清洗機(jī)原理及設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹清洗機(jī)原理及設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹清洗目的及環(huán)境要求目的：基板經(jīng)過切割裂片后，在玻璃表面容易殘留玻璃碎屑，清洗的主要目的是在短時間內(nèi)將玻璃碎屑沖掉，避免玻璃屑重新附著在基板上，造成玻璃異物，不容易去除。環(huán)境要求：①環(huán)境溫度：22+2℃，相對濕度：45%+10%；②潔凈等級：5000級，與相鄰加工區(qū)保持微正壓，與相鄰檢查區(qū)保持5Pa微負(fù)壓。2清洗目的及環(huán)境要求目的：基板經(jīng)過切割裂片后，在玻璃表面容易殘清洗工藝流程WDT：預(yù)濕機(jī)CLE1：輸入傳送帶CLE2：盤刷清洗CLE3：超聲波清洗CLE4：二流體清洗1CLE5：滾刷清洗CLE6：二流體清洗2CLE7：最終噴淋CLE8：風(fēng)刀干燥CLE9：輸出傳送帶3清洗工藝流程WDT：預(yù)濕機(jī)3WDT預(yù)濕機(jī)預(yù)濕機(jī)的作用：①對玻璃進(jìn)行預(yù)濕；②對研磨后的玻璃進(jìn)行抽檢；③投入玻璃進(jìn)行二次清洗。預(yù)濕機(jī)的結(jié)構(gòu)：機(jī)架、傳送滾輪、噴淋裝置、護(hù)罩、水槽、升降機(jī)構(gòu)。水平傳送滾輪（小滾輪）：直徑60mm。抽檢傳送滾輪（大滾輪）：直徑150mm。小滾輪材質(zhì)：UPE。大滾輪材質(zhì)：POM。升降機(jī)構(gòu)是由氣缸帶動機(jī)架升降，旁邊有4個導(dǎo)向軸，上面是大滾輪。噴淋管上面7排，下面2排水管，由1#水箱供水。共有4個傳感器：入口、出口、中間兩側(cè)。超高分子鏈聚乙烯聚甲醛4WDT預(yù)濕機(jī)預(yù)濕機(jī)的作用：①對玻璃進(jìn)行預(yù)濕；②對研磨后的玻璃DWT抽檢（1）水平傳送部分：通過電機(jī)減速機(jī)帶動大滾輪轉(zhuǎn)動，水平傳送與預(yù)濕機(jī)連接處設(shè)有小滾輪過渡。（2）翻轉(zhuǎn)部分：通過左右端2個汽缸帶動齒條直線運(yùn)動來帶動齒輪轉(zhuǎn)動，從而帶動機(jī)架翻轉(zhuǎn)73°，（翻轉(zhuǎn)架子上裝有2個光電傳感器檢測玻璃），架子下部設(shè)有2個緩沖器。研磨機(jī)WDT清洗機(jī)DWT5DWT抽檢（1）水平傳送部分：通過電機(jī)減速機(jī)帶動大滾輪轉(zhuǎn)動，預(yù)濕機(jī)及DWT抽檢示意圖進(jìn)入傳感器抽檢傳感器二次投入傳感器大滾輪輸出傳感器過渡小滾輪翻轉(zhuǎn)架對射光電傳感器玻璃輸入玻璃輸出抽檢玻璃輸出投入6預(yù)濕機(jī)及DWT抽檢示意圖進(jìn)入傳感器抽檢傳感器二次投入傳感器大預(yù)濕機(jī)抽檢傳送流程預(yù)濕機(jī)抽檢傳送動作流程：

