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文檔簡介
發(fā)布令
為認真貫徹落實《中華人民共和國突發(fā)事件法》、《中華人民共和國環(huán)境
保護法》等法律法規(guī)精神,根據(jù)《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案評審工
作指南》(環(huán)辦應(yīng)急【2018】8號)的有關(guān)內(nèi)容和要求,有效防范企業(yè)環(huán)境突
發(fā)事件的發(fā)生,強化事件管理責(zé)任,明確事件處理中各級人員的職責(zé),最大限
度的控制事件的擴大和蔓延,減少員工的生命和公司財產(chǎn)的損失。結(jié)合公司的
實際情況,編制了本突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案,本突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案是我司
根據(jù)(環(huán)辦應(yīng)急【2018]8號)要求對2023年編制的“江西xxxx半導(dǎo)體有限
公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案”進行修訂,為突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案第一版。
公司各部門、車間必須組織員工認真做好學(xué)習(xí)、演練工作,依照公司應(yīng)急
預(yù)案管理制度的規(guī)定,每年至少組織演練一次,使各項應(yīng)急措施能真正落到實
處,有效遏制重大事件的發(fā)生,確保員工生命和財產(chǎn)安全。
本預(yù)案于2023年3月10日經(jīng)專家審查通過,現(xiàn)予以公布,自發(fā)布之日起
實施。
江西XXXX半導(dǎo)體有限
公司
簽發(fā)人:
年月日
編制說明
為了進一步健全環(huán)境污染事件應(yīng)急機制,有效預(yù)防、及時控制和消除突發(fā)環(huán)境污染事
件的危害,提高環(huán)境保護方面人員的應(yīng)急反應(yīng)能力,確保迅速有效地處理突發(fā)環(huán)境污染和
生態(tài)破壞等原因造成的局部或區(qū)域環(huán)境污染事件,指導(dǎo)和規(guī)范突發(fā)環(huán)境污染和生態(tài)破壞事
件的應(yīng)急處理工作,維護社會穩(wěn)定,以最快的速度發(fā)揮最大的效能,將環(huán)境污染和生態(tài)破
壞事件造成的損失降低到最小程度,最大限度地保障人民群眾的身體健康和生命安全,特
制定江西海宏新材料有限公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案(以下簡稱“本預(yù)案”)。
A.編制過程概述
公司成立了應(yīng)急預(yù)案編制小組,主要成員有:高益明(組長)、張琪(副組長)、楊
麗(組員)、李保衡(編制)、XXXX(審核)。
主要工作任務(wù)為負責(zé)本公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案編制工作。要求重點突出,針對性
強;程序簡單,步驟明確,保證發(fā)生事故時,能及時啟動,有序?qū)嵤灰y(tǒng)一指揮、責(zé)任
明確。
各編制人員按照分工完成應(yīng)急預(yù)案編制工作,在進行內(nèi)部審核,組織專家評審會,根
據(jù)專家意見,進一步完善應(yīng)急預(yù)案。修訂編制后的預(yù)案經(jīng)公司領(lǐng)導(dǎo)簽字后,將簽字后的紙
質(zhì)版發(fā)布。
成立編制小組后,首先開展環(huán)境風(fēng)險評估,根據(jù)環(huán)境風(fēng)險評估結(jié)果,調(diào)查公司應(yīng)急資
源情況。在完成環(huán)境風(fēng)險評估報告和應(yīng)急資源調(diào)查報告后,開始編制突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)
案。編制過程中,發(fā)放調(diào)查表,征求員工及周邊居民、單位代表的意見。經(jīng)調(diào)查,周邊公
司對本公司印象良好,公司內(nèi)部衛(wèi)生良好,工作規(guī)范。
B.重點內(nèi)容說明
1)應(yīng)急預(yù)案體系
應(yīng)急預(yù)案體系包括企業(yè)內(nèi)部體系和外部體系兩大類,內(nèi)部體系在應(yīng)急救援指揮小組下
成立應(yīng)急救援小組,外部救援體系包括九江市應(yīng)急管理局、九江市生態(tài)環(huán)境局、湖口縣應(yīng)
急管理局、湖口縣生態(tài)環(huán)境局及周邊企業(yè)等。
2)應(yīng)急組織體系
公司成立事故應(yīng)急救援指揮領(lǐng)導(dǎo)隊伍,在應(yīng)急救援總指揮統(tǒng)一領(lǐng)導(dǎo)下,編為搶險搶修
組、醫(yī)療救護組、工程技術(shù)組、應(yīng)急消防組、通訊聯(lián)絡(luò)組、環(huán)境應(yīng)急監(jiān)測組共7個行動小
組,組織機構(gòu)如圖1所示。
圖1應(yīng)急組織機構(gòu)圖
3)信息報告
信息報告分為內(nèi)部事故信息報警和通知、向外部應(yīng)急/救援力量報警和通知、向鄰近單
位及人員報警和通知。
4)預(yù)警分級
