集成電路封裝測試項目突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案_第1頁
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文檔簡介

發(fā)布令

為認真貫徹落實《中華人民共和國突發(fā)事件法》、《中華人民共和國環(huán)境

保護法》等法律法規(guī)精神,根據(jù)《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案評審工

作指南》(環(huán)辦應(yīng)急【2018】8號)的有關(guān)內(nèi)容和要求,有效防范企業(yè)環(huán)境突

發(fā)事件的發(fā)生,強化事件管理責(zé)任,明確事件處理中各級人員的職責(zé),最大限

度的控制事件的擴大和蔓延,減少員工的生命和公司財產(chǎn)的損失。結(jié)合公司的

實際情況,編制了本突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案,本突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案是我司

根據(jù)(環(huán)辦應(yīng)急【2018]8號)要求對2023年編制的“江西xxxx半導(dǎo)體有限

公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案”進行修訂,為突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案第一版。

公司各部門、車間必須組織員工認真做好學(xué)習(xí)、演練工作,依照公司應(yīng)急

預(yù)案管理制度的規(guī)定,每年至少組織演練一次,使各項應(yīng)急措施能真正落到實

處,有效遏制重大事件的發(fā)生,確保員工生命和財產(chǎn)安全。

本預(yù)案于2023年3月10日經(jīng)專家審查通過,現(xiàn)予以公布,自發(fā)布之日起

實施。

江西XXXX半導(dǎo)體有限

公司

簽發(fā)人:

年月日

編制說明

為了進一步健全環(huán)境污染事件應(yīng)急機制,有效預(yù)防、及時控制和消除突發(fā)環(huán)境污染事

件的危害,提高環(huán)境保護方面人員的應(yīng)急反應(yīng)能力,確保迅速有效地處理突發(fā)環(huán)境污染和

生態(tài)破壞等原因造成的局部或區(qū)域環(huán)境污染事件,指導(dǎo)和規(guī)范突發(fā)環(huán)境污染和生態(tài)破壞事

件的應(yīng)急處理工作,維護社會穩(wěn)定,以最快的速度發(fā)揮最大的效能,將環(huán)境污染和生態(tài)破

壞事件造成的損失降低到最小程度,最大限度地保障人民群眾的身體健康和生命安全,特

制定江西海宏新材料有限公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案(以下簡稱“本預(yù)案”)。

A.編制過程概述

公司成立了應(yīng)急預(yù)案編制小組,主要成員有:高益明(組長)、張琪(副組長)、楊

麗(組員)、李保衡(編制)、XXXX(審核)。

主要工作任務(wù)為負責(zé)本公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案編制工作。要求重點突出,針對性

強;程序簡單,步驟明確,保證發(fā)生事故時,能及時啟動,有序?qū)嵤灰y(tǒng)一指揮、責(zé)任

明確。

各編制人員按照分工完成應(yīng)急預(yù)案編制工作,在進行內(nèi)部審核,組織專家評審會,根

據(jù)專家意見,進一步完善應(yīng)急預(yù)案。修訂編制后的預(yù)案經(jīng)公司領(lǐng)導(dǎo)簽字后,將簽字后的紙

質(zhì)版發(fā)布。

成立編制小組后,首先開展環(huán)境風(fēng)險評估,根據(jù)環(huán)境風(fēng)險評估結(jié)果,調(diào)查公司應(yīng)急資

源情況。在完成環(huán)境風(fēng)險評估報告和應(yīng)急資源調(diào)查報告后,開始編制突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)

案。編制過程中,發(fā)放調(diào)查表,征求員工及周邊居民、單位代表的意見。經(jīng)調(diào)查,周邊公

司對本公司印象良好,公司內(nèi)部衛(wèi)生良好,工作規(guī)范。

B.重點內(nèi)容說明

1)應(yīng)急預(yù)案體系

應(yīng)急預(yù)案體系包括企業(yè)內(nèi)部體系和外部體系兩大類,內(nèi)部體系在應(yīng)急救援指揮小組下

成立應(yīng)急救援小組,外部救援體系包括九江市應(yīng)急管理局、九江市生態(tài)環(huán)境局、湖口縣應(yīng)

急管理局、湖口縣生態(tài)環(huán)境局及周邊企業(yè)等。

2)應(yīng)急組織體系

公司成立事故應(yīng)急救援指揮領(lǐng)導(dǎo)隊伍,在應(yīng)急救援總指揮統(tǒng)一領(lǐng)導(dǎo)下,編為搶險搶修

組、醫(yī)療救護組、工程技術(shù)組、應(yīng)急消防組、通訊聯(lián)絡(luò)組、環(huán)境應(yīng)急監(jiān)測組共7個行動小

