ICS7715099

CCSH.68.

中華人民共和國國家標準

GB/T23611—2023

代替GB/T23611—2009

金及金合金靶材

Goldandgoldalloytargets

2023-08-06發布2024-03-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T23611—2023

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件代替金靶材與相比除結構調整和編輯性改動

GB/T23611—2009《》,GB/T23611—2009,

外主要技術變化如下

,:

增加了術語和定義一章見第章

a)“”(3);

增加了及合金靶材品種見

b)AuGeAuGeNi(4.1.2);

增加了結構形式及供貨狀態見

c)(4.1.4、4.1.5);

增加了及合金靶材技術要求和試驗方法見

d)AuGeAuGeNi(5.1、6.1);

增加了金靶材化學成分表見

e)(5.1);

增加了靶材焊接質量要求見

f)(5.5);

更改了金靶材外形尺寸及允許偏差見年版的

g)(5.6,20093.4);

增加了矩形靶材外形尺寸及允許偏差要求見

h)(5.6)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國有色金屬工業協會提出

。

本文件由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本文件起草單位有研億金新材料有限公司北京有色金屬與稀土應用研究所有限公司貴研鉑業

:、、

股份有限公司紫金礦業集團黃金冶煉有限公司有研資源環境技術研究院北京有限公司深圳市眾

、、()、

誠達應用材料科技有限公司

。

本文件主要起草人羅瑤呂保國江軒王鵬黃曉猛竇程亮關靜羅遠輝段華英劉滿門朱武勛

:、、、、、、、、、、、

張博厚林烽先吳衛煌黃勇彪

、、、。

本文件于年首次發布為金靶材本次為第一次修訂

2009GB/T23611—2009《》,。

Ⅰ

GB/T23611—2023

金及金合金靶材

1范圍

本文件規定了金及金合金靶材的產品分類技術要求試驗方法檢驗規則及標志包裝運輸貯存

、、、、、、

及隨行文件和訂貨單內容

。

本文件適用于半導體電子器件用金及金合金靶材以下簡稱靶材

(“”)。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

金屬平均晶粒度測定方法

GB/T6394

金屬板材超聲板波探傷方法

GB/T8651

金化學分析方法金量的測定火試金法

GB/T11066.1

金化學分析方法硅量的測定鉬藍分光光度法

GB/T11066.10

金化學分析方法第部分鎂鉻錳鐵鎳銅鈀銀錫銻鉛鉍含量的

GB/T11066.1111:、、、、、、、、、、、

測定電感耦合等離子體質譜法

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077

所有部分高純金化學分析方法

GB/T25934()

濺射靶材背板結合質量超聲波檢驗方法

YS/T837-

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

靶材target

在濺射沉積技術中的陰極部分該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子原子或離子的形式

,、

脫離陰極而在陽極表面沉積

。

注靶材由靶坯和背板組成

:。

32

.

靶坯targrtblank

陰極上用作濺射材料的材料

。

33

.

背板backingplate

用來支撐或固定靶材的材料