按照事故災(zāi)難可控性、后果的嚴重性、影響范圍和緊急程度,公司事故預(yù)警級別為三
級預(yù)警,即車間級預(yù)警(三級),公司級預(yù)警(二級),公司外部預(yù)警主要是當(dāng)?shù)卣?/p>
關(guān)部門及社會救援力量預(yù)警(一級)。
5)環(huán)境風(fēng)險等級
由《風(fēng)評》可知,公司的風(fēng)險等級表示為“企業(yè)突發(fā)環(huán)境事件風(fēng)險等級一般[一般-大
氣(Q0)+一般-水(Q0)]”。
6)征求意見及采納情況說明
編制過程中,發(fā)放調(diào)查表,征求員工及周邊居民、單位代表的意見。經(jīng)調(diào)查,周邊公
司對本公司印象良好,公司內(nèi)部衛(wèi)生良好,工作規(guī)范。
7)評審情況說明
應(yīng)急預(yù)案于2023年3月10日組織專家在本公司召開了評審會,我單位根據(jù)各位代表
意見進行了認真修改、完善,并完成了《江西xxxx半導(dǎo)體有限公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案
(2023年第一版)》最終稿。
目錄
發(fā)布令.....................................................1
編制說明...................................................2
A.編制過程概述.............................................2
B.重點內(nèi)容說明.............................................2
1)應(yīng)急預(yù)案體系...................................................3
2)應(yīng)急組織體系...................................................3
3)信息報告.......................................................3
4)預(yù)警分級.......................................................3
5)環(huán)境風(fēng)險等級...................................................3
6)征求意見及采納情況說明........................................4
7)評審情況說明...................................................4
1、編制總則................................................1
1.1編制目的......................................................1
1.2編制依據(jù)......................................................1
L3事件分級.......................................................3
1.4工作原則......................................................3
1.5適用范圍......................................................4
16應(yīng)急預(yù)案體系...................................................4
2、公司基本情況............................................6
2.1企業(yè)信息......................................................6
2.2產(chǎn)品方案......................................................6
2.3主要原輔材料..................................................7
2.4主要設(shè)備情況..................................................7
2.5生產(chǎn)工藝......................................................9
3、環(huán)境風(fēng)險辨識...........................................17
3.1企業(yè)環(huán)境風(fēng)險等級.............................................17
3.2廠區(qū)主要環(huán)境風(fēng)險物質(zhì).........................................17
3.3廠區(qū)可能發(fā)生的環(huán)境事件.......................................19
4、應(yīng)急能力建設(shè)...........................................20
4.1環(huán)境風(fēng)險管理制度.............................................20
