標準解讀

GB/T 16942-1997是一項中華人民共和國國家標準，全稱為《電子工業用氣體 氫》。該標準規定了電子工業中使用的氫氣的質量要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和儲存要求，旨在確保氫氣作為電子工業原材料時的純度與安全性，滿足半導體制造、平板顯示及其他高科技電子設備生產過程中的嚴格需求。

標準內容概覽：

  1. 范圍：明確了本標準適用于電子工業生產過程中使用的氫氣，規定了其技術條件及試驗、檢驗、包裝、標識、運輸和儲存的具體要求。

  2. 規范性引用文件：列出了實施本標準時需要參考的其他相關國家標準或規范文件。

  3. 術語和定義：對標準中涉及的專業術語給出明確的定義，幫助讀者理解標準具體內容。

  4. 要求：

    • 純度：詳細規定了氫氣的純度要求，包括對雜質（如氧氣、氮氣、水、碳氫化合物等）的最大允許含量，以ppm（百萬分之一）為單位進行限定。
    • 物理化學性質：如露點、密度、壓力等指標也需符合一定的標準。
    • 其它特性：可能還包括對毒性和可燃性的控制要求，確保使用安全。

  5. 試驗方法：介紹了如何通過科學方法檢測氫氣的純度、雜質含量及其它關鍵性能指標，確保測試結果的準確性和重復性。

  6. 檢驗規則：規定了產品出廠前的檢驗程序、抽樣方法、合格判定準則等，確保每批次產品的質量可控。

  7. 包裝、標志、運輸和儲存：

    • 包裝：要求氫氣的容器應能有效防止外界污染，且能承受相應的壓力，保證運輸安全。
    • 標志：明確標記產品信息，包括但不限于生產商名稱、批號、純度等級、生產日期等。
    • 運輸：提供運輸過程中的安全措施和注意事項，確保氫氣的安全運輸。
    • 儲存：說明了氫氣儲存條件，如溫度、壓力、避光避熱等要求，以防變質或危險事故的發生。

實施意義：

該標準的制定與執行對于提升電子工業用氫氣的質量控制水平、保障生產安全、促進電子產業的技術進步和產品質量具有重要意義。它為電子工業領域內氫氣的供應商和用戶提供了一套統一的標準體系，有助于提升整個產業鏈的標準化水平和國際競爭力。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現行標準GB/T 16942-2009
  • 1997-08-13 頒布
  • 1998-05-01 實施
?正版授權
GB/T 16942-1997電子工業用氣體氫_第1頁
GB/T 16942-1997電子工業用氣體氫_第2頁
GB/T 16942-1997電子工業用氣體氫_第3頁
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文檔簡介

中華人民共和國國家標準GB/T16942-1997電子工業用氣體Gasesforlectronicindustry--Hydrogen1997-08-13發布1998-05-01實施國家技術監督局發布

GB/T16942-1997前本標準是根據SEMIC3.19-93鋼瓶裝氫標準》95年版)制定的，在技術要求上與之等同，試驗方法與之等效。在將SEMIC3.19一93轉化為本國標準時，結合我國實際情況，刪去了SEMIC3.19一93中僅作為參考的說明和物理常數及注釋等內容，試驗方法中增加了抽樣、采樣和氫氣純度三條，除氮含量的測定采用SEMIC3.19一93的方法外，其余各項雜質含量的測定分別采用我國相應的通用試驗方法國家標準，同時對檢測限和標樣要求按SEMI標準規定進行了適當的調整。以上變動與SEMI標準無實質性差異，使標準技術內容更加完整。本標準由中華人民共和國化學工業部提出。本標準由化學工業部西南化工研究院歸口。本標準起草單位：化學工業部西南化工研究院。本標準主要起草人：陳雅麗、戴培述。

中華人民共和國國家標準電子工業用氣體CB/T16942-1997Gasesforelectronicindustry-Hydrogen范圍本標準規定了電子工業用氫的技術要求、試驗方法和包裝、標志、安全等。本標準適用于以工業氫為原料經純化制取的鋼瓶裝氫氣。氫主要被用來提供還原氣敘，作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。分子式：H：相對分子質量：2.016(按1991年國際相對原子質量)2引用標準下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時,所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。GB/T3634—1995氫氣GB/T5832.1—86氣體中微量水分的測定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測定露點法GB/T6285—86氣體中微量氧的測定電化學法GB/T6681—86氣體化工產品采樣通則GB/T8984.1—1997氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB/T8984.3-1997氣體中總烴的測定火焰離子化法3要求電子工業用氫技術指標應符合表1的要求。表1技術指標V/V氫純度,10-99.9995復含最：10-氧含量,10~0-氧化碳含量,10-0.5二氧化碳含量,10一0.5總烴(以甲燒計)含量,10-0

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