑吸收，但水汽釋放蒸發(fā)顯熱給空氣，使得空氣增加干球溫度，故釋

22、放蒸發(fā)顯熱給空氣，使得空氣增加干球溫度，故A A點是向右下點是向右下方向進行。方向進行。H.H. 純除濕：由純除濕：由A A點之空氣移出水份時，干球溫度不變，故點之空氣移出水份時，干球溫度不變，故A A點是向下方向進行。點是向下方向進行。22 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL空氣處理過程空氣處理過程 乾球溫度（DB） 濕球溫度（WB） 露點濕度（DP） 相對濕度（RH） ? 對濕度（X） 比體積（V） Enthalpy（i） A.冷卻除濕 B.顯熱除濕 C.蒸發(fā)冷卻 D.純加濕 E.加熱加濕 F.純加熱 G.化學除濕 H.純除濕 A B C D E F G H

23、23 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL空氣系統(tǒng)介紹空氣系統(tǒng)介紹B-1. Make up system (B-1. Make up system (補給系統(tǒng)補給系統(tǒng)) )有兩種功能：有兩種功能：1)1)是補給新鮮空氣給潔凈室內(nèi)人員使用，是補給新鮮空氣給潔凈室內(nèi)人員使用， 2)2)是給制程排是給制程排放廢氣之補給用以達整體空氣平衡。放廢氣之補給用以達整體空氣平衡。B-2. Recirculation System (B-2. Recirculation System (循環(huán)系統(tǒng)循環(huán)系統(tǒng)) )有兩種功能：有兩種功能：1)1)維持潔凈室內(nèi)空氣達到要求，維持潔凈室內(nèi)空氣達

24、到要求， 2)2)維持潔凈室內(nèi)之空氣維持潔凈室內(nèi)之空氣之溫度。之溫度。B-3. Exhaust System (B-3. Exhaust System (廢氣系統(tǒng)廢氣系統(tǒng)) )有兩種功能：有兩種功能：1)1)維持潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量達到要求，維持潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量達到要求， 2)2)排出過熱排出過熱/ /酸性酸性/ /堿性堿性/ /有機溶濟之廢氣。有機溶濟之廢氣。B-4. Chilled water System (B-4. Chilled water System (冰水系統(tǒng)冰水系統(tǒng)) )其功能：其功能：1)1)提供冰水給空調(diào)箱去除空氣中之水分。提供冰水給空調(diào)箱去除空氣中之水分。B-5. Cool

25、ing water system (B-5. Cooling water system (冷卻水系統(tǒng)冷卻水系統(tǒng)) )其功能：其功能：1)1)利用空氣將冰機排出冷卻水冷卻使其水溫達到利用空氣將冰機排出冷卻水冷卻使其水溫達到2828以下。以下。 24 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL新風機工作原理新風機工作原理 Heating Coil45加熱器加熱量( Qh )Qh = 0.24 x G x ( t5 - t4 ) = 0.29 x Q x ( t5 - t4 )Qh= 0.24 x 60 x Qx ( t5-t4)Qh：Kcal / Hr；Qh= BTU / H

26、rt4 ： 加熱器前之DB ()；t4：t5 ： 加熱器前之DB ()；t5：34冷卻盤管冷卻能力 QeQe = G x ( i3 - i4 ) = 1.2 X Q X ( i3 - i4 )Qe= 4.45 x Qx( i3- i4)Qe：Kcal/HrQe：BTU/HrG：風量( kg/Hr )i3 ,i4 ：空氣Enthalpy ( BTU/Lb )i3,i4：空氣Enthalpy ( BTU/Lb )Q：風量( M3 / Hr )Q：風量( Ft3 / Min ) Outside AirReturn Air123456Cooling CoilHumiditer 56 加濕氣之加濕量Wh

27、 = G x ( X6 - X5 ) = 1.2 x Q x ( X6 X5 )Wh = 4.45 x Qx ( X6 X5 )Wh ：加濕量 ( Kg/Hr )Wh：加濕量 ( Grain / Hr )X5 ： 加濕器前空氣之絕對濕氣 ( Kg/Kg)X6 ： 加濕器后空氣之絕對濕氣 ( Kg/Kg)X5 ： 加濕器前空氣之絕對濕氣 (Grain / Lb )X6 ： 加濕器后空氣之絕對濕氣 (Grain / Lb )62 實際室內(nèi)熱負荷Qm = G x ( i 6 i 2 ) = 1.2 x Q x ( i 6 i 2 )Qm = 4.45 x Qx ( i 6 i 2 )Qm ：Kcal

