標準解讀

GB/T 31987-2015《電子工業(yè)用氣體 鍺烷》是一項國家標準，專門針對電子工業(yè)中使用的鍺烷氣體制定了詳細的技術要求與試驗方法。該標準適用于鍺烷純度不低于99.9%的產(chǎn)品，主要用于半導體材料的制備及其它相關領域。

標準內容首先界定了術語和定義，明確了鍺烷作為研究對象的基本性質及其在電子工業(yè)中的應用背景。接著，在技術要求部分，除了規(guī)定了最低純度要求外，還對可能存在的雜質成分如氧氣、氮氣、甲烷等設定了最大允許含量限制，確保產(chǎn)品質量滿足使用需求。此外，對于水分這一關鍵指標也有明確的控制標準。

為了驗證產(chǎn)品是否符合上述各項技術要求，GB/T 31987-2015提供了相應的分析檢測方法，包括但不限于氣相色譜法測定組分含量、露點儀測量水含量等。這些測試手段不僅能夠準確反映樣品的真實狀態(tài)，也為生產(chǎn)企業(yè)和用戶之間建立了一個公平合理的質量評估體系。

最后，包裝、標志、運輸及貯存等方面的要求也被納入考慮范圍之內，旨在保障鍺烷從生產(chǎn)到最終使用的整個過程中都能保持其應有的品質特性，避免因不當處理而造成損失或安全隱患。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2015-09-11 頒布
  • 2016-05-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T31987—2015

電子工業(yè)用氣體鍺烷

Gasforelectronicindustry—Germane

2015-09-11發(fā)布2016-05-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T31987—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位上海華愛色譜分析技術有限公司佛山市華特氣體有限公司中昊光明化工研究

:、、

設計院有限公司國家化學工業(yè)氣體產(chǎn)品質量監(jiān)督檢驗中心福建西南化工研究設計院有限公司

、()、。

本標準主要起草人方華裴友宏郭秀麗林宇巍陳熔周鵬云

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T31987—2015

電子工業(yè)用氣體鍺烷

1范圍

本標準規(guī)定了鍺烷的技術要求試驗方法標志包裝貯運和安全

、、、、。

本標準適用于氯化鍺還原電解氧化鍺的硫酸溶液鍺鎂合金與鹽酸反應等方法得到的鍺烷產(chǎn)品

、、。

它用于化學試劑制取高純度鍺化學氣相淀積擴散非晶硅外延離子注入等領域

、、、、、、。

分子式

:GeH4。

相對分子質量按年國際相對原子質量計算

:76.662(2011)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標志

GB7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險化學品安全管理條例版

(2011)

特種設備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術要求

鍺烷的質量應符合表的要求

1。

表1技術指標

項目指標

鍺烷純度體積分數(shù)-2

(GeH4)()/10≥99.999

氫含量體積分數(shù)-6

(H2)()/10<50

氧氬含量體積分數(shù)-6

(O2)+(Ar)()/10≤2

氮含量體積分數(shù)-6

(N2)()/10≤

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