組,組織機構(gòu)如圖1所示。

圖1應(yīng)急組織機構(gòu)圖

3)信息報告

信息報告分為內(nèi)部事故信息報警和通知、向外部應(yīng)急/救援力量報警和通知、向鄰近單

位及人員報警和通知。

4)預(yù)警分級

按照事故災(zāi)難可控性、后果的嚴重性、影響范圍和緊急程度,公司事故預(yù)警級別為三

級預(yù)警,即車間級預(yù)警(三級),公司級預(yù)警(二級),公司外部預(yù)警主要是當(dāng)?shù)卣?/p>

關(guān)部門及社會救援力量預(yù)警(一級)。

5)環(huán)境風(fēng)險等級

由《風(fēng)評》可知,公司的風(fēng)險等級表示為“企業(yè)突發(fā)環(huán)境事件風(fēng)險等級一般[一般-大

氣(Q0)+一般-水(Q0)]”。

6)征求意見及采納情況說明

編制過程中,發(fā)放調(diào)查表,征求員工及周邊居民、單位代表的意見。經(jīng)調(diào)查,周邊公

司對本公司印象良好,公司內(nèi)部衛(wèi)生良好,工作規(guī)范。

7)評審情況說明

應(yīng)急預(yù)案于2023年3月10日組織專家在本公司召開了評審會,我單位根據(jù)各位代表

意見進行了認真修改、完善,并完成了《江西xxxx半導(dǎo)體有限公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案

(2023年第一版)》最終稿。

目錄

發(fā)布令.....................................................1

編制說明...................................................2

A.編制過程概述.............................................2

B.重點內(nèi)容說明.............................................2

1)應(yīng)急預(yù)案體系...................................................3

2)應(yīng)急組織體系...................................................3

3)信息報告.......................................................3

4)預(yù)警分級.......................................................3

5)環(huán)境風(fēng)險等級...................................................3

6)征求意見及采納情況說明........................................4

7)評審情況說明...................................................4

1、編制總則................................................1

1.1編制目的......................................................1

1.2編制依據(jù)......................................................1

L3事件分級.......................................................3

1.4工作原則......................................................3

1.5適用范圍......................................................4

16應(yīng)急預(yù)案體系...................................................4

2、公司基本情況............................................6

2.1企業(yè)信息......................................................6

2.2產(chǎn)品方案......................................................6

2.3主要原輔材料..................................................7

2.4主要設(shè)備情況..................................................7

2.5生產(chǎn)工藝......................................................9

3、環(huán)境風(fēng)險辨識...........................................17

3.1企業(yè)環(huán)境風(fēng)險等級.............................................17

3.2廠區(qū)主要環(huán)境風(fēng)險物質(zhì).........................................17

3.3廠區(qū)可能發(fā)生的環(huán)境事件.......................................19

4、應(yīng)急能力建設(shè)...........................................20

4.1環(huán)境風(fēng)險管理制度.............................................20

4.2環(huán)境風(fēng)險防控措施.............................................23

4.3加強應(yīng)急能力建設(shè).............................................24

5、組織機構(gòu)和職責(zé).........................................26

5.1組織架構(gòu).....................................................26

5.2應(yīng)急指揮機構(gòu)及職責(zé)...........................................26

5.3人員替補規(guī)定.................................................30

6、預(yù)防與預(yù)警.............................................31

6.1危險源的監(jiān)控管理.............................................31

6.2預(yù)警行動.....................................................32

6.3報警、通訊聯(lián)絡(luò)方式...........................................34

6.4預(yù)警解除.....................................................35

7、應(yīng)急預(yù)案的啟動.........................................36

7.1應(yīng)急預(yù)案啟動條件.............................................36

7.2應(yīng)急響應(yīng)程序--事故發(fā)現(xiàn)及報警(發(fā)現(xiàn)緊急狀態(tài)時)...............36

