IcS71.100.20G86中華人民共和國國家標準GB/T18867一2002電子工業用氣體六氟化硫GasesforelectronicindustrySulfurhexafluoride2002-10-15發布2003-04-01實施中華民共和入發布國家質量監督檢驗檢疫總局

GB/T18867-2002前本標準對應于SEMIC3.24:1995《鋼瓶裝六氟化硫》標準中的體積分數為99.97%（SEMI為半導體設備和材料國際組織),與SEMIC3.24的一致性程度為非等效本標準與SEMIC3.24:1995的主要技術差異如下：根據我國半導體工業、集成電路對氣體純度的要求及我國高純六氟化硫氣體生產工藝水平，本標準中的技術指標除水外均優于SEMIC3.24。六氟化硫純度定為大于或等于99.99%.優于SEMIC3.24中的99.97%。分析方法中修改采用SEMIC3.24中空氣、四氟化碳及水分的測定;同時由于目前國內主要采用電解氟氣與硫反應生成六氟化硫的工藝路線，該工藝可能產生微量可水解氟化物、其他氟碳化物、其他氟硫化物.這些雜質對使用有害，因此增加了二氧化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、硫酰氟、亞硫酰氟、十氟一氧化二硫的測定對其他氟硫化物的檢測采用帶有火焰光度檢測器(FPD)的氣相色譜儀，綜合考慮使用方便、設備費用等因素，本標準采用熱導檢測器與火焰光度檢測器串聯的氣相色譜儀進行檢測空氣、四氟化碳、硫酰氟、亞硫酰氟、十氟一氧化二硫并作為資料性附錄A。采采用帶有火焰離子化檢測器的氣相色譜儀檢測六氟乙烷、八氟丙烷并作為資料性附錄B。本標準的附錄A和附錄B為資料性附錄。本標準由原國家石油和化學工業局提出。本標準由全國氣體標準化技術委員會（CSBTS/TC206)歸口。本標準起草單位：中核紅華特種氣體股份有限公司、西南化工研究設計院起草，光明化工研究設計院參與起草本標準主要起草人：杜偉華、張奎、賀國武、張軍、何道善本標準為首次發布。

GB/T18867-—2002電子工業用氣體六氟化硫分子式：SF.分子量：146.05(按1999年國際相對原子質量)范圍本標準規定了電子工業用氣體六氟化硫產品的技術要求、分析方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、存和安全要求。本標準適用于硫與氟反應生成并經精制和純化制備的高純度六氟化硫。該產品主要用作等離子蝕刻劑、摻雜劑、電子元器件的外延氣或稀釋載氣等規范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內容)或修訂版均不適用于本標準.然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。GB190危險貨物包裝標志GB5099鋼質無縫氣瓶(neqISO4705)GB/T5832.1氣體中微量水分的測定電電解法GB/T5832.2氣體中微量水分的測定露點法GB7144氣瓶顏色標記GB/T8984.1碳氫化合物的測定第一部分：氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB/T11640鋁合金無縫氣瓶GB12022—1989工業六氟化硫(neqIEC376A:1973)《氣瓶安全監察規程》3技術要求電子工業用氣體六氟化硫應符合表1要求表1技術指標項目名稱大氟化硫(SFa)的體積分數/10-99.99空氣的體積分數/10750.（四氟化碳(CF.)的體積分數/10一濕度(H.O)的體積分數/10-酸度(以HF計)的體積分數/10-可水解氟化物(以