中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程JJG903—1995激光標(biāo)準(zhǔn)衰減器StandardAttenuatorsforLaser1995-10-19發(fā)布1996-03-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布JJG903—1995激光標(biāo)準(zhǔn)衰減器檢定規(guī)程JJG903—1995VerificationRegulationofStandardAttenuatorsforLaser本檢定規(guī)程經(jīng)國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局于1995年10月19日批準(zhǔn),并自1996年03月01日起施行。歸口單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院起草單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院本規(guī)程技術(shù)條文由起草單位負(fù)責(zé)解釋JJG903—1995本規(guī)程主要起草人:朱弟英(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院)參加起草人:張巧生(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院)JJG903—1995目錄一概述…………………(1)技術(shù)要求……………(1)檢定條件……………(2)檢定項(xiàng)目和檢定方法………………(2)檢定結(jié)果的處理和檢定周期………(4)檢定證書背面格式………………(5)二三四五附錄ⅠJJG903—1995激光標(biāo)準(zhǔn)衰減器檢定規(guī)程本檢定規(guī)程適用于新制造、修理后和使用中的激光標(biāo)準(zhǔn)衰減器的檢定。主要測(cè)量范圍為:衰減比(透射比的倒數(shù))1~104;光譜范圍:吸收型();調(diào)制型0.35~3.0mμ限連續(xù)光,無波長(zhǎng)選擇性。一概述激光標(biāo)準(zhǔn)衰減器(以下簡(jiǎn)稱衰減器)的主要用途1將激光束的功率、能量衰減到所需要的范圍。擴(kuò)展各類激光測(cè)量?jī)x器的量程。1.11.21.31.4檢驗(yàn)激光測(cè)試儀器的非線性。激光測(cè)距技術(shù)、激光安全防護(hù)等。激光標(biāo)準(zhǔn)衰減器的工作類型及衰減比定義2衰減器類型很多,例如:吸收型、介質(zhì)反射型、調(diào)制型等。衰減前的激光功率(或能量)與衰減后的激光功率(或能量)之比,稱為衰減器的衰減比。即/(或A=PP0/)A=QQ0/τ=1A式中:A———衰減器的衰減比;()———衰減器前的功率(能量);PQ00P(Q)———衰減器后的功率(能量);τ———衰減器的透射比。激光標(biāo)準(zhǔn)衰減器的衰減量D按下式計(jì)算:D=10lgAD的單位為dB。二技術(shù)要求外觀3吸收型衰減器要求表面光潔、無霉變、無傷痕、無氣泡、無結(jié)斑等痕跡。介質(zhì)反射型衰減器,要求鍍膜無劃痕、無潮解、發(fā)霉和鍍膜脫落等現(xiàn)象。3.13.23.3調(diào)制型衰減器,要求盤面轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn),開口角頂點(diǎn)必須通過圓心,刀口厚<1mm,并要平、直,轉(zhuǎn)速均勻等。主要技術(shù)指標(biāo)4吸收型和反射型衰減器的不均勻性:用光斑直徑小于?3mm的激光垂直照射,4.1在衰減器表面中心到邊緣23/處每點(diǎn)與中心點(diǎn)最大相對(duì)偏差<0.5%。檢定不確定度:衰減比<103時(shí),不確定度<1%;衰減比>103時(shí),不確定度4.2<2%。1JJG903—1995物理、化學(xué)性能穩(wěn)定,衰減比年變化率應(yīng)不超過2%。4.34.4在測(cè)試工作需要的功率、能量范圍內(nèi),能承受相應(yīng)的功率、能量密度。三檢定條件環(huán)境條件5室溫(20±5)℃;相對(duì)濕度<80%。實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持潔凈,避免強(qiáng)光照射。