28、/Hr Qm：BTU/Hri 2 ：室內(nèi)空氣之 Enthalpy ( Kcal / kg )i 6 ：冷空氣之 Enthalpy (Kcal / kg )i 2 i 6：BTU/Lb25 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL新風機處理空氣原理新風機處理空氣原理 其目的有兩種功能：其目的有兩種功能：1)1)是補給新鮮空氣給潔凈室內(nèi)人員使用，是補給新鮮空氣給潔凈室內(nèi)人員使用， 2) 2)是給制程排放廢是給制程排放廢氣之補給用以達整體空氣平衡。以氣之補給用以達整體空氣平衡。以ICIC制程而言廢氣排放遠大于潔凈室內(nèi)人員所需之制程而言廢氣排放遠大于潔凈室內(nèi)人員所需之新鮮空氣，

29、但不管如何每立方米空氣是耗費大量能源制程，若要節(jié)省能源此即是節(jié)新鮮空氣，但不管如何每立方米空氣是耗費大量能源制程，若要節(jié)省能源此即是節(jié)約能源之對象。約能源之對象。另外補給新鮮空氣空調(diào)箱又因為加濕方式不同又可分為：另外補給新鮮空氣空調(diào)箱又因為加濕方式不同又可分為：1) 1) 蒸汽加濕式蒸汽加濕式 ( Steam ( Steam Type ) Type ) 此即是當濕度不足時采用蒸汽加濕方式達到潔凈室濕度要求，在節(jié)約能源此即是當濕度不足時采用蒸汽加濕方式達到潔凈室濕度要求，在節(jié)約能源方式而言是較節(jié)省，方式而言是較節(jié)省，2) 2) 空氣水洗滌式空氣水洗滌式 ( Air washer Type ) (

30、 Air washer Type )是采用是采用PumpPump將水形成將水形成水簾幕方式將空氣洗滌干凈并同時給予加濕是較浪費能源方式，但在水簾幕方式將空氣洗滌干凈并同時給予加濕是較浪費能源方式，但在ICIC制程上濕度制程上濕度要求嚴苛之下采用此方式是最安全而不影響制程生產(chǎn)。要求嚴苛之下采用此方式是最安全而不影響制程生產(chǎn)。B-1-1. B-1-1. 蒸汽加濕式蒸汽加濕式 ( Steam Type )( Steam Type ) A B C D E F G H I Pre -Fi l t er Med - Filter Cooling Coil Cooling Coil Heating Coil

31、 Humidifier Attenuator Final Filter 26 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL新風機處理空氣原理新風機處理空氣原理A A：Pre-Filter Pre-Filter 主要是將外部灰塵及異物過濾，而干凈空氣則通過過濾效率為主要是將外部灰塵及異物過濾，而干凈空氣則通過過濾效率為EU3 EU3 、2525B B：MedMedFilter Filter 主要是將主要是將Pre-FilterPre-Filter干凈空氣再過濾干凈空氣再過濾EU7 EU7 以下以下, ,此過濾效率為此過濾效率為8585C C：Cooling Coil Cool

32、ing Coil 主要是將空氣中濕度給予除去，同時會產(chǎn)生大量冷凝水，這些主要是將空氣中濕度給予除去，同時會產(chǎn)生大量冷凝水，這些水使可以回收給冷卻水塔水使可以回收給冷卻水塔(Cooling Tower)(Cooling Tower)使用。使用。D D：Cooling Coil Cooling Coil 主要是將空氣中濕度給予除去，因外部空氣濕度過高主要是將空氣中濕度給予除去，因外部空氣濕度過高 ( ( 尤其夏尤其夏天干球溫度又過高，經(jīng)驗而言大約是天干球溫度又過高，經(jīng)驗而言大約是3232以上，濕度大約以上，濕度大約32 ) 32 ) 空調(diào)箱除濕時一空調(diào)箱除濕時一道冷盤不足將空氣水分全部移除因此必須