4.2環(huán)境風(fēng)險防控措施.............................................23
4.3加強應(yīng)急能力建設(shè).............................................24
5、組織機構(gòu)和職責(zé).........................................26
5.1組織架構(gòu).....................................................26
5.2應(yīng)急指揮機構(gòu)及職責(zé)...........................................26
5.3人員替補規(guī)定.................................................30
6、預(yù)防與預(yù)警.............................................31
6.1危險源的監(jiān)控管理.............................................31
6.2預(yù)警行動.....................................................32
6.3報警、通訊聯(lián)絡(luò)方式...........................................34
6.4預(yù)警解除.....................................................35
7、應(yīng)急預(yù)案的啟動.........................................36
7.1應(yīng)急預(yù)案啟動條件.............................................36
7.2應(yīng)急響應(yīng)程序--事故發(fā)現(xiàn)及報警(發(fā)現(xiàn)緊急狀態(tài)時)...............36
7.3應(yīng)急響應(yīng)程序一事故控制(緊急狀態(tài)控制階段)..................42
7.4應(yīng)急處理措施.................................................43
7.5應(yīng)急監(jiān)測.....................................................48
7.6應(yīng)急結(jié)束.....................................................51
8后期處理.................................................53
II
8.1善后處置.....................................................53
8.2現(xiàn)場保護.....................................................53
8.3現(xiàn)場凈化方法.................................................53
8.4事故后生態(tài)恢復(fù)措施...........................................54
8.5生產(chǎn)恢復(fù).....................................................54
9應(yīng)急預(yù)防和保障方案.......................................55
9.1通信與信息保障...............................................55
9.2應(yīng)急隊伍保障.................................................55
9.3制度保障.....................................................57
9.4應(yīng)急裝備的保障...............................................57
9.5應(yīng)急培訓(xùn)保障.................................................57
9.6應(yīng)急演練.....................................................58
9.7預(yù)案評估和修正...............................................60
10培訓(xùn)與演練..............................................61
10.1應(yīng)急培訓(xùn)與頻次..............................................61
10.2應(yīng)急演練....................................................62
11事故報告................................................64
12獎懲....................................................64
12.1獎勵........................................................64
