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中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T837—2012

濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法

Standardpracticeforultrasonic

C-scanbondevaluationofsputteringtarget-backingplateassemblies

2012-11-07發(fā)布2013-03-01實(shí)施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T837—2012

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研億金新材料股份有限公司中國計(jì)量科學(xué)研究院航天所

:、、703。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉紅賓尚再艷何金江王欣平熊曉東呂保國江軒朱曉光王永輝

:、、、、、、、、、

何雙起楊平

、。

Ⅰ

YS/T837—2012

濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射用靶材背板結(jié)合質(zhì)量檢驗(yàn)方法的一般要求檢驗(yàn)設(shè)備對(duì)比試塊檢驗(yàn)過程缺

-、、、、

陷評(píng)定及檢驗(yàn)報(bào)告等該方法采用超聲縱波脈沖反射液浸法掃描檢驗(yàn)技術(shù)

,C。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于用中間層材料結(jié)合方式如軟釬焊硬釬焊和環(huán)氧樹脂粘接等的濺射靶材背板結(jié)合

(、)-

面的孔洞未結(jié)合氧化物夾雜等缺陷的檢驗(yàn)其他用途的材料結(jié)合質(zhì)量無損檢測(cè)也可參照使用

、、。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第部分通用技術(shù)條件

GB5226.11:

無損檢測(cè)人員資格鑒定與認(rèn)證

GB/T9445

無損檢測(cè)超聲檢測(cè)用鋼參考試塊的制作與檢驗(yàn)方法

GB/T11259

無損檢測(cè)術(shù)語超聲檢測(cè)

GB/T12604.1

機(jī)床檢驗(yàn)通則第部分在無負(fù)荷或精加工條件下機(jī)床的幾何精度

GB/T17421.11:

機(jī)床檢驗(yàn)通則第部分?jǐn)?shù)控軸線的定位精度和重復(fù)定位精度的確定

GB/T17421.22:

加工中心檢驗(yàn)條件第部分進(jìn)給率速度和插補(bǔ)精度檢驗(yàn)

GB/T18400.66:、

無損檢測(cè)超聲檢驗(yàn)探頭及其聲場(chǎng)的表征

GB/T18694

無損檢測(cè)超聲檢驗(yàn)測(cè)量接觸探頭聲束特性的參考試塊和方法

GB/T18852

變形金屬超聲檢驗(yàn)方法

GJB1580A

無損檢測(cè)人員資格鑒定與認(rèn)證

GJB9712A

加工中心檢驗(yàn)條件第部分線性和回轉(zhuǎn)軸線的定位精度和重復(fù)定位精度檢驗(yàn)

JB/T8771.44:

工業(yè)控制計(jì)算機(jī)系統(tǒng)安裝環(huán)境條件

JB/T9269

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T12604.1。

31

.

超聲波ultrasonicwave

頻率超過人耳可聽范圍的聲波此頻率的下限一般取為

,20kHz。

32

.

縱波longitudinalwave

壓縮波compressionalwave

在介質(zhì)中傳播時(shí)介質(zhì)質(zhì)點(diǎn)的振動(dòng)方向與波傳播方向平行的聲波波型

,。

33

.

探頭probesearchunit

()

電聲轉(zhuǎn)換器件通