ICS1718099

A60..

中華人民共和國國家標準

GB/T29190—2012

掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法

Measurementmethodsofdriftrateofscanningprobemicroscope

2012-12-31發布2013-06-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T29190—2012

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規范性引用文件…………………………

21

術語和定義縮略語………………………

3、1

測量方法…………………

42

要求………………………

52

儀器要求……………

5.12

環境要求……………

5.22

測量步驟…………………

62

測量報告…………………

73

附錄規范性附錄圖像相關分析法…………………

A()4

附錄規范性附錄特征點法…………

B()7

附錄規范性附錄非周期光柵法……………………

C()9

附錄資料性附錄原子光柵法………………………

D()12

附錄資料性附錄測量方法比較……………………

E()14

參考文獻……………………

15

GB/T29190—2012

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由中國科學院提出并歸口

。

本標準由全國納米技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC279)。

本標準起草單位中國科學技術大學上海市計量測試技術研究院

:、。

本標準主要起草人黃文浩陳宇航李源傅云霞褚家如李家文牛頓朱五林劉一

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T29190—2012

引言

掃描探針顯微鏡以下簡稱是納米科學與技術中的主要工具之

(ScanningProbeMicroscope,SPM)

一對于具有納米級以至原子級分辨力的其時間穩定性與儀器的設計操作環境和使用等密切

。SPM,、

相關作為的重要規格參數漂移速率的大小直接關系著的使用性能例如無失真圖像

。SPM,SPM。,

的連續獲取樣品局域物化特性的測量樣品表面動態特性的實時觀測微納裝配和操縱等此外漂移

、、、。,

速率的大小對于評價儀器也有重要指導意義目前許多配置漂移補償模塊或閉環控制模塊盡

。,SPM;

管漂移速率大幅降低但漂移依然存在因此在xy和z方向漂移速率的定義和漂移速率測量

,。,SPM、

方法的規范化具有重要意義

。

本標準給出了在xy和z方向漂移速率的測量方法以便于制造商在儀器規格中提供漂移

SPM、,

數據幫助用戶表征儀器漂移特性

,。

Ⅱ

GB/T29190—2012

掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法

1范圍

本標準規定了漂移速率的術語和定義縮略語測量步驟性能參數規格及基于掃描

SPM、、、,SPM

圖像的漂移速率測量基本方法

。

本標準適用于到的漂移速率測量本標準中的漂移測量不適用于圖像校正

0.01nm/s10nm/s。。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

標準樣品工作導則標準樣品定值的一般原則和統計方法

GB/T15000.3(3);

通用計量術語及定義

JJF1001;

測量不確定度評定與表示

JJF1059(ISOGUM:1995,IDT);

表面化學分析名詞第部分掃描探針顯微鏡適用術語

ISO18115,2:(Surfacechemical

analysis—Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning—probemicroscopy)。

3術語和定義縮略語

、

界定的以及下列術語和定義縮略語適用于本文件

GB/T20000.1、。

31術語和定義

.

311

..

漂移drift

儀器中探針相對于樣品的實際位置與設定位置的偏差

SPM。

注所有參數設置均可能產生漂移如xz方向的位移激光光斑在懸臂梁上的位置掃描近場光學顯微鏡的光

:,、y、,,

源強度等本標準中漂移限定為x和z方向上探針相對于樣品設定