真空技術基礎知識真空技術發展到今天已廣泛的滲透到各項科學技術和生產領域,,,成為真空科,,擴展到低溫超導技術、薄膜技術、表面科學、微電子學、航海工程和空間科學等近代尖端科學技術中來.至于在一般工業中應用實在種類繁多,不勝枚舉..醫藥、制鹽、制糖、食品等工業都廣泛使用真空技術.例如有機物的真空蒸餾,.人們還利用真空中的各種特點,.就連人們日常生活中使用的燈管、暖水瓶、真空除塵器等都離不開真空技術.真空與真空區域的劃分“真空”,氣體分子密度低于該地區大氣壓下的氣體分子密度的稀薄氣體狀2.6870×101910-43.24×101010-133.24×10真空是不存在的。物理特點表1 真空區域的劃分、特點與應用物理特點真空區域分子密度為（個/厘米3）平均自由程（厘米）單分子層形（秒主要應用粗真空105～103帕1019～101610-6～10-3，(d為容器的線R度,下同)粘滯流10-9～10-6真空包裝、真空輸運等。低真空103～10-1帕1016～101310-3～5≈d過渡流10-6～10-3真空蒸餾、真空干燥和冷凍，真空浸漬、真空絕熱、真空焊接等。高真空10-1～10-6帕1013～1095～104>d分子流氣體分子與器壁碰撞10-3～20加速器等。為主。超高真空10-6～10-12帕<109>104氣體分子在固體表面上吸附停留為主。>20行等。真空狀態的主要特點是：真空容器所承受的大氣壓力由容器內外壓力差所決定；與大氣相比，氣體分子密度小、分子之間相互碰撞不那么頻繁，單位時間內碰撞容器壁的分子數減少，從而使真空狀態下熱傳導與對流小，絕熱性能強，可降低物質的沸點和汽化點等。真空的這些特點被廣泛應用到生活、生產和科研的各個領域中。真空度是對氣體稀薄程度的一種客觀量度。它本應用單位體積中的分子數來量度，但由于歷史的原因，真空度的高低仍通常用各向同性的物理量“氣體壓強”來表示。氣體壓強越低，表示真空度越高；反之，壓強越高，真空度就越低。在真空技術領域中，過去常用的壓強單位為托（torr），它與目前國際單位制中壓強單位帕斯卡的換算關系為：1帕=1牛頓/米2=1千克/米.秒2=7.50062×10-3（托）1托=1/760（標準大氣壓）=101325.0/760（帕）=133.3224（帕）為使用方便，人們根據真空技術的應用特點、真空物理特性和真空機械泵、真空計的有效使用范圍，將真空劃分為不同區域及對應的物理特點和主要應用領域，如表1所示。真空獲得用來獲得真空的器械簡稱為真空機械泵。由于真空技術發展到今天所涉及的壓強范圍從105~10-12172各種真空機械泵的運用范圍與抽速。抽速（升/秒）1~10015~40000抽速（升/秒）1~10015~400001~1000200~400005~1000005~5000~100000~5000泵壓強（帕）1000010010.110-210-310-410-610-710-810-101水環泵+→2旋片機械泵++++→3吸附泵++++→4羅茨泵←++++→5噴射泵←+++→油增壓泵油擴散泵←+←++++→++→8渦輪分子泵←+++++→9鈦升華泵←++++→10離子泵←+++++→11低溫泵←+++++真空機械泵按其抽氣機理可分為兩大類：一是壓縮型真空機械泵，它是將氣體由一方壓縮到另一方，如機械泵、擴散泵、分子泵等。二是吸附型真空機械泵，它是利用各種吸氣作用將氣體吸掉，如鈦泵、離子泵、低溫泵等。按起始工作狀態可分為前級泵（可直接從大氣壓下開始抽氣，如機械泵、吸附泵等）和次級泵（只能從比大氣壓低的某一定壓強下開始抽氣，使系統達到更高極限真空度，如擴散泵、鈦泵等）。次級泵工作時，必須輔以一定的前級泵，提供其正常工作所需要的真空度。用以比較各種真空機械泵性能的主要基本參數是：1）力。機械泵最大工作壓強為１個大氣壓，擴散泵為１帕。2）最低平衡壓強為該泵的極限壓強。3）抽氣速率：在泵的入氣口處，在任一給定壓強Ｐ1下，單位時間內流入泵的氣體體積數為泵的抽氣速率，簡稱為抽速，常用Ｓ表示，則：Ｓ＝ [升／秒]式中△v為泵進氣口處△t時間內流入泵的氣體體積［升］，Ｐ１口壓強［帕］。抽速在泵抽氣過程中因Ｐ１是變的，所以Ｓ一般都不是常數。４）運用范圍：指泵具有相當抽氣能力時的壓強范圍。對超高真空范圍內的泵，需附加二個主要參數是：抽氣的選擇性和殘余氣體的組成。一般實驗室常用機械泵和擴散泵在１.