ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

表面化學分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜實驗測定的相對靈敏度

因子在均勻材料定量分析中的使用指南

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectron

spectroscopy—Guidetotheuseofexperimentallydeterminedrelativesensitivity

factorsforthequantitativeanalysisofhomogeneousmaterials

(ISO18118:2004,IDT)

2014-06-09發布2014-12-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………2

概述

5………………………2

測量條件

6…………………3

概述

6.1…………………3

激發源

6.2………………3

能量分辨率

6.3…………………………3

能量步長和掃描速率

6.4………………3

信號強度

6.5……………3

增益和時間常數適用于模擬信號探測系統的儀器

6.6(AES)………3

調制獲取微分譜

6.7……………………4

數據分析步驟

7……………4

強度能量響應函數

8………………………4

用相對靈敏度因子測定化學組成

9………………………4

化學組成的計算

9.1……………………4

計算組成的不確定度

9.2………………5

附錄規范性附錄相對靈敏度因子公式

A()……………6

符號和縮略語

A.1………………………6

原理

A.2…………………7

相對靈敏度因子

A.3……………………8

附錄資料性附錄分析結果的不確定度信息

B()………15

符號和縮略語

B.1………………………15

引言

B.2…………………15

基體效應

B.3……………15

樣品組分分布

B.4………………………16

表面形貌

B.5……………16

輻照損傷

B.6……………16

離子濺射影響

B.7………………………16

表面污染

B.8……………16

參考文獻

……………………17

Ⅰ

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準采用翻譯法等同采用表面化學分析俄歇電子能譜和射線光電子能譜

ISO18118:2004《X

實驗測定的相對靈敏度因子在均勻材料定量分析中的使用指南

》。

與本標準中規范性引用的國際文件有一致性對應關系的我國文件如下

:

表面化學分析詞匯

———GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT);

表面化學分析射線光電子能譜儀和俄歇電子能譜儀強度標線性

———GB/T21006—2007X

(ISO21270:2004,IDT)。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準負責起草單位北京師范大學分析測試中心

:。

本標準主要起草人吳正龍

:。

Ⅲ

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

引言

俄歇電子能譜和射線光電子能譜是對材料表面組分靈敏的表面分析技術檢測深

(AES)X(XPS),

度通常為幾個納米兩種技術均給出在分析體積內平均的表面加權信號大多數樣品的組分在橫向和

。。

深度方向上都有變化由于難以測定任一組分變化的大小和發生變化的距離經常采用近似的方法進

。,

行定量分析均勻樣品最簡單雖然這種情況不常見但是為了方便分析通常假設待測樣品是均勻的

。,,,。

本標準提供了用實驗測定的相對靈敏度因子進行和定量分析均勻材料時的測量和使用

AESXPS

指南

。

Ⅳ

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

表面化學分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜實驗測定的相對靈敏度

因子在均勻材料定量分析中的使用指南

1范圍

本標準規定了在俄歇電子能譜和射線光電子能譜均勻材料定量分析中相對靈敏度因子的實驗

X

測量和使用指南

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

ISO18115(Surfacechemicalanalysis—Vocabulary)

表面化學分析射線光電子能譜儀和俄歇電子能譜儀強度標線性

ISO21270X(Surfacechem-

icalanalysis—X-rayphotoelectronandAugerelectronspectrometers—Linearityofintensityscale)

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件中的術語絕對元素靈敏度因子和相對元

ISO18115。ISO18115

素靈敏度因子的定義分別列于和中未來修訂版中的術語平均基體相對靈敏度因

3.13.2。ISO18115

子和純元素相對靈敏度因子的定義分別列于和中

3.33.4。

31

.

絕對元素靈敏度因子absoluteelementalsensitivityfactor

一種元素的系數用測得的該元素強度除以該系數而求得樣品中該元素的原子濃度或原子分數

。,。

注1應明確所選用的原子濃度或原子分數

:。

注2所用靈敏度因子的類型應與定量計算過程中所用的方程和分析樣品的類型相符例如均勻樣品或偏析層

:,。

注3為了正確使用基體因子或其他參數應給出靈敏度因子的來源

:,。

注4靈敏度因子與激發源參數能量分析器參數以及樣品在儀器中相對于這些部件的取向相關靈敏度因子還與

:、