標準解讀

GB/T 17874-1999 是一項中華人民共和國國家標準，全稱為《電子工業用氣體 三氯化硼》。該標準主要規定了電子工業中使用的三氯化硼氣體的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和儲存要求，旨在確保三氯化硼氣體的質量滿足電子工業生產的需求，保障生產和使用過程的安全性與有效性。

技術要求

標準詳細列出了三氯化硼氣體應達到的各項純度指標，包括但不限于三氯化硼的含量、水分含量、酸度或堿度、可燃性雜質、非揮發性殘留物等關鍵參數的具體限量值。這些指標對于保證氣體在半導體制造、化學氣相沉積（CVD）等精密工藝中的性能至關重要。

試驗方法

為驗證氣體是否符合規定的質量標準，標準中詳細描述了各種檢測項目的具體測試方法。這包括如何準確測量三氯化硼的濃度、水分含量的測定、雜質分析等，確保檢測結果的可靠性和重復性。

檢驗規則

標準明確了產品出廠前的檢驗程序，包括例行檢驗和型式檢驗的要求。它規定了抽樣方法、批量判定規則及不合格品的處理辦法，確保每批出廠的產品均經過嚴格的質量控制。

包裝、標志、運輸和儲存

為了保持氣體品質并在整個供應鏈中安全地搬運，標準對三氯化硼氣體的包裝材料、容器標識、安全警示信息、運輸條件及儲存環境提出了具體要求。例如，要求采用耐壓、防泄漏的容器，并明確標注氣體成分、純度、生產日期、有效期及安全注意事項，同時要遵循相關的危險品運輸規定，確保在儲存和運輸過程中氣體的穩定性和安全性。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現行標準GB/T 17874-2010
  • 1999-09-16 頒布
  • 2000-06-01 實施
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文檔簡介

IcS71.100.20G86中華人民共和國國家標準GB/T17874-1999電子工業用氣體三氯化硼Gasesforelectronicindustry--Borontrichloride1999-09-16發布2000-06-01實施國家質量技術監督局發布

GB/T17874-1999前本標準是根據我國三氯化硼的生產水平和實際使用情況而制定的.主要技術內容包括適用范圍、技術要求、檢驗方法、檢驗規則、安全要求以及產品包裝、標志、儲存、運輸等。本標準的附錄A是提示的附錄。本標準于1999年9月16日首次發布。本標準由國家石油和化學工業局提出本標準由西南化工研究設計院歸口。本標準起草單位：光明化工研究設計院本標準參加起草單位：西南化工研究設計院、北京有色金屬研究總院本標準主要起草人：張琳、趙敏、蔡體杰本標準參加起草人：朱心才、蔣文全、余中玉。

中華人民共和國國家標準電子工業用氣體GB/T17874--1999北明Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride分子式：BCls相對分子質量：117.169(按1997年國際相對原子質量)101.3kPa下的沸點：12.4C1范圍本標準規定了電子工業用三氯化硼氣體的要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、財存和安全要水。本標準適用于以粗制三氯化硼為原料,采用吸附、蒸留的方法提純制得的三氯化硼，主要用于電子工業硅半導體器件和集成電路生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。2引用標準下列標準所包含的條文·通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時.所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性、GB190—1990危險貨物包裝標志GB5099-1994鋼質無縫氣瓶GB/T5274—1985氣體分析校校準用混合氣體的制備稱量法GB7144-1986氣瓶顏色標記GB/T7445—1995純氫、高純氫和超純氫GB/T8980-1998高純氮GB11640—1989鋁合金無縫氣瓶3要求三氯化硼的技術指標應符合表1的要求，其中金屬和顆粒的要求及其檢驗方法由供方和用戶商定表1技術指標三氯化硼純度·10-：（V/）99.999氧和氬（以氧計）含量.10-°（V/V）氮含量.10-（V心）WVVV·氧化碳含量.10-。（V/0.2二氧化碳含量,1

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