５小時內可獲得１０-４～１０-５帕真空度。旋片式機械真空機械泵旋片式機械泵主要有定子、轉子、旋片、彈簧等組成，如圖１所示。圖１旋片式機械真空機械泵旋轉時靠離心力和彈簧的張力使旋片的頂端與定子內壁始終緊密接觸。定子上的進、排氣口被轉子和旋片分為兩部分。當轉子沿箭頭方向轉動時，進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口方面容積將以吸入氣體壓縮從排氣孔排出。機械泵的抽氣速率主要取決于泵的工作體積△v，在抽氣過程中隨著進氣口壓強的降低，抽氣速率逐漸減小。當抽到系統極限壓強時，系統的漏氣與抽出氣體達到的動態平衡，此時抽速不變,見圖２。目前生產的機械泵多是兩個泵腔串聯起來的，如圖３稱為雙級泵，它比單級泵具有極限真空度高（１０-１～１０-２帕）和在低氣壓下具有較大抽速等優點。為保證機械泵的良好密封和潤滑，排氣閥浸在密封油里以防大氣流入泵中。油通過泵體上的縫隙、油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內所有的運動表面被油膜覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。同時，油還充滿了泵腔內的一切有害空間，以消除它們對極限真空度的影響。使用時應注意：因被抽氣體在泵腔內被壓縮，所以不宜用來抽蒸汽；停機后要立刻打開充氣閥，防止機械泵油返至真空系統內。圖2對容器V的抽氣曲線 圖3二級旋片式機械泵結構機械真空泵通常選用國產1號真空泵油，不同種類和牌號的真空泵油不得混合使用。油擴散泵油擴散泵是用來獲得高真空的常用設備，其工作壓強范圍為１０-１～１０-６帕。玻璃油擴散泵的結構如圖４。圖4玻璃油擴散泵結構圖 圖5擴散泵工作原理擴散泵油在真空中加熱到沸騰溫度（約２００℃）產生大量的油蒸汽，油蒸汽經導流管由各級噴嘴定向高速噴出，在噴嘴出口處蒸汽流中造成低壓。如圖５所示被抽氣體分子就不斷地擴散到油蒸汽流中，使被抽氣體分子沿蒸汽流速的方向高速運動。經幾級噴嘴連續作用將被抽氣體壓縮到出氣口由機械泵抽出。而油蒸汽在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到泵底重新被加熱，如此循環工作，就達到連續抽氣的目的。在使用擴散泵時要注意的是：開擴散泵前必須先用機械泵將系統包括擴散泵本身抽至５帕的預備真空，然后先通水后通電加熱泵油。工作過程中必須保證冷卻水暢通。停機時，先斷開擴散泵加熱電源，大約３０分鐘泵油降至室溫時，再斷冷卻水，最后斷開機械泵電源。這樣操作可防止或減小泵油氧化變質，提高真空的清潔程度，延長使用壽命，保證系統的極限真空度。目前國內擴散泵232742753真空測量U才能測定真空度。一般實驗室常用的熱偶和電離真空計都是標定好的相對真空計。熱電偶真空計熱電偶真空計由熱電偶規管和電測線路構成，如圖6。規管內有一根鎢或鉑制成的加熱絲AB、AB/兩根導熱系數不同金屬絲組成一對熱電偶（3），熱電偶一端（熱端）AB、B、/分別焊于芯柱引線上,再接到毫伏表上。強越高，氣體分子碰撞熱絲機會越多帶走的熱量越多，因而熱絲溫度越低，熱電偶所產生的電10-1帕。圖6熱電偶規管結構 圖7熱陰極電離規管結構熱陰極電離真空計8。電離真空規管是利用氣體分子被快速電子碰撞而電離的現象工作的。F通電加熱后發射熱電子，這些電子被處于正電位（100～150V）G生的正離子被外圍圓筒形處于負電位（10～60V）AII

，正比于氣體壓強，則有＋ 0 ＋I+=I0KP （1）式中K是比例系數稱為電離計的靈敏度，通常將發射電流I0保持一定值，然后用絕對真空計或標準校準系統來校準，給出I ~P的關系曲線，就可確定出K來。從式可見，只要K已知，就可通過