33、再加一道道冷盤不足將空氣水分全部移除因此必須再加一道Cooling Coil Cooling Coil 以達到要求。以達到要求。E E：Heating Coil Heating Coil 主要功能是將空氣之干球溫度提高達到預定溫度主要功能是將空氣之干球溫度提高達到預定溫度( ( 一般而言是一般而言是18 22 ) 18 22 ) ，以便于，以便于Humidifier Humidifier 加濕之用加濕之用( (此功能于冬天較明顯，夏天因濕度此功能于冬天較明顯，夏天因濕度高無此需求高無此需求) )。F F：Humidifier Humidifier 主要功能是冬天濕度不足必須補足濕度要求達主要功

34、能是冬天濕度不足必須補足濕度要求達40RH40RH以上，夏天因以上，夏天因濕度高無此需求。濕度高無此需求。G G：Attenuator Attenuator 主要功能是因為風速過高必須降低為主要功能是因為風速過高必須降低為60Dba60Dba以下。以下。H H：Fan Fan 風車風車 主要功能是提供當初要求之風量和克服空氣于風管中運轉(zhuǎn)之靜壓即可主要功能是提供當初要求之風量和克服空氣于風管中運轉(zhuǎn)之靜壓即可。I I：Final FilterFinal Filter主要是將主要是將Med-FilterMed-Filter干凈空氣再過濾至干凈空氣再過濾至 0.3um 0.3um 以下以下, ,此過濾

35、效率此過濾效率為為99.9999.99，確保因空調(diào)箱產(chǎn)生，確保因空調(diào)箱產(chǎn)生ParticleParticle于進入潔凈室前完全過濾達到于進入潔凈室前完全過濾達到ICIC制程要求制程要求27 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL新風機處理空氣原理新風機處理空氣原理B-1-2. B-1-2. 空氣水洗滌式空氣水洗滌式 ( Air washer Type )( Air washer Type )A A：Pre-Filter Pre-Filter 主要是將外部灰塵及異物過濾，而干凈空氣則通過過濾效率為主要是將外部灰塵及異物過濾，而干凈空氣則通過過濾效率為EU3 EU3 、25

36、25B B：MedMedFilter Filter 主要是將主要是將Pre-FilterPre-Filter干凈空氣再過濾至干凈空氣再過濾至 EU7 EU7 以下以下, ,此過濾效率為此過濾效率為8585C C：Heating CoilHeating Coil主要功能是將空氣之干球溫度提高達到預定溫度主要功能是將空氣之干球溫度提高達到預定溫度( ( 一般而言是一般而言是18 18 22 ) 22 ) ，以便于，以便于Air WashingAir Washing時補充不足水分達到濕度要求時補充不足水分達到濕度要求 ( (此功能于冬天較此功能于冬天較明顯，夏天因濕度高無此需求明顯，夏天因濕度高無此

37、需求) )。D D：Air Washing Air Washing 主要功能主要功能 1) 1)空氣加濕：補充不足水分達到濕度要求空氣加濕：補充不足水分達到濕度要求 2) 2)洗滌空洗滌空氣：因空氣有些雜質(zhì)可以藉由此種方式洗滌干凈氣：因空氣有些雜質(zhì)可以藉由此種方式洗滌干凈, , 為此種方式邦浦必須為此種方式邦浦必須24Hr24Hr運轉(zhuǎn)運轉(zhuǎn)，因此邦浦可靠度必須很高不然必須要有備用設計。，因此邦浦可靠度必須很高不然必須要有備用設計。E E：Cooling Coil Cooling Coil 主要是將空氣中濕度給予除去，同時會產(chǎn)生大量冷凝水，這些主要是將空氣中濕度給予除去，同時會產(chǎn)生大量冷凝水，這些

38、水使可以回收給冷卻水塔水使可以回收給冷卻水塔(Cooling Tower)(Cooling Tower)使用。使用。F F：Cooling Coil Cooling Coil 主要是將空氣中濕度給予除去，因外部空氣濕度過高主要是將空氣中濕度給予除去，因外部空氣濕度過高 ( ( 尤其夏尤其夏天干球溫度又過高，經(jīng)驗而言大約是天干球溫度又過高，經(jīng)驗而言大約是3232以上，濕度大約以上，濕度大約32 ) 32 ) 空調(diào)箱除濕時一空調(diào)箱除濕時一道冷盤不足將空氣水分全部移除因此必須再加一道道冷盤不足將空氣水分全部移除因此必須再加一道Cooling Coil Cooling Coil 以達到要求。以達到要求

