ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標準

GB/T30859—2014

太陽能電池用硅片翹曲度和

波紋度測試方法

Testmethodforwarpandwavinessofsiliconwafersforsolarcells

2014-07-24發布2015-04-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30859—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會及材料分技術委員會

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并歸口

203/SC2)。

本標準起草單位江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司瑟米萊伯貿易上海有限公司有研半導體

:、()、

材料股份有限公司

。

本標準主要起草人薛抗美夏根平孫燕林清香徐自亮黃黎

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T30859—2014

太陽能電池用硅片翹曲度和

波紋度測試方法

1范圍

本標準規定了太陽能電池用硅片以下簡稱硅片翹曲度和波紋度的測試方法

()。

本標準適用于硅片翹曲度和波紋度的測試

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產品幾何技術規范表面結構輪廓法術語定義及表面結構參數

GB/T3505—2009(GPS)、

硅片翹曲度非接觸式測試方法

GB/T6620

半導體材料術語

GB/T14264

產品幾何技術規范表面結構輪廓法表面波紋度詞匯

GB/T16747—2009(GPS)

產品幾何技術規范表面結構輪廓法相位修正濾波器的計量特性

GB/T18777(GPS)

所有部分產品幾何技術規范濾波

GB/Z26958()(GPS)

3術語和定義

和界定的術語和

GB/T3505—2009、GB/T14264、GB/T16747—2009、GB/T18777GB/Z26958

定義適用于本文件為了便于使用以下重復列出了和中的某

。,GB/T3505—2009GB/T16747—2009

些術語和定義

。

31

.

輪廓濾波器profilefilter

把輪廓分成長波和短波成分的濾波器在測量粗糙度波紋度和原始輪廓的儀器中使用三種濾波

。、

器見圖它們都具有規定的相同的傳輸特性但截止波長不同

,1。GB/T18777,。

定義

[GB/T3505—2009,3.1.1]

32

.

λs輪廓濾波器λsprofilefilter

確定存在于表面上的粗糙度與比它更短的波的成分之間相交界限的濾波器見圖

,1。

定義

[GB/T3505—2009,3.1.1.1]

33

.

λc輪廓濾波器λcprofilefilter

確定粗糙度與波紋度成分之間相交界限的濾波器見圖

,1。

定義

[GB/T3505—2009,3.1.1.2]

34

.

λf輪廓濾波器λfprofilefilter

確定存在于表面上的波紋度與比它更長的波的成分之間相交界限的濾波器