7.3應(yīng)急響應(yīng)程序一事故控制(緊急狀態(tài)控制階段)..................42

7.4應(yīng)急處理措施.................................................43

7.5應(yīng)急監(jiān)測.....................................................48

7.6應(yīng)急結(jié)束.....................................................51

8后期處理.................................................53

II

8.1善后處置.....................................................53

8.2現(xiàn)場保護.....................................................53

8.3現(xiàn)場凈化方法.................................................53

8.4事故后生態(tài)恢復(fù)措施...........................................54

8.5生產(chǎn)恢復(fù).....................................................54

9應(yīng)急預(yù)防和保障方案.......................................55

9.1通信與信息保障...............................................55

9.2應(yīng)急隊伍保障.................................................55

9.3制度保障.....................................................57

9.4應(yīng)急裝備的保障...............................................57

9.5應(yīng)急培訓(xùn)保障.................................................57

9.6應(yīng)急演練.....................................................58

9.7預(yù)案評估和修正...............................................60

10培訓(xùn)與演練..............................................61

10.1應(yīng)急培訓(xùn)與頻次..............................................61

10.2應(yīng)急演練....................................................62

11事故報告................................................64

12獎懲....................................................64

12.1獎勵........................................................64

12.2責(zé)任追究....................................................64

13附則....................................................66

13.1預(yù)案評估....................................................66

13.2預(yù)案備案....................................................66

13.3預(yù)案發(fā)布與發(fā)放..............................................66

13.4應(yīng)急預(yù)案的實施..............................................66

III

13.5預(yù)案維護與更新...............................................66

14應(yīng)急預(yù)案處置卡..........................................68

15附圖附件................................................69

附件1:企業(yè)環(huán)評批復(fù)..............................錯誤!未定義書簽。

附件2:企業(yè)詳細的地理位置........................錯誤!未定義書簽。

附件3:周邊5km環(huán)境風(fēng)險受體分布圖................錯誤!未定義書簽。

附件4:公司平面布置圖............................錯誤!未定義書簽。

附件5:緊急疏散圖.................................錯誤!未定義書簽。

附件6:應(yīng)急物資分布圖............................錯誤!未定義書簽。

附件7:風(fēng)險源分布圖..............................錯誤!未定義書簽。

附件8:項目雨污管網(wǎng)圖............................錯誤!未定義書簽。

附件9:政府有關(guān)部門、外部救援單位名單及聯(lián)系電話表...............70

附件10:應(yīng)急救援組織機構(gòu)名單及聯(lián)系電話..........................72

附件11:MSDS................................................................................................................74

IV

1、編制總則

L1編制目的

突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案是我公司為規(guī)范安全生產(chǎn)事件的應(yīng)急管理和應(yīng)急響應(yīng)程

序,建立健全環(huán)境應(yīng)急預(yù)案,提高公司應(yīng)對突發(fā)環(huán)境污染事件的能力,及時有效地實

施應(yīng)急救援工作。依據(jù)國家相關(guān)法律、法規(guī),結(jié)合公司實際情況制定《江西XXXX半導(dǎo)

體有限公司突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案》,通過預(yù)案的實施,防止因組織不力、應(yīng)急響應(yīng)

不及時、救護工作混亂等延誤事件應(yīng)急處置,最大程度地減少人員傷亡及財產(chǎn)損失,

保障人員生命健康與財產(chǎn)安全,維護社會穩(wěn)定,保護環(huán)境,促進社會全面、協(xié)調(diào)、可

持續(xù)發(fā)展。

1.2編制依據(jù)

1.2.1法律法規(guī)、規(guī)章、指導(dǎo)性文件

(1)《中華人民共和國突發(fā)事件應(yīng)對法》(2007年11月1日);

(2)《中華人民共和國環(huán)境保護法》(2015年1月1日);

(3)《中華人民共和國水污染防治法》(2018年1月1日);

(4)《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法》(2020年4月29日修訂);

(5)《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》(2021年修正版);

(6)《中華人民共和國消防法》(2021年4月29日);

(7)《中華人民共和國職業(yè)病防治法》(2018年12月29日);

(8)《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案備案管理辦法(試行)》(環(huán)發(fā)

[2015]4號);

(9)《突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急管理辦法》(環(huán)境保護部令[2015]34號);

(10)環(huán)保部:《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案評審工作指南(試行)》

環(huán)辦應(yīng)急[2018]8號;

(11)環(huán)保部:《企業(yè)突發(fā)環(huán)境事件風(fēng)險評估指南》環(huán)辦[2014]34號;

(12)關(guān)于發(fā)布《企業(yè)突發(fā)環(huán)境事件隱患排查和治理工作指南(試行)》的公告

(公告2016年第74號);

(13)《江西省突發(fā)公共事件總體應(yīng)急預(yù)案》;

(14)關(guān)于印發(fā)《江西省應(yīng)急預(yù)案的通知》的通知(贛府廳字(2016)14號);

1

(15)《國家突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案》;

(16)《江西省突發(fā)事件應(yīng)對條例》;

(17)《江西省突發(fā)事件預(yù)警信息發(fā)布管理辦法(試行)》;