39、。G G：Heating Coil Heating Coil 主要功能是將空氣之干球溫度提高達到預定溫度主要功能是將空氣之干球溫度提高達到預定溫度( ( 一般而言是一般而言是18 22 ) 18 22 ) ，此功能于冬天較明顯。，此功能于冬天較明顯。H H：Attenuator Attenuator 主要功能是因為風速過高必須降低為主要功能是因為風速過高必須降低為60Dba60Dba以下以下。28 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL新風機處理空氣原理新風機處理空氣原理 I I：Fan Fan 風車風車 主要功能是提供當初要求之風量和克服空氣于風管中運轉(zhuǎn)之主要功能是

40、提供當初要求之風量和克服空氣于風管中運轉(zhuǎn)之靜壓即可。靜壓即可。J J：Final FilterFinal Filter主要是將主要是將Med-FilterMed-Filter干凈空氣再過濾至干凈空氣再過濾至 0.5um 0.5um 以下以下, ,此此過濾效率為過濾效率為99.9999.99 ，確保因空調(diào)箱產(chǎn)生，確保因空調(diào)箱產(chǎn)生ParticleParticle于進入潔凈室前完全過于進入潔凈室前完全過濾達到濾達到ICIC制程要求制程要求 A B C D E F G H I J Pre -Fi l t er Med - Filter Cooling Coil Cooling Coil Heating

41、 Coil Air Washing Attenuator Final Filter Heating Coil 29 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL冷卻塔的基礎知識冷卻塔的基礎知識冷卻塔的作用：冷卻塔的作用：將攜帶廢熱的冷卻水在塔內(nèi)與空氣進行熱交換，使廢熱傳輸給空氣并散入大氣。將攜帶廢熱的冷卻水在塔內(nèi)與空氣進行熱交換，使廢熱傳輸給空氣并散入大氣。冷卻塔的分類：冷卻塔的分類：按通風方式分：自然通風冷卻塔；機械通風冷卻塔；混合通風冷卻塔。按通風方式分：自然通風冷卻塔；機械通風冷卻塔；混合通風冷卻塔。按熱水和空氣的接觸方式分：濕式冷卻塔；干式冷卻塔；干濕式冷卻塔。按熱

42、水和空氣的接觸方式分：濕式冷卻塔；干式冷卻塔；干濕式冷卻塔。按熱水和空氣的流動方向分：逆流式；橫流按熱水和空氣的流動方向分：逆流式；橫流( (交流交流) )式；混流式。式；混流式。冷卻塔的工作原理：冷卻塔的工作原理：水的自由面與空氣直接接觸，共同進行熱和質(zhì)的交換。水的自由面與空氣直接接觸，共同進行熱和質(zhì)的交換。接觸散熱：接觸散熱：即借導熱和對流作用傳熱即借導熱和對流作用傳熱, ,基于溫差的顯熱傳遞。基于溫差的顯熱傳遞。輻射熱交換：輻射熱交換：由于此部分在冷卻塔中熱交換率極小，可以忽略不計。由于此部分在冷卻塔中熱交換率極小，可以忽略不計。水體的表面蒸發(fā)：水體的表面蒸發(fā)：即蒸發(fā)的水變?yōu)樗魵獠⒔钄U

43、散及對流作用進行物質(zhì)即蒸發(fā)的水變?yōu)樗魵獠⒔钄U散及對流作用進行物質(zhì)( (水汽水汽) )交換，基于水的汽化潛熱帶走交換，基于水的汽化潛熱帶走大量的熱，是冷卻塔主要的熱交換方式。大量的熱，是冷卻塔主要的熱交換方式。30 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL31 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL32 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL33 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL冷卻塔的常見問題及解決冷卻塔的常見問題及解決噪聲控制噪聲控制冷卻塔的噪聲主要是軸流風機的噪聲、塔體振動的噪聲和