玻璃通過預(yù)濕機(jī)需要抽檢時，經(jīng)過入口磁性傳感器傳送帶開始減速，當(dāng)玻璃經(jīng)過中間一側(cè)的磁性傳感器時，傳送滾輪停止，同時氣缸帶動機(jī)架上升20mm停止，垂直傳送滾輪開始運(yùn)行，此傳感器檢測到玻璃離開后，機(jī)架開始下降，回到原位，水平傳送帶又開始水平輸送玻璃。7預(yù)濕機(jī)抽檢傳送流程預(yù)濕機(jī)抽檢傳送動作流程：7輸入傳送帶（CLE1）（1）傳送帶設(shè)有定位裝置，兩側(cè)各1個汽缸定位玻璃。（2）滾輪的材質(zhì)是尼龍，擋邊輪材質(zhì)是UPE。（3）設(shè)有2組滾刷，上下各2排，滾刷轉(zhuǎn)動方向與玻璃前進(jìn)方向相反。（4）傳送帶出口處設(shè)有1組海綿滾筒，抹干玻璃上的水份。（5）噴淋用的是6#水箱的水，水經(jīng)10μm過濾器進(jìn)行過濾。工作原理：玻璃進(jìn)入輸送傳送帶，上下各7排噴淋系統(tǒng)對玻璃進(jìn)行初始清洗，三菱的變頻電機(jī)驅(qū)動軸上的斜齒輪組來帶動傳送帶，當(dāng)磁性傳感器檢查到玻璃通過時，兩側(cè)的汽缸驅(qū)動定位塊對玻璃定位，來矯正玻璃的位置。8輸入傳送帶（CLE1）（1）傳送帶設(shè)有定位裝置，兩側(cè)各1個輸入傳送帶結(jié)構(gòu)示意圖其結(jié)構(gòu)示意圖如下：磁性傳感器Substrate9輸入傳送帶結(jié)構(gòu)示意圖其結(jié)構(gòu)示意圖如下：磁性傳感器Substr盤刷清洗（CLE2）設(shè)備結(jié)構(gòu)：盤刷區(qū)共有4組盤刷，盤刷的間距和轉(zhuǎn)速都可以調(diào)節(jié)。盤刷區(qū)還有噴淋裝置，噴淋裝置上的噴嘴方向可以調(diào)節(jié)，上有壓力表和調(diào)節(jié)閥門，還有觀測流量計。盤刷清洗水需加入清洗劑，由2，3#水箱（一用一備）提供，由于加入了清洗劑廢水不能被其他區(qū)域利用，只能自身循環(huán)利用，且水需要加熱到40~45℃。清洗劑：PK-LCG211，水的PH值為12~14。10盤刷清洗（CLE2）設(shè)備結(jié)構(gòu)：10盤刷清洗刷毛：Φ=0.1mm，尼龍材質(zhì)。上下盤刷：交叉1~2mm。升降調(diào)節(jié)方式：錐齒輪+螺旋升降+前后同步。驅(qū)動方式：交流變頻電機(jī)（滾輪驅(qū)動），盤刷軸驅(qū)動為直流電機(jī)。盤刷：直徑85mm。轉(zhuǎn)速：200～300r/min（可調(diào)）。11盤刷清洗刷毛：Φ=0.1mm，尼龍材質(zhì)。11盤刷傳送帶示意圖盤刷盤刷盤刷12盤刷傳送帶示意圖盤刷盤刷盤刷12盤刷清洗水箱示意圖（CLE3）高液位傳感器低液位傳感器濃度測量儀溫度傳感器加熱管取樣管13盤刷清洗水箱示意圖（CLE3）高液位傳感器低液位傳感器濃度測超聲波清洗（CLE4）超聲波介紹：（1）有7個振板，每個振板共有16個振子,每個振子功率50W。（2）超聲波發(fā)生的頻率為40-90KHZ。頻率、功率可調(diào)。

（3）水箱有兩個一用一備（4#、5#水箱）。

（4）水箱有加熱裝置、濃度、溫度傳感器。（5）水箱中有4個浮球式傳感器檢測液位。

（6）強(qiáng)堿性清洗劑，PH值12-14。

（7）1個清洗劑箱。注：玻璃是浸泡在水中進(jìn)行傳送和清洗的。14超聲波清洗（CLE4）超聲波介紹：14超聲波傳送帶示意圖

由超聲波發(fā)生器發(fā)出的高頻振蕩信號，通過換能器轉(zhuǎn)換成高頻機(jī)械振蕩而傳播到介質(zhì)—清洗溶劑中，超聲波在清洗液中疏密相間的向前輻射，使液體流動而產(chǎn)生數(shù)以萬計的直徑為50μm-500μm的微小氣泡，這些氣泡在超聲波縱向傳播的負(fù)壓區(qū)形成、生長，而在正壓區(qū)迅速閉合，在這種被稱之為空穴作用的過程中，氣泡閉合可形成幾百度的高溫和超過1000個氣壓的瞬間高壓，連續(xù)不斷產(chǎn)生瞬間高壓就像一連串小“爆炸”不斷地沖擊物體表面，使物體的表面及縫隙中的污垢迅速剝落，從而達(dá)到物件表面凈化的目的。超聲波水槽注：水槽內(nèi)有兩個液位器，以保證水的液面超過玻璃的表面，玻璃浸泡在水中清洗B面。15超聲波傳送帶示意圖由超聲波發(fā)生器發(fā)出的高頻振蕩信號，通過換二流體一清洗（CLE5）二流體清洗介紹：（1）二流體組成:潔凈壓縮空氣（CDA）和純水（DIWater）的混合體。

（2）CDA過濾器0.01um、DIWater過濾器1.2um。（3）上下各1個二流體噴淋體，長度830mm，二流體噴體上進(jìn)入處有5個孔，分別通入CDA和DIWater，噴口處為0.1mm液刀口。

（4）玻璃通過二流體清洗后，有噴淋管對玻璃進(jìn)行清洗，上面有4排噴水管，下面有3排噴水管，每排6個噴嘴。（5）二流體1清洗用水利用的滾刷使用后的廢水，7號水箱供水；二流體2利用的是最終噴淋使用后的廢水，9號水箱供水。

16二流體一清洗（CLE5）二流體清洗介紹：16通氣通水170mm二流體一噴淋體結(jié)構(gòu)示意圖傾斜約10°，傾斜角度可調(diào)。17通氣通水170mm二流體一噴淋體結(jié)構(gòu)示意圖傾斜約10°，傾斜滾刷清洗（CLE6）滾刷段介紹：一共設(shè)有3組滾刷，

