中華人民共和國國家計量技術規范

JJF2067—2023

X射線能譜儀校準規范

CalibrationSpecificationforEnergy-DispersiveX-raySpectrometers

2023-10-12發布2024-04-12實施

國家市場監督管理總局發布

JJF2067—2023

射線能譜儀校準規范??

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CalibrationSpecificationforJJF20672023

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Energy-DispersiveX-raySpectrometers

歸口單位全國新材料與納米計量技術委員會

:

主要起草單位山東省計量科學研究院

:

中國計量科學研究院

蘇州市計量測試院

參加起草單位上海市計量測試技術研究院

:

本規范委托全國新材料與納米計量技術委員會負責解釋

JJF2067—2023

本規范主要起草人

:

曹叢山東省計量科學研究院

()

李適中國計量科學研究院

()

王云祥蘇州市計量測試院

()

參加起草人

:

李旭中國計量科學研究院

()

趙東升山東省計量科學研究院

()

施玉書中國計量科學研究院

()

周瑩上海市計量測試技術研究院

()

JJF2067—2023

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術語和計量單位

3………………………(1)

射線能譜儀

3.1X………………………(1)

譜峰半高寬

3.2………………………(1)

定量分析

3.3……………(1)

標準物質

3.4……………(1)

過壓比

3.5………………(1)

死時間

3.6………………(2)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(2)

能量分辨率

5.1…………(2)

元素含量測量的相對示值誤差

5.2……………………(3)

元素含量測量的重復性

5.3……………(3)

校準條件

6………………(3)

環境條件

6.1……………(3)

測量標準及其他設備

6.2………………(3)

校準項目和校準方法

7…………………(4)

校準前準備

7.1…………(4)

能量分辨率

7.2…………(4)

元素含量測量的相對示值誤差

7.3……………………(4)

元素含量測量的重復性

7.4……………(5)

校準結果表達

8…………(5)

復校時間間隔

9…………(5)

附錄射線能譜儀元素含量測量的相對示值誤差測量不確定度評定示例

AX……(6)

附錄射線能譜儀校準記錄格式

BX…………………(8)

附錄射線能譜儀校準證書內頁格式

CX()………(10)

Ⅰ

JJF2067—2023

引言

通用計量術語及定義國家計量校準規范編寫規則

JJF1001《》、JJF1071—2010《》

和測量不確定度評定與表示共同構成支撐本規范制定工作的基礎

JJF1059.1—2012《》

性文件本規范主要參考了微束分析能譜法定量分析

。GB/T17359—2012《》、

微束分析電子探針顯微分析射線能譜儀主要性能參數及核查

GB/T20726—2015《X

方法微束分析電子探針顯微分析術語

》、GB/T21636—2021《(EPMA)》、

微束分析掃描電鏡能譜儀定量分析參數的測定方法等相關國

GB/T25189—2010《》

家標準內容

。

本規范為首次發布

。

Ⅱ

JJF2067—2023

X射線能譜儀校準規范

1范圍

本規范適用于基于掃描電子顯微鏡或者電子探針的射線能譜儀的校準

X。

2引用文件

本規范引用下列文件

:

國家計量校準規范編寫規則

JJF1071

微束分析電子探針顯微分析射線能譜儀主要性能參數及

GB/T20726—2015X

核查方法

微束分析電子探針顯微分析術語

GB/T21636—2021(EPMA)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規范

,()。

3術語和計量單位

和界定的及下列術語和定義適用于本規范

GB/T20726—2015GB/T21636—2021。

射線能譜儀

3.1Xenergy-dispersiveX-rayspectrometer;EDS

同時記錄整個射線譜來測定射線強度作為輻射能量函數的裝置

X,X。

注:射線能譜儀包括固態探測器、前置放大器和脈沖處理器。探測器將射線光子能轉換為

XX

電脈沖,并經前置放大器進行信號放大。脈沖處理器根據波幅將脈沖分類并形成射線強

X

度對能量的直方圖分布。

來源有修改

[:GB/T20726—2015,3.1,]

譜峰半高寬

3.2fullpeakwidthathalfmaximum;FWHM

譜峰扣除背底后強度最高值之半處的峰寬度單位為電子伏特

,(eV)。

注:最大峰強度是通過擬合相應的譜峰所有通道來測定,