和I0而知壓＋ ＋強P。10-2～10-5響測量精確度。由于陰極處于高溫下發射電子，容易蒸發，低真空下陰極又易氧化，因而規管1×10-1帕時才能開電離真空計測量。圖8電離真空計外控接法電路原理圖熱電偶真空計和電離真空計的使用方法，請看儀器使用說明書。真空系統與檢漏技術真空系統是由真空機械泵、真空計、被抽容器及其它元件如閥門、冷阱等，借助真空管道，按一定要求組合而成，并具有所需抽氣功能的抽氣裝置。它的職能是在指定時間、空間內獲得真空，保持真空；確保系統內某項工藝過程或物理過程的實施。真空系統根據實驗要求可設計成金屬真空系統、玻璃真空系統、金屬和玻璃混合真空系統。檢漏技術是真空技術的重要組成部分。對金屬真空系統的所有部件在裝配前必須做密封性能檢驗，部件接合處最易產生漏氣，須經周密的檢漏才能達到預定的真空度。檢漏一般采用分段密p～t曲線，從而可判斷該段是否漏氣，如有漏氣常用加壓法、試驗氣體指示法等確定漏10-6～10-10帕.升/濾質器等檢漏儀器。對玻璃系統的檢漏可用高頻火花檢漏器。火花檢漏器實際是一小功率高頻高壓設備，它的高電壓輸出端伸出一金屬釋放電彈簧尖頭，能擊穿附近空氣。當它的高壓放電尖端移到玻璃系統上的漏孔處時，因玻璃是絕緣體不能跳火，而漏孔處因空氣不斷流入，在高頻高壓作用下而行成導電區，在火花檢漏器尖端與漏孔之間形成一強烈火花線，并在漏孔處有一白亮點，從而可以找到漏孔位置。使用火花檢漏器時，不要在玻璃一點上停留過久，以免玻璃局部過熱而打出小孔來。對檢出的漏孔可選用飽和蒸汽壓低，具有足夠的熱穩定性和一定的機械和物理性質的真空密封物質密封。作暫時的或半永久的密封可選用真空泥、真空封臘、真空漆等；要作永久性密封，可用環氧樹脂封膠和氯化銀封接，對玻璃系統可以重新燒接。真空機械泵常見問題與解決方法真空機械泵泵油的問題真空機械泵泵油顏色變深或渾濁是什么原因？泵油在骯臟工藝過程中受到污染——更換泵油或清洗；泵油不合適——清洗后用規定的泵油；油不足——加注足量泵油；真空漏率過大-修理泄漏處，或更換泵油；護氣體。泵油消耗過多怎么辦？出油口密封圈磨損——更換密封圈；油封損壞或安裝錯誤——更換新油封，檢查進油管線；油套損壞或腐蝕——更換油套；O泵體與油封間墊片泄漏——更換墊片。真空機械泵工作時出現異常的噪音真空機械泵工作時出現異常噪音，應先按照以下步驟一一檢查：首先，先檢查連接件是否損壞；是否缺油；然后查看油泵是否磨損或損壞，若是，修理或更換油泵即可；再查看油泵葉片是否損壞——拆下油泵，更換葉片；如果都沒有問題，那可能則需請專業人士進行修理。真空機械泵真空管路或系統內返油真空機械泵真空管路或系統內返油的原因多半是截流閥、抽氣管路以及密封部件的問題。油蒸汽返流至真空管路或系統中、油蒸汽壓不對——清洗泵后換符合要求的油；停泵時，油返流——檢查并更換截流閥；截流閥板上的密封件損壞——更換截流閥板；抽氣管路底部密封件腐蝕或損壞——更換抽氣管路，修理密封件。真空機械泵系統工作時溫度過高怎么辦？導致真空機械泵系統工作時溫度過高的原因及其解決方法。缺油——加夠油即可。抽氣口與排氣口錯誤連接。供油管線堵塞——先斷開泵連接，清洗并更換符合要求的油。油泵出現問題——修理或更換油泵。環境溫度達到或超過油蒸汽壓——降低環境溫度并注意空氣流通。油蒸汽壓低于指標——更換符合要求的泵油。工作氣體溫度過高——改工藝或加冷卻系統。擴散泵抽氣系統常見的故障及其排除措施擴散泵抽氣系統常見的故障及其排除措施如下（同時參見表3）：如果擴散泵抽氣系統不漏氣，而系統的極限壓力卻一直達不到預想的結果，則可能是系統設計不合理，有效抽速低；或真空規力。如果在長時間使用后，擴散泵而其它情況正常，則主要是擴散泵油逐漸氧化，質量變壞。這時，應更換新擴散泵油。換油步驟為：先把擴散泵卸下，取出泵芯，按要求將泵芯清洗烘干后正確裝配并加新油。真空容器內突然漏進大氣時，應立即關閉高真空閥門，停止擴散泵加熱并強迫油鍋冷卻。消除故障后，應作抽氣試驗，并根據其結果判斷是否需要更換擴散泵油。擴散泵經拆裝接入系統后，如果系統一切均嚴格按前述操作程序進行抽氣的話，則應該能達則首先檢查該泵所在系統的漏氣率是否超過允許值；同時檢查擴散泵的加熱器是否燒斷、供電電壓是否正常、泵的冷卻是否正常。如果上述方面一切均正常，則可認為是泵芯裝配方面的問題，如裝歪、噴嘴間隙不對、泵芯在裝配前未清洗干凈、有機溶劑未烘干、泵油不夠或裝入了質量不好的泵油及加熱功率調整不正確等。突然變壞，則可能是擴散泵電爐絲斷了或保險絲斷了，應及時檢查更換。如果前級泵工作不正常或抽氣容量不夠，也會使擴散泵工作不正常。境溫度過高（35℃）時，擴散泵性能即開始降低。能找到返油率最低點的合適溫度。采取措施加以改進。用原因系統或擴散泵泵體漏氣加熱器不工作油溫不足，沒有形成有效射流泵出口壓力過高泵本身漏氣泵底燒穿擴散泵油量不夠排除方法關閉泵入口高真空閥門、進行檢漏并修復檢查電爐電源是否接觸良好和電爐絲是否燒斷檢查加熱電壓和功率是否符