44、淋水噪聲，其冷卻塔的噪聲主要是軸流風機的噪聲、塔體振動的噪聲和淋水噪聲，其進風口和出風口的噪聲一般都比較大，如果冷卻塔放置在居民區(qū)中，會進風口和出風口的噪聲一般都比較大，如果冷卻塔放置在居民區(qū)中，會帶來很大的噪聲污染。帶來很大的噪聲污染。針對冷卻塔噪聲的來源的不同，我公司一般做以下幾種噪音防治手段：針對冷卻塔噪聲的來源的不同，我公司一般做以下幾種噪音防治手段：1 1、在有噪音要求的場合，采用選擇低噪音風機、安裝消音筒、設置消音、在有噪音要求的場合，采用選擇低噪音風機、安裝消音筒、設置消音墻等手段控制噪音。墻等手段控制噪音。2 2、由于斯頻德冷卻塔都是采用、由于斯頻德冷卻塔都是采用1.0G1.0

45、G以上的耐震設計，所以一般不存在塔以上的耐震設計，所以一般不存在塔 體結(jié)構振動傳聲噪聲的問題。體結(jié)構振動傳聲噪聲的問題。3 3、我公司冷卻塔設計為循環(huán)水沿填料緩緩流如水槽中，淋水噪音極低。、我公司冷卻塔設計為循環(huán)水沿填料緩緩流如水槽中，淋水噪音極低。34 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL冷卻塔水質(zhì)的控制冷卻塔水質(zhì)的控制對開放式冷卻塔而言，由于空氣和水直接接觸，含鹽量濃縮，水溫升高等特對開放式冷卻塔而言，由于空氣和水直接接觸，含鹽量濃縮，水溫升高等特點循環(huán)水容易對設備帶來危害，也就是常說的設備結(jié)垢和腐蝕。點循環(huán)水容易對設備帶來危害，也就是常說的設備結(jié)垢和腐蝕。在循

46、環(huán)水再冷卻塔內(nèi)進行熱交換時，由于水不斷地在蒸發(fā)，循環(huán)水的含鹽量在循環(huán)水再冷卻塔內(nèi)進行熱交換時，由于水不斷地在蒸發(fā)，循環(huán)水的含鹽量不斷增加，會使設備的腐蝕變快。不斷增加，會使設備的腐蝕變快。由于空氣和水在填料上大面積接觸，二氧化碳很容易從水中析出，水中的重由于空氣和水在填料上大面積接觸，二氧化碳很容易從水中析出，水中的重碳酸鈣就會不斷地生成碳酸鈣，當碳酸鈣含量過飽和時便會在設備上形成水碳酸鈣就會不斷地生成碳酸鈣，當碳酸鈣含量過飽和時便會在設備上形成水垢。垢。循環(huán)水系統(tǒng)水溫適宜、營養(yǎng)物質(zhì)豐富、再加上陽光照射，為各種細菌、微生循環(huán)水系統(tǒng)水溫適宜、營養(yǎng)物質(zhì)豐富、再加上陽光照射，為各種細菌、微生物及藻類

47、提供了良好的條件，繁殖很快，微生物本身就有粘性，再將水中的物及藻類提供了良好的條件，繁殖很快，微生物本身就有粘性，再將水中的懸浮物粘接在一起附著在設備上，也會使設備傳熱效率降低，阻礙水流通過，懸浮物粘接在一起附著在設備上，也會使設備傳熱效率降低，阻礙水流通過，還會對金屬制品產(chǎn)生腐蝕。還會對金屬制品產(chǎn)生腐蝕。對冷卻塔水質(zhì)的控制一般分為化學方法和物理方法兩種。對冷卻塔水質(zhì)的控制一般分為化學方法和物理方法兩種。所謂化學方法就是指在循環(huán)水中定期投入一些藥劑，來控制冷卻所謂化學方法就是指在循環(huán)水中定期投入一些藥劑，來控制冷卻塔內(nèi)的結(jié)垢、滋生微生物等問題。塔內(nèi)的結(jié)垢、滋生微生物等問題。所謂物理方法就是指利

