中華人民共和國國家計量檢定規程

JJG508—2004

四探針電阻率測試儀

ResistivityMeasuringInstrumentswithFourProbeArrayMethod

-

2004-09-21發布2005-03-21實施

國家質量監督檢驗檢疫總局發布

JJG508—2004

四探針電阻率測試儀檢定規程

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代替JJG508—1987

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Four-ProbeArrayMethod

本規程經國家質量監督檢驗檢疫總局于年月日批準并自

20040921,

年月日起施行

20050321。

歸口單位:全國無線電計量技術委員會

主要起草單位:中國計量科學研究院

參加起草單位:廣州半導體材料研究所

本規程委托全國無線電計量技術委員會負責解釋

JJG508—2004

本規程主要起草人:

魯效明中國計量科學研究院

()

參加起草人:

謝鴻波廣州半導體材料研究所

()

JJG508—2004

目錄

范圍……………………

1(1)

概述……………………

2(1)

計量性能要求…………

3(1)

對電阻率測試儀技術指標的要求…………………

3.1(1)

絕緣電阻的測量和絕緣強度的試驗………………

3.2(2)

通用技術要求…………

4(3)

電阻率測試儀的外觀………………

4.1(3)

電阻率測試儀工作正常性的檢查…………………

4.2(3)

計量器具控制…………

5(3)

檢定條件……………

5.1(3)

檢定項目……………

5.2(5)

檢定方法……………

5.3(5)

檢定結果的處理……………………

5.4(8)

檢定周期……………

5.5(8)

附錄探針壓痕檢定記錄及計算方法………………

A(9)

附錄用電阻率標準樣片整體方法檢定電阻率測試儀的記錄格式………………

B(10)

附錄用標準樣片檢定電阻率測試儀各修正系數表………………

C(11)

附錄分部件檢定四探針電阻率測試儀檢定結果的處理…………

D(12)

附錄四探針電阻率測試儀檢定證書及檢定結果通知書內頁格式………………

E(14)

JJG508—2004

四探針電阻率測試儀檢定規程

1范圍

本規程適用于接觸式測量范圍在-33的四探針電阻率測試儀的

,10Ω·cm~10Ω·cm

首次檢定后續檢定和使用中檢驗對某些多功能的四探針電阻率測試儀或只能測量方

,。

塊電阻四探針測試儀也同樣適用方塊電阻的測量范圍在-24

。10Ω/□~10Ω/□。

本規程不適用于二探針三探針六探針及方型四探針電阻率測試儀的檢定

、、。

2概述

四探針電阻率測試儀以下簡稱電阻率測試儀是用來測量半導體材料及工藝硅

(),

片的電阻率或擴散層及外延層以及絕緣襯底鍍膜層方塊電阻的測量儀器它主要由

,,。

電氣部分和探頭等部分組成自動式測試儀還包括計算機及接口等部分電氣部分一般

。,

包括可調穩流源轉換器數字顯示器換向開關等儀器和部件探頭部分一般包

、A/D、、。

括探頭夾具探頭和樣品臺其原理圖及方框圖如圖和圖所示

、,12。

圖標準樣片檢定電阻率測試儀的原理圖

1

換向開關R標準電阻探針接線無熱電勢開關R被檢標準樣片

K1—;N—;D—;K2—;X—

圖標準樣片檢定電阻率測試儀的方框圖

2

3計量性能要求

對電阻率測試儀技術指標的要求

3.1

各種型號的電阻率測試儀的技術指標應符合出廠技術說明書的要求級

3.1.1