12.2責(zé)任追究....................................................64
13附則....................................................66
13.1預(yù)案評估....................................................66
13.2預(yù)案備案....................................................66
13.3預(yù)案發(fā)布與發(fā)放..............................................66
13.4應(yīng)急預(yù)案的實施..............................................66
III
13.5預(yù)案維護與更新...............................................66
14應(yīng)急預(yù)案處置卡..........................................68
15附圖附件................................................69
附件1:企業(yè)環(huán)評批復(fù)..............................錯誤!未定義書簽。
附件2:企業(yè)詳細的地理位置........................錯誤!未定義書簽。
附件3:周邊5km環(huán)境風(fēng)險受體分布圖................錯誤!未定義書簽。
附件4:公司平面布置圖............................錯誤!未定義書簽。
附件5:緊急疏散圖.................................錯誤!未定義書簽。
附件6:應(yīng)急物資分布圖............................錯誤!未定義書簽。
附件7:風(fēng)險源分布圖..............................錯誤!未定義書簽。
附件8:項目雨污管網(wǎng)圖............................錯誤!未定義書簽。
附件9:政府有關(guān)部門、外部救援單位名單及聯(lián)系電話表...............70
附件10:應(yīng)急救援組織機構(gòu)名單及聯(lián)系電話..........................72
附件11:MSDS................................................................................................................74
IV
1、編制總則
L1編制目的
突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案是我公司為規(guī)范安全生產(chǎn)事件的應(yīng)急管理和應(yīng)急響應(yīng)程
序,建立健全環(huán)境應(yīng)急預(yù)案,提高公司應(yīng)對突發(fā)環(huán)境污染事件的能力,及時有效地實
施應(yīng)急救援工作。依據(jù)國家相關(guān)法律、法規(guī),結(jié)合公司實際情況制定《江西XXXX半導(dǎo)
體有限公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案》,通過預(yù)案的實施,防止因組織不力、應(yīng)急響應(yīng)
不及時、救護工作混亂等延誤事件應(yīng)急處置,最大程度地減少人員傷亡及財產(chǎn)損失,
保障人員生命健康與財產(chǎn)安全,維護社會穩(wěn)定,保護環(huán)境,促進社會全面、協(xié)調(diào)、可
持續(xù)發(fā)展。
1.2編制依據(jù)
1.2.1法律法規(guī)、規(guī)章、指導(dǎo)性文件
(1)《中華人民共和國突發(fā)事件應(yīng)對法》(2007年11月1日);
(2)《中華人民共和國環(huán)境保護法》(2015年1月1日);
(3)《中華人民共和國水污染防治法》(2018年1月1日);
(4)《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法》(2020年4月29日修訂);
(5)《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》(2021年修正版);
(6)《中華人民共和國消防法》(2021年4月29日);
(7)《中華人民共和國職業(yè)病防治法》(2018年12月29日);
(8)《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案備案管理辦法(試行)》(環(huán)發(fā)
[2015]4號);
(9)《突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急管理辦法》(環(huán)境保護部令[2015]34號);
(10)環(huán)保部:《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案評審工作指南(試行)》
環(huán)辦應(yīng)急[2018]8號;
(11)環(huán)保部:《企業(yè)突發(fā)環(huán)境事件風(fēng)險評估指南》環(huán)辦[2014]34號;