48、用電、磁、紫外線等手段來實現(xiàn)對冷卻塔所謂物理方法就是指利用電、磁、紫外線等手段來實現(xiàn)對冷卻塔的水質(zhì)進行控制。的水質(zhì)進行控制。35 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL水泵系統(tǒng)水泵系統(tǒng)CHILLERCHILLERReturn 回水Supply給水Primary-Secondary 共有管路CommonCHILLERLoad System 負載系統(tǒng) Source System製造系統(tǒng)Primary Pumps 一次側(cè)水泵Distribution System送水系統(tǒng)Secondary Pumps二次側(cè)水泵Expansion System 空氣處理系統(tǒng)36 2007 Sp

49、ansion, Inc. CONFIDENTIAL二次泵二次泵蒸發(fā)器側(cè)定定流量，用戶側(cè)變變流量空調(diào)箱兩通控制閥變頻器壓差傳感器冷水生產(chǎn)側(cè)冷水分配側(cè)旁通管Chiller #2Chiller #1SUPPLYDEMAND末端二通調(diào)節(jié)閥與室溫傳感器，閉環(huán)旁通管，無壓差旁通閥加/減冷凍機，供水溫度，或旁通水流方向旁通水流量旁通水流方向和水流量問題：問題： 主機部分負荷主機部分負荷 VS 一次側(cè)水泵滿負荷一次側(cè)水泵滿負荷37 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL二次泵二次泵蒸發(fā)器側(cè)定定流量，用戶側(cè)變變流量加加/減冷凍機，減冷凍機，供水溫度，或旁通水流方向供水溫度，或旁通水流方

50、向當旁通水流量支援供水時，也就是旁通管內(nèi)的水流方向是從回水側(cè)流向供水側(cè)，加機；或，當供水溫度大于設定值時，表明投入的主機數(shù)量不夠，加機旁通水流方向和水流量旁通水流方向和水流量當旁通管內(nèi)的水流是從供水側(cè)流向回水側(cè)，并且旁通水流量達到一臺主機水流量的110%，減機；Minimal pressure drop in bypass pipe負荷側(cè)負荷側(cè)冷水生產(chǎn)側(cè)冷水生產(chǎn)側(cè)負荷側(cè)負荷側(cè)冷水生產(chǎn)側(cè)冷水生產(chǎn)側(cè)38 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL二次泵二次泵蒸發(fā)器側(cè)定定流量，用戶側(cè)變變流量加加/減冷凍機，減冷凍機，在保證供水溫度的前提下，旁通管內(nèi)的水流總是從供水側(cè)到回水側(cè)或者

51、是零。假如在T4處設一個流量傳感器F，則可以計算旁通流量M：加機時水流方向的判斷：加機時水流方向的判斷：F4=F2,熱平衡：T1(F-M)+T3M=T2FM0時，也就是（T2-T1)/(T3-T1)0也就是T2-T10減機時水流方向和水流量的判斷：減機時水流方向和水流量的判斷：熱平衡：F*T4+M*T3=(F+M)*T5M=F*(T4-T5)/(T5-T3)T5-T30，同時M110%*一臺主機的蒸發(fā)側(cè)水流量時T1T2T5T4FT3負荷側(cè)負荷側(cè)M冷水生產(chǎn)側(cè)冷水生產(chǎn)側(cè)設計時，T1，T5不需要設傳感器39 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL蒸汽系統(tǒng)基礎知識蒸汽系統(tǒng)基礎

52、知識1. 蒸汽作為傳熱介質(zhì)的優(yōu)點蒸汽作為傳熱介質(zhì)的優(yōu)點w 蒸汽的熱容量高，和液體傳熱介質(zhì)相比，在輸蒸汽的熱容量高，和液體傳熱介質(zhì)相比，在輸送同樣的熱量時，蒸汽系統(tǒng)的管道較小，這也意味著較低的費用。送同樣的熱量時，蒸汽系統(tǒng)的管道較小，這也意味著較低的費用。w 蒸汽管蒸汽管線重量相對較輕，可以減少管道的支撐費用。線重量相對較輕，可以減少管道的支撐費用。w 在蒸汽管道中，只要有壓力在蒸汽管道中，只要有壓力降就有流動，因此不需要循環(huán)泵的費用。降就有流動，因此不需要循環(huán)泵的費用。w 蒸汽系統(tǒng)彈性大，在一定的范圍蒸汽系統(tǒng)彈性大，在一定的范圍內(nèi)可以根據(jù)需要增加或減小負載。內(nèi)可以根據(jù)需要增加或減小負載。w 蒸