(18)《危險化學(xué)品重大危險源監(jiān)督管理暫行規(guī)定》(安全監(jiān)管總局令第79

號);

(19)《中華人民共和國大氣污染防治法》(2015年8月29日修訂);

(20)《中華人民共和國海洋環(huán)境保護法》(2017修正);

(21)《突發(fā)事件應(yīng)急預(yù)案管理辦法》(國辦函[2013]101號);

(22)《危險化學(xué)品安全管理條例》(國務(wù)院令第645號);

(23)《使用有毒物品作業(yè)場所勞動保護條例》(國務(wù)院令第352號);

(24)《國務(wù)院關(guān)于全面加強應(yīng)急管理工作的意見》(國發(fā)(2006)24號);

(25)《國務(wù)院關(guān)于加強環(huán)境保護重點工作的意見》(國發(fā)(2011)35號);

(26)《突發(fā)環(huán)境事件信息報告辦法》(環(huán)境保護部令第17號);

(27)《化學(xué)品環(huán)境風(fēng)險防控“十二五”規(guī)劃》(環(huán)發(fā)(2013)20號);

(28)《集中式地表飲用水水源地環(huán)境應(yīng)急管理工作指南(試行)》;

(29)《突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案管理暫行辦法》(環(huán)發(fā)(2010)113號);

(30)《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案備案管理辦法(試行)》(環(huán)發(fā)

(2015)4號);

(31)《重點監(jiān)管的危險化學(xué)品安全措施和應(yīng)急處置原則》(國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管

理總局)。

1.2.2標(biāo)準(zhǔn)、技術(shù)規(guī)范

(1)《危險化學(xué)品重大危險源辨識》(GB18218-2018);

(2)《化工建設(shè)項目環(huán)境保護工程設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》(GB50483-2019);

(3)《危險化學(xué)品目錄(2015年版)》;

(4)《工作場所有害因素職業(yè)接觸限值》(GBZ2.1-2019);

(5)《國家危險廢物名錄》(2021年版);

(6)《危險廢物鑒別標(biāo)準(zhǔn)通則》(GB5085.7-2019);

(7)《危險廢物鑒別技術(shù)規(guī)范》(HJ298-2019)

(8)《建設(shè)項目環(huán)境風(fēng)險評價技術(shù)導(dǎo)則》(HJ169-2018);

2

(9)《工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》(GBZ1-2010);

(10)《突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急監(jiān)測技術(shù)規(guī)范》(HJ589-2021)。

1.2.3其他參考資料

(1)化學(xué)品安全技術(shù)說明書;

(2)《江西xxxx半導(dǎo)體有限公司集成電路封裝測試項目(一期)環(huán)境影響報告

書》及其批復(fù);

(3)企業(yè)提供的其他資料;

1.3事件分級

結(jié)合本公司實際情況,針對可能產(chǎn)生環(huán)境污染事件的嚴重性、緊急程度、危害程

序、影響范圍、內(nèi)部控制事態(tài)的能力以及可以調(diào)動的應(yīng)急資源,為方便管理、明確職

責(zé),將公司突發(fā)環(huán)境事件從重到輕依次分為社會級(I級重大環(huán)境污染事件)、公司級

(II級較大環(huán)境污染事件)和車間級(III級一般環(huán)境污染事件)。

1、社會級(I級重大環(huán)境污染事件)

發(fā)生事故時,其影響范圍已超出廠界外,且事故暫未能得到有效的控制,并需要

請求外部的應(yīng)急能力。可能造成傷亡、中毒,或者一次造成直接經(jīng)濟損失大。如整個

廠區(qū)發(fā)生火災(zāi)、大量危險化學(xué)品泄漏。

2、公司級(II級較大環(huán)境污染事件)

發(fā)生事故時,其影響范圍未超出廠界外,能控制在廠界內(nèi)的,通過調(diào)動全公司的

應(yīng)急資源,能有效地控制事故的。可能造成重傷、中毒,或者一次造成直接經(jīng)濟損失

較大。如生產(chǎn)裝置、倉庫或起火燃燒等。

3、車間級(III級一般環(huán)境污染事件)

發(fā)生事故時,影響范圍控制該車間區(qū)域內(nèi),現(xiàn)場作業(yè)人員的能及時處理、控制和

消除,同時不會影響到周邊崗位或發(fā)生連鎖反應(yīng)的。可能造成輕傷、輕微中毒,或者

一次造成直接經(jīng)濟損失較小。如生產(chǎn)裝置、倉庫或小火星、危化品泄漏等。

1.4工作原則

公司在建立突發(fā)性環(huán)境污染事件應(yīng)急系統(tǒng)極其響應(yīng)程序時,本著實事求是、切實

可行的方針,貫徹如下原則:

(1)堅持以人為本,預(yù)防為主。把保障公司全體職工的生命安全和身體健康、最

大程度地預(yù)防和減少安全生產(chǎn)事件造成的人員傷亡作為首要任務(wù)。加強對環(huán)境事件危

3

險源的監(jiān)測、監(jiān)控并實施監(jiān)督管理建立環(huán)境事件風(fēng)險防范體系,積極預(yù)防、及時控

制、消除隱患,提高突發(fā)性環(huán)境污染事件防范和處理能力。

(2)堅持統(tǒng)一領(lǐng)導(dǎo),分類管理,分級響應(yīng)。接受政府環(huán)保部門的指導(dǎo),使公司的

突發(fā)性環(huán)境污染事件應(yīng)急系統(tǒng)成為區(qū)域系統(tǒng)的有機組成部分。加強公司部門之間協(xié)同

與合作,提高快速反應(yīng)能力。針對不同污染源造成的環(huán)境污染,實行分類管理,充分

發(fā)揮部門專業(yè)優(yōu)勢,使采取的措施與突發(fā)環(huán)境污染事件造成的危害范圍與社會影響相

適應(yīng)。

(3)依靠科學(xué),依法規(guī)范。采用先進技術(shù),聽取各方面的意見和建議,實行科學(xué)

民主決策。采用先進的救援裝備和技術(shù),增強應(yīng)急救援能力。依法規(guī)范應(yīng)急救援工

作,確保應(yīng)急預(yù)案的科學(xué)性、權(quán)威性和可操作性。

(4)堅持平戰(zhàn)結(jié)合,專兼結(jié)合,充分利用現(xiàn)有資源。貫徹落實“安全第一,預(yù)防

為主”的方針,積極做好應(yīng)對突發(fā)性環(huán)境污染事件的思想準(zhǔn)備、物資準(zhǔn)備、技術(shù)準(zhǔn)備、

工作準(zhǔn)備,加強培訓(xùn)演練,應(yīng)急系統(tǒng)做到常備不懈,為本公司和其他公司及社會提供

服務(wù),在應(yīng)急時快速有效。

1.5適用范圍

本預(yù)案適用于江西XXXX半導(dǎo)體有限公司全廠范圍內(nèi)現(xiàn)有生產(chǎn)線及配套設(shè)施發(fā)生突

發(fā)事件情況下,若產(chǎn)品、原材料發(fā)生變化或改變生產(chǎn)工藝,必須重新修訂突發(fā)環(huán)境事

件應(yīng)急預(yù)案。

本公司可能發(fā)生的突發(fā)環(huán)境事件類型主要有:化學(xué)品泄漏事件及化學(xué)品泄漏污染

水體事件;車間、危廢存儲間、倉庫發(fā)生火災(zāi)事件。本預(yù)案適用于江西XXXX半導(dǎo)體有

限公司突發(fā)以上環(huán)境污染事件處置能力的應(yīng)對工作。

16應(yīng)急預(yù)案體系

明確應(yīng)急預(yù)案內(nèi)部企業(yè)應(yīng)急預(yù)案和外部其他應(yīng)急預(yù)案的關(guān)系,并輔相應(yīng)的關(guān)系

圖,表述預(yù)案之間的橫向關(guān)聯(lián)及上下銜接關(guān)系。公司應(yīng)急預(yù)案體系由公司突發(fā)環(huán)境事

件綜合預(yù)案、車間突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案和各工段、關(guān)鍵崗位的應(yīng)急處置措施組成。

公司應(yīng)急預(yù)案包括總則、公司基本情況、環(huán)境風(fēng)險源與環(huán)境風(fēng)險評價、應(yīng)急救援

機構(gòu)及職責(zé)、預(yù)防與預(yù)警、信息報告與通報、應(yīng)急響應(yīng)與措施、后期處置、應(yīng)急培訓(xùn)

與演練、獎懲、保障措施、預(yù)案的評審備案發(fā)布和更新、應(yīng)急預(yù)案實施、附錄組成。

4

5

2、公司基本情況

2.1企業(yè)信息

江西xxxx半導(dǎo)體有限公司位于九江市湖口高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū),總建筑面積約10000