(12)關(guān)于發(fā)布《企業(yè)突發(fā)環(huán)境事件隱患排查和治理工作指南(試行)》的公告
(公告2016年第74號);
(13)《江西省突發(fā)公共事件總體應(yīng)急預(yù)案》;
(14)關(guān)于印發(fā)《江西省應(yīng)急預(yù)案的通知》的通知(贛府廳字(2016)14號);
1
(15)《國家突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案》;
(16)《江西省突發(fā)事件應(yīng)對條例》;
(17)《江西省突發(fā)事件預(yù)警信息發(fā)布管理辦法(試行)》;
(18)《危險化學(xué)品重大危險源監(jiān)督管理暫行規(guī)定》(安全監(jiān)管總局令第79
號);
(19)《中華人民共和國大氣污染防治法》(2015年8月29日修訂);
(20)《中華人民共和國海洋環(huán)境保護法》(2017修正);
(21)《突發(fā)事件應(yīng)急預(yù)案管理辦法》(國辦函[2013]101號);
(22)《危險化學(xué)品安全管理條例》(國務(wù)院令第645號);
(23)《使用有毒物品作業(yè)場所勞動保護條例》(國務(wù)院令第352號);
(24)《國務(wù)院關(guān)于全面加強應(yīng)急管理工作的意見》(國發(fā)(2006)24號);
(25)《國務(wù)院關(guān)于加強環(huán)境保護重點工作的意見》(國發(fā)(2011)35號);
(26)《突發(fā)環(huán)境事件信息報告辦法》(環(huán)境保護部令第17號);
(27)《化學(xué)品環(huán)境風(fēng)險防控“十二五”規(guī)劃》(環(huán)發(fā)(2013)20號);
(28)《集中式地表飲用水水源地環(huán)境應(yīng)急管理工作指南(試行)》;
(29)《突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案管理暫行辦法》(環(huán)發(fā)(2010)113號);
(30)《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案備案管理辦法(試行)》(環(huán)發(fā)
(2015)4號);
(31)《重點監(jiān)管的危險化學(xué)品安全措施和應(yīng)急處置原則》(國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管
理總局)。
1.2.2標(biāo)準(zhǔn)、技術(shù)規(guī)范
(1)《危險化學(xué)品重大危險源辨識》(GB18218-2018);
(2)《化工建設(shè)項目環(huán)境保護工程設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》(GB50483-2019);
(3)《危險化學(xué)品目錄(2015年版)》;
(4)《工作場所有害因素職業(yè)接觸限值》(GBZ2.1-2019);
(5)《國家危險廢物名錄》(2021年版);
(6)《危險廢物鑒別標(biāo)準(zhǔn)通則》(GB5085.7-2019);
(7)《危險廢物鑒別技術(shù)規(guī)范》(HJ298-2019)
(8)《建設(shè)項目環(huán)境風(fēng)險評價技術(shù)導(dǎo)則》(HJ169-2018);
2
(9)《工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》(GBZ1-2010);
(10)《突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急監(jiān)測技術(shù)規(guī)范》(HJ589-2021)。
1.2.3其他參考資料
(1)化學(xué)品安全技術(shù)說明書;
(2)《江西xxxx半導(dǎo)體有限公司集成電路封裝測試項目(一期)環(huán)境影響報告
書》及其批復(fù);
(3)企業(yè)提供的其他資料;
1.3事件分級
結(jié)合本公司實際情況,針對可能產(chǎn)生環(huán)境污染事件的嚴重性、緊急程度、危害程
序、影響范圍、內(nèi)部控制事態(tài)的能力以及可以調(diào)動的應(yīng)急資源,為方便管理、明確職
責(zé),將公司突發(fā)環(huán)境事件從重到輕依次分為社會級(I級重大環(huán)境污染事件)、公司級
(II級較大環(huán)境污染事件)和車間級(III級一般環(huán)境污染事件)。
1、社會級(I級重大環(huán)境污染事件)
發(fā)生事故時,其影響范圍已超出廠界外,且事故暫未能得到有效的控制,并需要
請求外部的應(yīng)急能力。可能造成傷亡、中毒,或者一次造成直接經(jīng)濟損失大。如整個
廠區(qū)發(fā)生火災(zāi)、大量危險化學(xué)品泄漏。
2、公司級(II級較大環(huán)境污染事件)
發(fā)生事故時,其影響范圍未超出廠界外,能控制在廠界內(nèi)的,通過調(diào)動全公司的
應(yīng)急資源,能有效地控制事故的。可能造成重傷、中毒,或者一次造成直接經(jīng)濟損失
較大。如生產(chǎn)裝置、倉庫或起火燃燒等。
3、車間級(III級一般環(huán)境污染事件)
發(fā)生事故時,影響范圍控制該車間區(qū)域內(nèi),現(xiàn)場作業(yè)人員的能及時處理、控制和