53、汽使用二通控制閥就能控制，從而避蒸汽使用二通控制閥就能控制，從而避免使用三通閥。免使用三通閥。w 從使用角度看，蒸汽到介質(zhì)的傳熱系數(shù)通常是從水到介質(zhì)從使用角度看，蒸汽到介質(zhì)的傳熱系數(shù)通常是從水到介質(zhì)的的2倍，因此可以使傳熱設備更加緊湊。此外，蒸汽傳熱表面不存在溫度梯度，蒸倍，因此可以使傳熱設備更加緊湊。此外，蒸汽傳熱表面不存在溫度梯度，蒸汽充滿的空間溫度使相同的。汽充滿的空間溫度使相同的。 2. 過熱蒸汽過熱蒸汽如果飽和蒸汽經(jīng)過溫度更高的換熱面，則蒸汽的溫度會高于其蒸發(fā)溫如果飽和蒸汽經(jīng)過溫度更高的換熱面，則蒸汽的溫度會高于其蒸發(fā)溫度，此時蒸汽稱為過熱蒸汽，高于飽和蒸汽的溫度稱為過熱度。過熱蒸汽

54、有其本度，此時蒸汽稱為過熱蒸汽，高于飽和蒸汽的溫度稱為過熱度。過熱蒸汽有其本身的應用領域，如用在發(fā)電機組的透平，通過噴嘴至電機，推動電機轉(zhuǎn)動。但是身的應用領域，如用在發(fā)電機組的透平，通過噴嘴至電機，推動電機轉(zhuǎn)動。但是過熱蒸汽很少用于工業(yè)制程的熱量傳遞過程，這是因為過熱蒸汽在冷凝釋放蒸發(fā)過熱蒸汽很少用于工業(yè)制程的熱量傳遞過程，這是因為過熱蒸汽在冷凝釋放蒸發(fā)焓之前必須先冷卻到飽和溫度，很顯然，與飽和蒸汽的蒸發(fā)焓相比，過熱蒸汽冷焓之前必須先冷卻到飽和溫度，很顯然，與飽和蒸汽的蒸發(fā)焓相比，過熱蒸汽冷卻到飽和溫度釋放的熱量是很小的，從而會降低工藝制程設備的性能。卻到飽和溫度釋放的熱量是很小的，從而會降低

55、工藝制程設備的性能。 3. 蒸汽干度蒸汽干度在一定壓力下的沸騰點溫度產(chǎn)生的蒸汽稱為干飽和蒸汽，此時干度為在一定壓力下的沸騰點溫度產(chǎn)生的蒸汽稱為干飽和蒸汽，此時干度為1。但實際應用中很難產(chǎn)生。但實際應用中很難產(chǎn)生100%的干蒸汽，通常都帶有一定量的水滴。如果蒸汽中的干蒸汽，通常都帶有一定量的水滴。如果蒸汽中含有含有10%質(zhì)量的水分，則蒸汽為質(zhì)量的水分，則蒸汽為90%的干度，即蒸汽干度為的干度，即蒸汽干度為0.9。因此實際的濕蒸。因此實際的濕蒸汽蒸發(fā)焓不是蒸汽表上所顯示的汽蒸發(fā)焓不是蒸汽表上所顯示的hfg，而為干度，而為干度x和和hfg的乘積：實際蒸發(fā)焓的乘積：實際蒸發(fā)焓 = 蒸蒸發(fā)焓發(fā)焓 x 干

56、度干度40 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL蒸汽系統(tǒng)基礎知識蒸汽系統(tǒng)基礎知識4. 蒸汽和焓的概念蒸汽和焓的概念蒸汽是水的汽態(tài)表現(xiàn)形式。產(chǎn)生蒸汽需要把水加熱至蒸汽是水的汽態(tài)表現(xiàn)形式。產(chǎn)生蒸汽需要把水加熱至沸騰點，如果繼續(xù)加熱則沸騰水變?yōu)檎羝＿@兩個過程涉及以下的幾個沸騰點，如果繼續(xù)加熱則沸騰水變?yōu)檎羝＿@兩個過程涉及以下的幾個能量術語：能量術語：w 液態(tài)焓或顯熱這部分能量是指將水加熱至沸騰點所需液態(tài)焓或顯熱這部分能量是指將水加熱至沸騰點所需要的熱量，此時加熱的熱量只改變水的溫度，通常用符號要的熱量，此時加熱的熱量只改變水的溫度，通常用符號hf表示。將表示。將1 k