平方米,江西xxxx半導(dǎo)體有限公司集成電路封裝測試項目建成后預(yù)計產(chǎn)能可達到年產(chǎn)集

成電路芯片24億顆,項目分期建設(shè),一期工程建成后預(yù)計可實現(xiàn)年產(chǎn)芯片12億顆。

表2.1-1公司基本情況一覽表

單位名稱江西xxxx半導(dǎo)體有限公司

江西省九江市湖口縣高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)海山科技創(chuàng)新試驗區(qū)電子信息產(chǎn)'業(yè)園1#、

單位地址

2#樓

江西省九江市湖口縣高新技

企業(yè)性質(zhì)有限責(zé)任公司所在鄉(xiāng)鎮(zhèn)

術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)

法人代表XXXX建筑面積10000平方米

企業(yè)規(guī)模年產(chǎn)芯片12億顆職工人數(shù)80A

晶圓、引線框架、銅線、UV

膜、藍膜、導(dǎo)電膠、封膠料、C3562半導(dǎo)體器件專用設(shè)備

主要原料所屬行業(yè)

氮氣、氫氣、過硫酸鈉、硫制造

酸、甲基磺酸等

N29°4444.049”、

主要產(chǎn)品SOT23、SOP坐標(biāo)

E116°1721.818”

主要聯(lián)系人xxxx聯(lián)系電話

2.2產(chǎn)品方案

表2.2-1項目產(chǎn)品方案一覽表

規(guī)格電鍍產(chǎn)能

集成電路封裝產(chǎn)能

引線框鍍錫

芯片型號腳距(mm)腳數(shù)引腳形狀(萬顆/年)

(萬片/年)(萬m2/a)

SOT23/3~5/60000700.95

SOP1.278~44L型600004305.85

合計1200005006.8

項目集成電路封裝過程中,對包封過后裸漏的電路引線進行電鍍鍍錫處理,以防

止氧化、以增加引腳抗蝕性,提高可焊性。本項目產(chǎn)品型號包括SOT23、SOP等系列

產(chǎn)品,兩種型號產(chǎn)品使用同種引線框原料,引線框架載體長度約為238mm,寬度約

70mm,單片引線框架面積約0.034m2(雙面),經(jīng)塑封后引線約60%包裹在塑封膠

內(nèi),對40%裸露的面積進行鍍錫,項目共使用引線框500萬片,電鍍錫總面積約6.8

萬n?。電鍍層厚度8?15um,平均厚度

6

2.3主要原輔材料

表2.3-1項目主要原輔材料消耗情況一覽表

序號名稱單位年耗量主要組分/規(guī)格/指標(biāo)用途

1晶圓萬片/a5硅核心

2引線框架萬片/a500鐵銅合金載片

3銅線km/a20000Cu含量》99%引線

4UV膜萬片/a5感光材料研磨保護

5藍膜萬片/a5氯乙烯膜劃片保護

銀粉65-75%、環(huán)氧樹脂(雙

組分)10~20%、乙二醇丁酸

6導(dǎo)電膠t/a1貼片

封醋酸酯1~5%、脂肪族固化

裝劑5-10%

環(huán)氧樹脂(雙組分)

5-20%,三甲氧基甲硅烷基

7封膠料t/a24模壓塑封

丙醇0.01%、硅微粉填料

70-90%

三乙醉胺50%、去離子水

8去毛刺液t/a1.8除引腳殘膠

10%

打線鍵合、

9氮氣萬m3/a72自制,氮氣發(fā)生器制備

保元件

10氫氣萬m3/a2.88自制,氫氣發(fā)生器制備打線鍵合

11除油劑t/a1.220~50%氫氧化鉀除油

12過硫酸鈉t/a0.9640?70%化學(xué)去氧化

13甲基磺酸t(yī)/a2.52945g/L預(yù)浸/電鍍錫

14甲基磺酸錫t/a1.2300g/L電鍍錫

添加劑聚烷基乙二醇電鍍錫

15線t/a0.96

16錫球t/a2.8Sn>99%電鍍錫

17硫酸t(yī)/a0.8420?30%中和/后處理

18甲基磺酸t(yī)/a1.820-75%退鍍

19水m3/a19023

能源

20電萬kwh/a0.12

2.4主要設(shè)備情況

表2.4-1公司主要設(shè)備情況一覽表

序號名稱規(guī)格/長X寬X高數(shù)量

1貼膜機NITT01

2晶圓探針介Tsk10

3研磨機Tsk1

4劃片機DISCO10

5貼片機ASM30

7

序號名稱規(guī)格/長X寬X高數(shù)量

6熱超聲電同絲鍵合機ASM60

7塑封用型模Sk4

塑封機系統(tǒng)