上下有各7排噴淋嘴。滾刷上、下間距可調(diào)。設(shè)有一個水箱，供水管安裝有0.45μm過濾器，裝有4個光電液位傳感器。清洗水是利用二流體2使用后的廢水，8號水箱供水。滾刷轉(zhuǎn)速：400~500r/min。1918滾刷清洗（CLE6）滾刷段介紹：1918二流體二清洗（CLE6）

二流體二清洗介紹：

二流體清洗大于2μm的污染物二流體組成:潔凈壓縮空氣（CDA）和純水（DIWater）的混合體，上下二流體噴嘴間距80mm左右。二流體二上面4排下面3排噴淋管。上下各1個二流體噴淋體，二流體噴體上進(jìn)入處有5個孔，分別通入CDA和DIWater，噴口處為0.1mm液刀口。

二流體二利用的是最終噴淋使用后的水，9號水箱供水。

二流體噴體CDADIWater19二流體二清洗（CLE6）二流體二清洗介紹：二流體噴體CDA最終噴淋（CLE7）最終噴淋介紹：（1）液刀的作用是把玻璃表面上多余的水切出，液刀在噴淋的末端。（2）噴淋裝置上面6排噴嘴，下面有5排噴嘴。（3）10#水箱供水，供水管道安裝有0.2μm過濾器，水箱安裝有加熱裝置，有溫度傳感器，裝有4個光電液位傳感器。（4）清洗是18MΩ超純水，溫度要求40-45℃。（5）用過的超純水經(jīng)過濾后供二流體2使用。20最終噴淋（CLE7）最終噴淋介紹：20風(fēng)刀干燥（CLE8）風(fēng)刀干燥介紹：（1）有兩組風(fēng)刀，風(fēng)刀結(jié)構(gòu)類似于液刀，上下各有一把風(fēng)刀，刀風(fēng)口0.1mm；（2）風(fēng)刀角可調(diào)，每片上都有四個進(jìn)風(fēng)口，風(fēng)刀與水平面的夾角20。（3）為了避免風(fēng)刀吹出的高速氣流在該區(qū)產(chǎn)生渦流，在區(qū)域上安裝了EFU高效空氣過濾器，向下面吹過濾空氣，防止該區(qū)產(chǎn)生渦流。21風(fēng)刀干燥（CLE8）風(fēng)刀干燥介紹：21EFU結(jié)構(gòu)EFU結(jié)構(gòu)示意圖：風(fēng)刀風(fēng)扇HEPA過濾器22EFU結(jié)構(gòu)EFU結(jié)構(gòu)示意圖：風(fēng)刀風(fēng)扇HEPA過濾器22風(fēng)刀干燥結(jié)構(gòu)示意圖由于兩組風(fēng)刀對滾輪軸有一定的阻隔，所以滾輪傳輸需要兩根驅(qū)動軸回風(fēng)管23風(fēng)刀干燥結(jié)構(gòu)示意圖由于兩組風(fēng)刀對滾輪軸有一定的阻隔，所以滾輪輸出傳送帶（CLE9）該區(qū)和輸入傳送帶一樣設(shè)有氣缸定位裝置，另一個功能是設(shè)有離子風(fēng)棒去除玻璃表面的靜電，離子風(fēng)泵采用的是放電針放電，正負(fù)兩種電荷交替使用在玻璃表面中和靜電離子，達(dá)到去靜電的目的。離子風(fēng)泵采用潔凈壓縮空氣供氣。24輸出傳送帶（CLE9）該區(qū)和輸入傳送帶一樣設(shè)有氣清洗機(jī)供水及抽霧示意圖25清洗機(jī)供水及抽霧示意圖25

循環(huán)水系統(tǒng)純水循環(huán)利用：10#水箱供給最終噴淋

最終噴淋回水9#水箱9#水箱供給二流體二二流體二回水8#水箱8#水箱供給滾刷滾刷回水回水7#水箱7#水箱供給二流體一二流體一回水6#水箱6#水箱供給輸入傳送帶輸入傳送帶回水1#水箱1#水箱供給預(yù)濕機(jī)

4#5#水箱供給超聲波

2#3#水箱供給水箱供給盤刷超聲波盤刷各有一個清洗劑補(bǔ)給箱水箱液位計：最高報警位、停止補(bǔ)水位、低位補(bǔ)水位、最低報警位。26

循環(huán)水系統(tǒng)純水循環(huán)利用：26抽霧系統(tǒng)示意圖

壓差表閥門過濾器27抽霧系統(tǒng)示意圖壓差表閥門過濾器27各清洗制程比較清洗過程目的特征毛刷除去有機(jī)物利用界面活性劑產(chǎn)生親水性及親油性除去油脂除去5um以上particle基板便面直接摩擦二流體除去1um~5umparticle利用空氣與水混合后，在基板表面產(chǎn)生氣體爆炸超聲波除去1umparticle利用液體在基板上產(chǎn)生共振效果風(fēng)刀玻璃基板干燥除去表面液體28各清洗制程比較清洗過程目的特征毛刷除去有機(jī)物利用界面活性劑產(chǎn)清洗能動性能指標(biāo)用水要求：①18MΩ（電導(dǎo)率）超