57、g的水從的水從0C加熱到沸騰點的熱量可從蒸汽表上讀取。例如，在大氣壓加熱到沸騰點的熱量可從蒸汽表上讀取。例如，在大氣壓下（下（0 bar g），水的沸點為），水的沸點為100C，則將，則將1 kg的水從的水從0C加熱到加熱到100C所需的熱量為所需的熱量為419 kJ。w 蒸發(fā)焓或蒸發(fā)潛熱指將沸騰溫度蒸發(fā)焓或蒸發(fā)潛熱指將沸騰溫度下的水全部轉(zhuǎn)化成蒸汽所需的熱量，通常用符號下的水全部轉(zhuǎn)化成蒸汽所需的熱量，通常用符號hfg表示。當熱量加入時表示。當熱量加入時，水，水/蒸汽混合物的溫度沒有改變，所有的熱量用來將液態(tài)（水）轉(zhuǎn)變?yōu)檎羝旌衔锏臏囟葲]有改變，所有的熱量用來將液態(tài)（水）轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)（蒸汽），發(fā)生

58、相變。蒸發(fā)氣態(tài)（蒸汽），發(fā)生相變。蒸發(fā)1 kg沸騰溫度下的水所需的熱量可從蒸沸騰溫度下的水所需的熱量可從蒸汽表上讀取。例如，在大氣壓下（汽表上讀取。例如，在大氣壓下（0 bar g），需要），需要2257 kJ的熱量將的熱量將1 kg 100C的水蒸發(fā)成為的水蒸發(fā)成為1kg 100C的蒸汽。的蒸汽。w 全熱能指蒸汽中所全熱能指蒸汽中所有的能量，是液態(tài)焓和蒸發(fā)焓的總和，用有的能量，是液態(tài)焓和蒸發(fā)焓的總和，用hg表示。全熱能也可從蒸汽表表示。全熱能也可從蒸汽表上讀取。例如，在大氣壓下（上讀取。例如，在大氣壓下（0 bar g），），1 kg 0C的水完全轉(zhuǎn)化為的水完全轉(zhuǎn)化為100C的蒸汽需要的全熱

59、能為的蒸汽需要的全熱能為419 + 2257 = 2676 kJ。當蒸汽在工藝過。當蒸汽在工藝過程傳遞熱量時，首先傳遞的是蒸發(fā)焓，這也是能實際應用到的熱量。此程傳遞熱量時，首先傳遞的是蒸發(fā)焓，這也是能實際應用到的熱量。此時蒸汽冷凝成同溫度下的水，稱為冷凝水。時蒸汽冷凝成同溫度下的水，稱為冷凝水。41 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL典型的蒸汽減壓系統(tǒng)流程圖典型的蒸汽減壓系統(tǒng)流程圖DN150 S13汽水分離器25P減壓閥 DN100FIG37過濾器100目濾網(wǎng) DN150DN20 疏水閥組合BSA2截止閥 DN150DN150DN150SV60安全閥 DN100X

60、150BSA2截止閥 DN150上游壓力716BARG，下游壓力5BARG，流量7000KG/HFIG37過濾器100目濾網(wǎng) DN150BSA2截止閥 DN150ILVA蒸汽流量計系統(tǒng) DN150BSA2截止閥 DN150FIG37過濾器100目濾網(wǎng) DN15025P減壓閥 DN100DN150BSA2截止閥 DN150市政蒸汽由分汽缸進BSA2截止閥 DN8042 2007 Spansion, Inc. CONFIDENTIAL潔凈室內(nèi)容簡介潔凈室內(nèi)容簡介 潔淨室的污染源可分外污染源及內(nèi)污染源。外污染源包括了空調(diào)潔淨室的污染源可分外污染源及內(nèi)污染源。外污染源包括了空調(diào)送風、間隙滲入、建築物、工作服、風管材料