8排片機朗誠4

9化學(xué)軟化槽400X530X560mm4

10三級逆流漂洗槽370X350X510mm1

化學(xué)軟化工序

11中和槽370X350X510mm1

(手工提籃式)

12二級逆流漂洗槽370X350X510mm1

13甩干烘干電加熱1

14上料/1

15電解除油槽960X700X420mm1

16水噴淋960X480X420mm(母槽)1

17高壓水噴淋槽960X480X420mm(母槽)1

18化學(xué)去氧化槽960X800X420mm1

19水噴洗槽960X400X420mm(母槽)1

20水噴淋960X400X420mm(母槽)1

電解活化(預(yù)浸)

21960X500X420mm1

22電鍍槽960X3800X420mm5

23水噴洗槽960X400X420mm(母槽)1

24水噴淋960X400X420mm(母槽)1

電鍍線

后處理槽(防變

25(連續(xù)鍍錫環(huán)形960X600X420mm1

色)

線)

26水噴淋960X400X420mm(母槽)1

27中和槽960X600X420mm1

28水噴淋槽960X600X420mm(母槽)1

29超聲波熱水浸槽960X600X420mm(母槽)1

30熱水噴淋槽960X600X420mni(母槽)1

31吹干/1

32烘干電加熱1

33下料/1

34電解退鍍槽960XI400X420mm1

35水噴洗槽960X400X420mm(母槽)1

36水噴淋960X400X420mm(母槽)1

37吹干/1

38切筋機朗誠4

39分選編帶機深科達8

40烤箱/10

41測試機/8

42打標(biāo)機深科達8

43打包機8

44冷卻塔2

45空壓機5

8

序號名稱規(guī)格/長X寬X高數(shù)量

46氮氣發(fā)生器1

47氫氣發(fā)生器中船重工1

48純水裝置2t/h1套

2.5生產(chǎn)工藝

2.5.1整體工藝流程

本項目主要為集成電路的封裝和測試,產(chǎn)品形式有SOT和SOP,項目主要生產(chǎn)工

藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖見圖251-1,其中塑封工序后除引腳表面殘膠具體工藝流程及產(chǎn)

污環(huán)節(jié)見圖252-1,電鍍錫具體工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)見圖253-1。

貼膜、減薄、貼膜、劃片、

沖洗、脫膜沖洗、撕膜

?|

S1不合格品W1-1廢水W1-2廢水S4廢導(dǎo)電膠G1有機廢氣S5廢銅線

S2廢UV膜S3廢藍膜

甲基磺酸、甲基去毛刺

磺酸錫、硫酸等液、硫酸封膠料

產(chǎn)品入庫

圖2.5.L1項目工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖

中測:對廠家提供的晶圓圓片用探針進行測試,并對不良品打點標(biāo)記。該工序產(chǎn)