消除,同時不會影響到周邊崗位或發(fā)生連鎖反應(yīng)的。可能造成輕傷、輕微中毒,或者
一次造成直接經(jīng)濟損失較小。如生產(chǎn)裝置、倉庫或小火星、危化品泄漏等。
1.4工作原則
公司在建立突發(fā)性環(huán)境污染事件應(yīng)急系統(tǒng)極其響應(yīng)程序時,本著實事求是、切實
可行的方針,貫徹如下原則:
(1)堅持以人為本,預(yù)防為主。把保障公司全體職工的生命安全和身體健康、最
大程度地預(yù)防和減少安全生產(chǎn)事件造成的人員傷亡作為首要任務(wù)。加強對環(huán)境事件危
3
險源的監(jiān)測、監(jiān)控并實施監(jiān)督管理建立環(huán)境事件風(fēng)險防范體系,積極預(yù)防、及時控
制、消除隱患,提高突發(fā)性環(huán)境污染事件防范和處理能力。
(2)堅持統(tǒng)一領(lǐng)導(dǎo),分類管理,分級響應(yīng)。接受政府環(huán)保部門的指導(dǎo),使公司的
突發(fā)性環(huán)境污染事件應(yīng)急系統(tǒng)成為區(qū)域系統(tǒng)的有機組成部分。加強公司部門之間協(xié)同
與合作,提高快速反應(yīng)能力。針對不同污染源造成的環(huán)境污染,實行分類管理,充分
發(fā)揮部門專業(yè)優(yōu)勢,使采取的措施與突發(fā)環(huán)境污染事件造成的危害范圍與社會影響相
適應(yīng)。
(3)依靠科學(xué),依法規(guī)范。采用先進技術(shù),聽取各方面的意見和建議,實行科學(xué)
民主決策。采用先進的救援裝備和技術(shù),增強應(yīng)急救援能力。依法規(guī)范應(yīng)急救援工
作,確保應(yīng)急預(yù)案的科學(xué)性、權(quán)威性和可操作性。
(4)堅持平戰(zhàn)結(jié)合,專兼結(jié)合,充分利用現(xiàn)有資源。貫徹落實“安全第一,預(yù)防
為主”的方針,積極做好應(yīng)對突發(fā)性環(huán)境污染事件的思想準(zhǔn)備、物資準(zhǔn)備、技術(shù)準(zhǔn)備、
工作準(zhǔn)備,加強培訓(xùn)演練,應(yīng)急系統(tǒng)做到常備不懈,為本公司和其他公司及社會提供
服務(wù),在應(yīng)急時快速有效。
1.5適用范圍
本預(yù)案適用于江西XXXX半導(dǎo)體有限公司全廠范圍內(nèi)現(xiàn)有生產(chǎn)線及配套設(shè)施發(fā)生突
發(fā)事件情況下,若產(chǎn)品、原材料發(fā)生變化或改變生產(chǎn)工藝,必須重新修訂突發(fā)環(huán)境事
件應(yīng)急預(yù)案。
本公司可能發(fā)生的突發(fā)環(huán)境事件類型主要有:化學(xué)品泄漏事件及化學(xué)品泄漏污染
水體事件;車間、危廢存儲間、倉庫發(fā)生火災(zāi)事件。本預(yù)案適用于江西XXXX半導(dǎo)體有
限公司突發(fā)以上環(huán)境污染事件處置能力的應(yīng)對工作。
16應(yīng)急預(yù)案體系
明確應(yīng)急預(yù)案內(nèi)部企業(yè)應(yīng)急預(yù)案和外部其他應(yīng)急預(yù)案的關(guān)系,并輔相應(yīng)的關(guān)系
圖,表述預(yù)案之間的橫向關(guān)聯(lián)及上下銜接關(guān)系。公司應(yīng)急預(yù)案體系由公司突發(fā)環(huán)境事
件綜合預(yù)案、車間突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案和各工段、關(guān)鍵崗位的應(yīng)急處置措施組成。
公司應(yīng)急預(yù)案包括總則、公司基本情況、環(huán)境風(fēng)險源與環(huán)境風(fēng)險評價、應(yīng)急救援
機構(gòu)及職責(zé)、預(yù)防與預(yù)警、信息報告與通報、應(yīng)急響應(yīng)與措施、后期處置、應(yīng)急培訓(xùn)
與演練、獎懲、保障措施、預(yù)案的評審備案發(fā)布和更新、應(yīng)急預(yù)案實施、附錄組成。
4
5
2、公司基本情況
2.1企業(yè)信息
江西xxxx半導(dǎo)體有限公司位于九江市湖口高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū),總建筑面積約10000
平方米,江西xxxx半導(dǎo)體有限公司集成電路封裝測試項目建成后預(yù)計產(chǎn)能可達到年產(chǎn)集
成電路芯片24億顆,項目分期建設(shè),一期工程建成后預(yù)計可實現(xiàn)年產(chǎn)芯片12億顆。
表2.1-1公司基本情況一覽表
單位名稱江西xxxx半導(dǎo)體有限公司
江西省九江市湖口縣高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)海山科技創(chuàng)新試驗區(qū)電子信息產(chǎn)'業(yè)園1#、
單位地址
2#樓
江西省九江市湖口縣高新技
企業(yè)性質(zhì)有限責(zé)任公司所在鄉(xiāng)鎮(zhèn)
術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)
法人代表XXXX建筑面積10000平方米
企業(yè)規(guī)模年產(chǎn)芯片12億顆職工人數(shù)80A
晶圓、引線框架、銅線、UV
膜、藍膜、導(dǎo)電膠、封膠料、C3562半導(dǎo)體器件專用設(shè)備
主要原料所屬行業(yè)