5.15.25.35.4實(shí)驗(yàn)室必須無明顯振動(dòng)、沖擊、煙霧、灰塵、電磁干擾等。檢定設(shè)備必須滿足表1要求。表1檢定儀器設(shè)備序號(hào)名稱規(guī)格要求性能數(shù)量各11激光器633mm;1.06μm等穩(wěn)定性<5%非線性<0.5%非線性<1.0%非線性<0.5%非線性<1%123456激光功率計(jì)(光電型)(1×10-8~2×10-3)W激光功率計(jì)(光電型)(1×10-8~2×10-3)W1激光能量計(jì)激光能量計(jì)直流放大器(10-4~1)J(10-4~1)J分辨力0.1μV112最小可測(cè)10μV直流數(shù)字電壓表準(zhǔn)確度0.03%±2個(gè)字72并具有峰值保持功能電子計(jì)算機(jī)衰減器組分束器通用89111A=3~1000約1°楔形分束器相應(yīng)波長(zhǎng)、帶寬10干涉濾光片各211112<200×10-10m交流穩(wěn)壓電源穩(wěn)定度≤0.5%3kW四檢定項(xiàng)目和檢定方法外觀檢查6用大于5倍的放大鏡觀察吸收型、介質(zhì)反射型衰減器,看是否符合3.1,3.2款外觀規(guī)定。用目視檢查調(diào)制型衰減器是否符合3.3款的外觀規(guī)定。激光標(biāo)準(zhǔn)衰減器衰減比A的檢定方法7如果激光器在10min內(nèi),穩(wěn)定性<1%時(shí),則可用直接測(cè)量法,如圖1所示,選7.1擇相應(yīng)激光器和干涉濾光片,用衰減器組調(diào)節(jié)激光功率或能量在合適的范圍。2JJG903—1995圖1直接測(cè)量法簡(jiǎn)圖1—激光器;2—衰減器組;3—待檢衰減器;4—干涉濾光片;5—光接收器;6—檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)熱激光器和檢測(cè)系統(tǒng),同時(shí)調(diào)整激光束與接收面中心法線重合。光路中無待檢衰減器時(shí),檢測(cè)系統(tǒng)顯示為U0。7.1.17.1.27.1.3將待檢衰減器放入光路,光束通過衰減器中點(diǎn),并使衰減器中心法線與光束成1°~3°放置,檢測(cè)系統(tǒng)顯示U,重復(fù)3次,取平均值得U0,U,此衰減器的減減比A則為:/A=UU0如果激光器在10min內(nèi)穩(wěn)定性<5%時(shí)則可用分束監(jiān)測(cè)法,如圖2所示。7.27.2.1重復(fù)7.1.1項(xiàng)。圖2分束監(jiān)測(cè)法簡(jiǎn)圖1—激光器;2—衰減器組;3—分束器;4—待檢衰減器;5,11—干涉濾光片;6,10—接收系統(tǒng);7,9—數(shù)字電壓表;8—通用計(jì)算機(jī)(或比率計(jì))7.2.27.2.3調(diào)節(jié)分束器3,以小于5°的反射角將激光束投射到監(jiān)測(cè)探測(cè)器10上。光路中無待測(cè)衰減器時(shí),主光路與分束光路檢測(cè)系統(tǒng)分別顯示U0U'0和,取N(3≤N≤10)次平均,得出平均分束比:NU1U0n0R0==∑NU'0U'0nn=17.2.4N3≤N≤10)次平均,得出平將待檢衰減器4放入光路,重復(fù)7.1.3項(xiàng),取(均分束比:NU1R==Un∑NU'U'nn=1待檢衰減器的衰減比則為:/A=RR0逐級(jí)比較法測(cè)量高倍衰減器:當(dāng)A>1000時(shí),常常采用這種方法,可減少系統(tǒng)7.3非線性帶來的誤差。檢定步驟與7.2.1~7.2.4項(xiàng)相同,只是在進(jìn)行7.2.3項(xiàng)步驟時(shí),在主光路中加放一個(gè)衰減比A0為已知的過渡片(過渡片A0一般比待檢片小一、二個(gè)3JJG903—1995數(shù)量級(jí)),此時(shí)待檢衰減器的衰減比為:A=A0R0R衰減器不均勻性檢定8步驟如7.2.4項(xiàng),只測(cè)出各點(diǎn)分束比Rn,激光束對(duì)準(zhǔn)衰減器中心點(diǎn)及中心點(diǎn)到邊緣23/處上下左右4點(diǎn),看其分束比相對(duì)變化,相對(duì)不均勻性則為:Rn-Rn0Δs=×100%Rn0式中:———上下左右各點(diǎn)平均分束比;RnRn0———衰減器中點(diǎn)平均分束比。五檢定結(jié)果的處理和檢定周期