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犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１６９４２—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７

電子工業用氣體氫

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２００９１０３０發布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局

發布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１６９４２—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７《電子工業用氣體氫》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７相比主要變化如下：

———修改電子工業用氫的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第１章，本版的第１章）；

———修改規范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第２章，本版的第２章）；

———修改技術指標內容（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第３章，本版的第３章）；

———修改電子工業用氫抽樣規則（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的４．１，本版的４．１．１、４．１．２）；

———修改電子工業用氫采樣要求（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的４．２，本版的４．１．３）；

———修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法（１６９４２—１９９７的４．４、４．６，本版的４．３）；

———修改總烴分析方法的檢測限（１６９４２—１９９７的４．７，本版的４．５）；

———修改水分含量的分析方法（１６９４２—１９９７的４．８，本版的４．７）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第５章，本版的第５章）；

———增加規范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業用氫中的氮、一氧化碳、二氧

化碳組分的方法寫入該附錄（見附錄Ａ）。

本標準的附錄Ａ為規范性附錄。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。

本標準起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院。

本標準主要起草人：周澤義、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６９４２—２００９

電子工業用氣體氫

１范圍

本標準規定了電子工業用氫的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于以氫氣為原料經凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業用氫氣。它們主

要被用來提供還原氣氛，作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。

分子式：Ｈ２。

相對分子質量：２．０１５８８（按２００５年國際相對原子質量計算）。

２規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０—２００９危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３６３４．１氫氣第１部分工業氫

ＧＢ／Ｔ３７２３工業用化學產品采樣安全通則

ＧＢ４９６２氫氣使用安全技術規程

ＧＢ５０９９鋼質無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ／Ｔ６２８５氣體中微量氧的測定電化學法

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規定

氣瓶安全監察規程

壓力容器安全技術監察規程

壓力管道安全管理與監察規定

３技術要求

電子工業用氣體氫的質量應符合表１的要求。

表１技術指標

項目指標

－２

氫（Ｈ２）純度（體積分數）／１０≥９９．９９９９９９．９９９７９９．９９９５

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數）／１０＜０．５２．０２

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分數）／１０＜０．２０．２０．５

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數）／１０－６＜０．０５０．５

０．２

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分數）／１０＜０．０５０．５

總烴（以甲烷計）含量（體積分數）／１０－６＜０．０５０．２０．５

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分數）／１０＜０．２０．２０．５

總雜質含量（體積分