ICS77040

H17.

中華人民共和國國家標準

GB/T32277—2015

硅的儀器中子活化分析測試方法

TestmethodforinstrumentalneutronactivationanalsisINAAofsilicon

y()

2015-12-10發布2017-01-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32277—2015

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位樂山樂電天威硅業科技有限責任公司中國原子能科學研究院新特能源股份有

:、、

限公司

。

本標準主要起草人李智偉張亞東張新姚淑銀波邱艷梅

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T32277—2015

引言

中子活化分析是一種能夠對多種材料進行多種元素的高靈敏度定量定性分析的方法特

(NAA)、。

別是在半導體工業中它被指定用于分析和評價高純多晶硅用以生長半導體級硅單晶及硅片的原材

,(

料中的痕量元素污染光伏產業中硅原料需求的增長引發了更大規模的多晶硅生產和各種提純硅原

)。,

料替代方法的研發用這些方法生產的硅材料在目前的文獻資料中一般被稱為太陽能級硅并具有多

。,

種形狀如塊狀粉末狀和顆粒狀

,、。

隨著多晶硅和太陽能級硅生產規模的擴大其質量控制也應加強而儀器中子活化分析是

,,(INAA)

可選方法之一儀器中子活化分析是一種直接對輻照樣品實施分析的方法與之相比傳統的放射化學

。,,

中子活化分析方法要將輻照后的樣品進行化學分離除去干擾物質或者濃縮待檢放射性同位

(RNAA),

素當前一些實驗室通過使用不同的中子源輻照條件電子設備和制樣方法實現了儀器中子活化分

。,、、,

析并將其應用于各種形態種類的硅樣品硅的儀器中子活化分析方法的標準化將消除分析方法間的

,、。

差異從而建立一個通用的參考分析方法

,。

Ⅱ

GB/T32277—2015

硅的儀器中子活化分析測試方法

1范圍

11本標準規定了硅材料的儀器中子活化分析測試方法

.。

12本標準適用于化學氣相沉積法或冶金提純方法生產的硅材料的儀器中子活化分析分析樣品可

.。

以是單晶硅多晶硅而多晶硅的形態可以是粉末顆粒塊狀或硅片

、,、、。

13本標準適用于材料的宏觀成分分析如按本測試方法進行額外的樣品制備并在樣品抽取傳送

.。,、

和制備過程中避免表面污染也可實現樣品的表面或近表面區域分析

,。

14本測試方法僅適用于附錄中所列痕量元素的熱中子或超熱中子活化分析

.A。

15本測試方法不適用于非晶硅薄膜多晶硅薄膜或微晶硅薄膜的分析對于受到人為摻雜高濃度特

.、。

殊元素的硅樣品也不屬于本測試方法適用范圍但在檢查過摻雜對安全檢測限和最小等待時間t的

,,、w0

影響之后該測試方法還是可能適用

,。

16本測試方法用于分析大范圍的痕量元素見附錄通常樣品的輻照時間應比31的衰變壽命

.(A)。,Si

長而且應等輻照生成的31充分地衰變之后才能實施分析

,Si。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

化學試劑氫氟酸

GB/T620—2011(ISO6353-3:1987,NEQ)

化學試劑硝酸

GB/T626—2006(ISO6353-2:1983,NEQ)

電子級水

GB/T11446.1—2013

半導體材料術語

GB/T14264

電離輻射防護與輻射源安全基本標準

GB18871

氮氣和液氮安全應用準則

GJB2253A—2008

危險化學品強制性國家標準實施手冊

《》

致電離輻射測量用特性限值判斷閾探測限值和置信區間限值的測定基本

ISO11929:2010