生不合格品Slo

減薄:硅晶片上電路層的有效厚度一般為300um,為了保證其功能,有一定的襯

底支持厚度,因此硅片的一般厚度為900um。襯底材料是為了進行背面減薄,使其達

到所需要的厚度,然后再對硅片進行切割加工,形成一個個減薄的裸芯片。減薄前,

在硅晶片正面貼上UV膜對其進行保護,硅片背面減薄是利用純水為介質(zhì),純水通過

計量泵泵入研磨輪中,利用研磨輪磨頭對其背面進行研磨,直至設(shè)定的厚度,研磨后

通過曝光脫膜。貼膜、研磨、脫模、沖洗均在同一臺設(shè)備(研磨機)中進行。減薄在

9

封閉設(shè)備內(nèi)進行并采用水磨,故無粉塵污染物產(chǎn)生。該工序產(chǎn)生減薄廢水W1-1、廢

UV膜S2。

劃片:將晶圓片按照晶粒大小和布局由劃片機切割成單一個體(芯片)。為保護

晶圓表面電路,在切割前在晶圓表面貼藍膜進行保護,切割完后撕膜。劃片機根據(jù)工

藝要求對晶圓片進行切割,同時使用水為介質(zhì)進行沖洗,以降低圓片溫度,并沖走劃

片過程中產(chǎn)生的少量硅屑。貼膜、切割、撕膜、沖洗均在同一臺設(shè)備(劃片機)中進

行。劃片在封閉設(shè)備內(nèi)進行且劃片過程中采用水沖洗,故無粉塵污染物產(chǎn)生。該工序

產(chǎn)生劃片廢水W1-2、廢藍膜S3。

貼片:將引線框架供料于貼片機,在相應(yīng)位置點上導(dǎo)電膠(銀膠),貼裝上述工

序成品芯片。該工序?qū)y膠點涂到引線框架上,再將芯片的被焊面與銀膠接觸壓實。

該工序產(chǎn)生少量廢導(dǎo)電膠S4o

烘烤:烘烤是貼片完成后的一個輔助工序。烘烤的目的是將導(dǎo)電膠(銀膠)烘烤

固化,使芯片和載體牢固粘結(jié),烘烤溫度175℃,烘烤時間2h,該溫度條件下導(dǎo)電膠

中環(huán)氧樹脂成分進行交聯(lián)固化,部分樹脂發(fā)生分解、降解,從而產(chǎn)生少量游離的單體

VOCs廢氣。該工序產(chǎn)生有機廢氣G1。

打線:即引線鍵合,打線'溫度120~200℃,打線時間0.5~ls。以銅線為引線,通

過熱超聲鍵合技術(shù)連接芯片電極和引線框架的內(nèi)引線,構(gòu)成電回路。打線時充入氫氮

混合氣趕走氧氣,目的是為了去除氧氣進行氧化層還原與保護作用,防止打線過程產(chǎn)

品氧化。該工序產(chǎn)生少量廢銅線S5。

模壓塑封、固化:通過模具將固態(tài)封膠料加熱后注入每個引線框架芯片位中,并

將其封裝起來以保護芯片。塑料封裝使用的材料為熱固性聚合物,主要為環(huán)氧樹脂、

硅膠樹脂、硅微粉填料等組成。該工藝將已貼裝芯片并完成引線鍵合的框架置于模具

中,再在預(yù)熱爐中加熱(預(yù)熱溫度在90~95℃之間),然后放進轉(zhuǎn)移成型機的轉(zhuǎn)移罐

中。在轉(zhuǎn)移成型活塞的壓力下,塑封料被液壓機頂桿擠壓到澆道中,并經(jīng)過澆口注入

模具成型(在整過過程中,模具溫度保持在170~175℃)。塑封料在模具中保壓約2

分鐘后,模塊的硬度足以達標(biāo)并被頂出,但是聚合物的固化并未全部完成。由于材料

的固化程度嚴重影響材料的玻璃化溫度及熱應(yīng)力,所以塑封后需要在烘箱進行后固

化、熱老化處理,促使材料全部固化達到一個溫度的狀態(tài),以提高元器件的可靠性,

溫度170775C,固化時間約6h。該溫度條件下塑封料中環(huán)氧樹脂成分進行交聯(lián)固

10

化,部分樹脂發(fā)生分解、降解,從而產(chǎn)生少量游離的單體VOCs廢氣。該工序產(chǎn)生有

機廢氣G2和廢膠料S6。

化學(xué)軟化:對塑封后引線腳表面進行殘膠清除,詳見332。

電鍍錫:對引線框進行電鍍錫處理,詳見3.3.3。

切筋:切除引線框上連接引腳的橫筋以及邊框,經(jīng)切筋機將半成品沖切成型,使

其外觀、站立高及共面度符合產(chǎn)品要求。該工序會產(chǎn)生少量切筋邊角料S10。

測試:對成型后的產(chǎn)品進行測試和記錄,測試后進入編帶、包裝工序。

編帶、包裝:將測試合格的產(chǎn)品放入載帶并封蓋完成,包裝后即為成品。

2.5.2化學(xué)軟化(除引腳殘膠)

產(chǎn)品模壓塑封后采用化學(xué)軟化工藝對塑封后引線腳表面殘余塑封膠毛刺進行清

除,加入中溫去毛刺液,溫度控制在70℃,時間控制45min~60min,軟膠后采用三級

逆流水洗,補充10%體積比稀硫酸進行中和,常溫下幾乎無硫酸霧產(chǎn)生,中和后采用

二級逆流水洗,軟膠工序完成。

電解軟化主要工藝參數(shù)和操作條件詳見表252-1。

表2.5.2”化學(xué)軟化主要工藝參數(shù)和操作條件一覽表

工序溫度/℃加熱方式運行時間電流密度/A?dm-2槽液主要成分

去毛刺液:三乙醇胺

化學(xué)軟化70電加熱45~60min—

31?49%

水洗x3常溫———三級逆流水洗

中和常溫—3~4min一硫酸20-30%

水洗x2常溫一—一二級逆流水洗

烘干100電加熱Imin——

污染物主要為:

廢水:去毛刺漂洗廢水W2-1,中和漂洗廢水W2-2。

固廢:化學(xué)軟化廢槽液S7-1,中和廢槽液S7-2。

11

去毛刺液

學(xué)

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