氮氣、氫氣、過硫酸鈉、硫制造
酸、甲基磺酸等
N29°4444.049”、
主要產(chǎn)品SOT23、SOP坐標(biāo)
E116°1721.818”
主要聯(lián)系人xxxx聯(lián)系電話
2.2產(chǎn)品方案
表2.2-1項目產(chǎn)品方案一覽表
規(guī)格電鍍產(chǎn)能
集成電路封裝產(chǎn)能
引線框鍍錫
芯片型號腳距(mm)腳數(shù)引腳形狀(萬顆/年)
(萬片/年)(萬m2/a)
SOT23/3~5/60000700.95
SOP1.278~44L型600004305.85
合計1200005006.8
項目集成電路封裝過程中,對包封過后裸漏的電路引線進行電鍍鍍錫處理,以防
止氧化、以增加引腳抗蝕性,提高可焊性。本項目產(chǎn)品型號包括SOT23、SOP等系列
產(chǎn)品,兩種型號產(chǎn)品使用同種引線框原料,引線框架載體長度約為238mm,寬度約
70mm,單片引線框架面積約0.034m2(雙面),經(jīng)塑封后引線約60%包裹在塑封膠
內(nèi),對40%裸露的面積進行鍍錫,項目共使用引線框500萬片,電鍍錫總面積約6.8
萬n?。電鍍層厚度8?15um,平均厚度
6
2.3主要原輔材料
表2.3-1項目主要原輔材料消耗情況一覽表
序號名稱單位年耗量主要組分/規(guī)格/指標(biāo)用途
1晶圓萬片/a5硅核心
2引線框架萬片/a500鐵銅合金載片
3銅線km/a20000Cu含量》99%引線
4UV膜萬片/a5感光材料研磨保護
5藍膜萬片/a5氯乙烯膜劃片保護
銀粉65-75%、環(huán)氧樹脂(雙
組分)10~20%、乙二醇丁酸
6導(dǎo)電膠t/a1貼片
封醋酸酯1~5%、脂肪族固化
裝劑5-10%
線
環(huán)氧樹脂(雙組分)
5-20%,三甲氧基甲硅烷基
7封膠料t/a24模壓塑封
丙醇0.01%、硅微粉填料
70-90%
三乙醉胺50%、去離子水
8去毛刺液t/a1.8除引腳殘膠
10%
打線鍵合、
9氮氣萬m3/a72自制,氮氣發(fā)生器制備
保元件
10氫氣萬m3/a2.88自制,氫氣發(fā)生器制備打線鍵合
11除油劑t/a1.220~50%氫氧化鉀除油
12過硫酸鈉t/a0.9640?70%化學(xué)去氧化
13甲基磺酸t(yī)/a2.52945g/L預(yù)浸/電鍍錫
電
14甲基磺酸錫t/a1.2300g/L電鍍錫
鍍
添加劑聚烷基乙二醇電鍍錫
15線t/a0.96
16錫球t/a2.8Sn>99%電鍍錫
17硫酸t(yī)/a0.8420?30%中和/后處理
18甲基磺酸t(yī)/a1.820-75%退鍍
19水m3/a19023
能源
20電萬kwh/a0.12
2.4主要設(shè)備情況
表2.4-1公司主要設(shè)備情況一覽表
序號名稱規(guī)格/長X寬X高數(shù)量
1貼膜機NITT01
2晶圓探針介Tsk10
3研磨機Tsk1
4劃片機DISCO10
5貼片機ASM30
7
序號名稱規(guī)格/長X寬X高數(shù)量
6熱超聲電同絲鍵合機ASM60
7塑封用型模Sk4
塑封機系統(tǒng)
8排片機朗誠4
9化學(xué)軟化槽400X530X560mm4
10三級逆流漂洗槽370X350X510mm1
化學(xué)軟化工序
11中和槽370X350X510mm1
(手工提籃式)
12二級逆流漂洗槽370X350X510mm1
13甩干烘干電加熱1
14上料/1
15電解除油槽960X700X420mm1
16水噴淋960X480X420mm(母槽)1
17高壓水噴淋槽960X480X420mm(母槽)1
18化學(xué)去氧化槽960X800X420mm1
19水噴洗槽960X400X420mm(母槽)1
20水噴淋960X400X420mm(母槽)1
電解活化(預(yù)浸)
21960X500X420mm1
槽
22電鍍槽960X3800X420mm5
23水噴洗槽960X400X420mm(母槽)1
24水噴淋960X400X420mm(母槽)1
電鍍線
后處理槽(防變
25(連續(xù)鍍錫環(huán)形960X600X420mm1
色)
線)
26水噴淋960X400X420mm(母槽)1
27中和槽960X600X420mm1
28水噴淋槽960X600X420mm(母槽)1
29超聲波熱水浸槽960X600X420mm(母槽)1
30熱水噴淋槽960X600X420mni(母槽)1
31吹干/1
32烘干電加熱1
33下料/1
34電解退鍍槽960XI400X420mm1
35水噴洗槽960X400X420mm(母槽)1
36水噴淋960X400X420mm(母槽)1
37吹干/1
38切筋機朗誠4
39分選編帶機深科達8
40烤箱/10
41測試機/8
42打標(biāo)機深科達8
43打包機8
44冷卻塔2
45空壓機5
8
序號名稱規(guī)格/長X寬X高數(shù)量
46氮氣發(fā)生器1
47氫氣發(fā)生器中船重工1
48純水裝置2t/h1套
2.5生產(chǎn)工藝
2.5.1整體工藝流程
本項目主要為集成電路的封裝和測試,產(chǎn)品形式有SOT和SOP,項目主要生產(chǎn)工
藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖見圖251-1,其中塑封工序后除引腳表面殘膠具體工藝流程及產(chǎn)
污環(huán)節(jié)見圖252-1,電鍍錫具體工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)見圖253-1。
貼膜、減薄、貼膜、劃片、
沖洗、脫膜沖洗、撕膜
?|
S1不合格品W1-1廢水W1-2廢水S4廢導(dǎo)電膠G1有機廢氣S5廢銅線
S2廢UV膜S3廢藍膜
甲基磺酸、甲基去毛刺
磺酸錫、硫酸等液、硫酸封膠料
產(chǎn)品入庫
圖2.5.L1項目工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖
中測:對廠家提供的晶圓圓片用探針進行測試,并對不良品打點標(biāo)記。該工序產(chǎn)
生不合格品Slo
減薄:硅晶片上電路層的有效厚度一般為300um,為了保證其功能,有一定的襯
底支持厚度,因此硅片的一般厚度為900um。襯底材料是為了進行背面減薄,使其達
到所需要的厚度,然后再對硅片進行切割加工,形成一個個減薄的裸芯片。減薄前,
在硅晶片正面貼上UV膜對其進行保護,硅片背面減薄是利用純水為介質(zhì),純水通過
計量泵泵入研磨輪中,利用研磨輪磨頭對其背面進行研磨,直至設(shè)定的厚度,研磨后
通過曝光脫膜。貼膜、研磨、脫模、沖洗均在同一臺設(shè)備(研磨機)中進行。減薄在
9
封閉設(shè)備內(nèi)進行并采用水磨,故無粉塵污染物產(chǎn)生。該工序產(chǎn)生減薄廢水W1-1、廢
UV膜S2。
劃片:將晶圓片按照晶粒大小和布局由劃片機切割成單一個體(芯片)。為保護
晶圓表面電路,在切割前在晶圓表面貼藍膜進行保護,切割完后撕膜。劃片機根據(jù)工
藝要求對晶圓片進行切割,同時使用水為介質(zhì)進行沖洗,以降低圓片溫度,并沖走劃
片過程中產(chǎn)生的少量硅屑。貼膜、切割、撕膜、沖洗均在同一臺設(shè)備(劃片機)中進
行。劃片在封閉設(shè)備內(nèi)進行且劃片過程中采用水沖洗,故無粉塵污染物產(chǎn)生。該工序
產(chǎn)生劃片廢水W1-2、廢藍膜S3。
貼片:將引線框架供料于貼片機,在相應(yīng)位置點上導(dǎo)電膠(銀膠),貼裝上述工
序成品芯片。該工序?qū)y膠點涂到引線框架上,再將芯片的被焊面與銀膠接觸壓實。
該工序產(chǎn)生少量廢導(dǎo)電膠S4o
烘烤:烘烤是貼片完成后的一個輔助工序。烘烤的目的是將導(dǎo)電膠(銀膠)烘烤
固化,使芯片和載體牢固粘結(jié),烘烤溫度175℃,烘烤時間2h,該溫度條件下導(dǎo)電膠
中環(huán)氧樹脂成分進行交聯(lián)固化,部分樹脂發(fā)生分解、降解,從而產(chǎn)生少量游離的單體
VOCs廢氣。該工序產(chǎn)生有機廢氣G1。
打線:即引線鍵合,打線'溫度120~200℃,打線時間0.5~ls。以銅線為引線,通
過熱超聲鍵合技術(shù)連接芯片電極和引線框架的內(nèi)引線,構(gòu)成電回路。打線時充入氫氮
混合氣趕走氧氣,目的是為了去除氧氣進行氧化層還原與保護作用,防止打線過程產(chǎn)
品氧化。該工序產(chǎn)生少量廢銅線S5。
模壓塑封、固化:通過模具將固態(tài)封膠料加熱后注入每個引線框架芯片位中,并
將其封裝起來以保護芯片。塑料封裝使用的材料為熱固性聚合物,主要為環(huán)氧樹脂、
硅膠樹脂、硅微粉填料等組成。該工藝將已貼裝芯片并完成引線鍵合的框架置于模具
中,再在預(yù)熱爐中加熱(預(yù)熱溫度在90~95℃之間),然后放進轉(zhuǎn)移成型機的轉(zhuǎn)移罐
中。在轉(zhuǎn)移成型活塞的壓力下,塑封料被液壓機頂桿擠壓到澆道中,并經(jīng)過澆口注入
模具成型(在整過過程中,模具溫度保持在170~175℃)。塑封料在模具中保壓約2
分鐘后,模塊的硬度足以達標(biāo)并被頂出,但是聚合物的固化并未全部完成。由于材料
的固化程度嚴重影響材料的玻璃化溫度及熱應(yīng)力,所以塑封后需要在烘箱進行后固
化、熱老化處理,促使材料全部固化達到一個溫度的狀態(tài),以提高元器件的可靠性,
溫度170775C,固化時間約6h。該溫度條件下塑封料中環(huán)氧樹脂成分進行交聯(lián)固
10
化,部分樹脂發(fā)生分解、降解,從而產(chǎn)生少量游離的單體VOCs廢氣。該工序產(chǎn)生有
機廢氣G2和廢膠料S6。
化學(xué)軟化:對塑封后引線腳表面進行殘膠清除,詳見332。
電鍍錫:對引線框進行電鍍錫處理,詳見3.3.3。
切筋:切除引線框上連接引腳的橫筋以及邊框,經(jīng)切筋機將半成品沖切成型,使
其外觀、站立高及共面度符合產(chǎn)品要求。該工序會產(chǎn)生少量切筋邊角料S10。
測試:對成型后的產(chǎn)品進行測試和記錄,測試后進入編帶、包裝工序。
編帶、包裝:將測試合格的產(chǎn)品放入載帶并封蓋完成,包裝后即為成品。
2.5.2化學(xué)軟化(除引腳殘膠)
產(chǎn)品模壓塑封后采用化學(xué)軟化工藝對塑封后引線腳表面殘余塑封膠毛刺進行清
除,加入中溫去毛刺液,溫度控制在70℃,時間控制45min~60min,軟膠后采用三級
逆流水洗,補充10%體積比稀硫酸進行中和,常溫下幾乎無硫酸霧產(chǎn)生,中和后采用
二級逆流水洗,軟膠工序完成。
電解軟化主要工藝參數(shù)和操作條件詳見表252-1。
表2.5.2”化學(xué)軟化主要工藝參數(shù)和操作條件一覽表
工序溫度/℃加熱方式運行時間電流密度/A?dm-2槽液主要成分
去毛刺液:三乙醇胺
化學(xué)軟化70電加熱45~60min—
31?49%
水洗x3常溫———三級逆流水洗
中和常溫—3~4min一硫酸20-30%
水洗x2常溫一—一二級逆流水洗
烘干100電加熱Imin——
污染物主要為:
廢水:去毛刺漂洗廢水W2-1,中和漂洗廢水W2-2。
固廢:化學(xué)軟化廢槽液S7-1,中和廢槽液S7-2。
11
去毛刺液
化
三
二
學(xué)
級
烘
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