第四章電感式傳感器電感式傳感器的工作原理：電磁感應。它是把被測量如位移等，轉換為電感量變化的一種裝置。按照轉換方式的不同，可分為自感式、互感式和電渦流式三種。用途及特點：常用來測量位移、振動、壓力、應變、流量、比重等物理量參數。優點：具有結構簡單、工作可靠、壽命長、使用范圍廣缺點：存在交流零位信號，不適宜高頻動態測量。

F

將一只交流接觸器線圈與交流毫安表串聯后，接到機床用控制變壓器的36V交流電壓源上，這時毫安表的示值約為幾十毫安。用手慢慢將接觸器的活動鐵心（稱為銜鐵）往下按，我們會發現毫安表的讀數逐漸減小。當銜鐵與固定鐵心之間的氣隙等于零時，毫安表的讀數只剩下十幾毫安。

4－1自感式電感傳感器基本工作原理演示氣隙變小，電感變大，電流變小F基本工作原理

當鐵心的氣隙較大時，磁路的磁阻Rm也較大，線圈的電感量L和感抗XL

較小，所以電流I較大。當鐵心閉合時，磁阻變小、電感變大，電流減小。自感式電感傳感器常見的形式變隙式變截面式螺線管式一、變氣隙式自感傳感器

根據電磁感應定律，當線圈中通以電流i時，產生磁通，其大小與電流成正比式中，W—線圈匝數;

L—線圈電感，單位為亨(H)；根據磁路歐姆定律，磁通φm為：所以，線圈電感(自感)可用下式計算:1、線圈電感的計算如果空氣隙δ較小，而且不考慮磁路的鐵損時，則磁路總磁阻為：

式中:

l—導磁體(鐵芯)的長度(m)；μ—鐵芯導磁率(H/m)；A—鐵芯導磁橫截面積(m2);δ—空氣隙長度(m);μ0—空氣導磁率；A0—空氣隙導磁橫截面積(m2)。2、磁路總磁阻的計算因為μ＞＞μ0，則因此，自感L可寫為：上式表明，自感L與氣隙δ成反比，而與氣隙導磁截面積A0成正比。當固定A0不變，變化δ時，L與δ呈非線性（雙曲線）關系。此時，傳感器的靈敏度為靈敏度S與氣隙長度的平方成反比，δ愈小，靈敏度愈高。由于S不是常數，故會出現非線性誤差，為了減小這一誤差，通常規定δ在較小的范圍內工作。3、靈敏度分析例如，若間隙變化范圍為（），則靈敏度為由上式可以看出，當時，靈敏度S趨于定值，即輸出與輸入近似成線性關系。實際應用中，一般取。這種傳感器適用于較小位移的測量，一般約為0.001～1mm.二、變面積式自感傳感器若將變氣隙式自感傳感器的氣隙厚度δ保持不變，使氣隙導磁截面積A隨被測非電量而變，即構成變面積式自感傳感器。

變面積式自感傳感器輸出特性呈線性，因此測量范圍大。與變氣隙式相比，其靈敏度較低。欲提高靈敏度，初始氣隙厚度δ0不能過大，但同樣受工藝和結構的限制，δ0的選取與變氣隙式相同。工作原理演示變面積式自感傳感器工作原理動畫演示三、螺管式自感傳感器它與前兩種傳感器相比，有以下特點：⑴結構簡單，制造裝配容易；⑵由于磁路大部分為空氣，易受外部磁場干擾；⑶由于空氣隙大，磁路磁阻大，固靈敏度較前兩種低，但線性范圍大；⑷由于磁阻高，為了達到某一電感量，需要的線圈匝數多，因而線圈分布電容大；四、差動式自感傳感器：上述三種自感式傳感器，由于線圈電流的存在，銜鐵上始終作用有電磁吸力，影響測量準確度；而且易受電源電壓、頻率的波動與溫度變化等外界干擾的影響，因此不適合精密測量。為了克服上述缺點，所以大都采用差動式。當銜鐵向上移動時，兩個線圈的電感變化量ΔL1、ΔL2

曲線1、2為L1、L2

的特性，3為差動特性結論：1、提高靈敏度可一倍2、改善了線性特性3、補償誤差4、辨向二、測量電路

u0(1)交流電橋輸出空載電壓初始平衡狀態，Z1=Z2=Z,u0=0銜鐵偏離中間零點時使用元件少，輸出阻抗小,獲得廣泛應用z2z1u/2u/2上一頁返回下一頁傳感器銜鐵移動方向相反時空載輸出電壓兩種情況的輸出電壓大小相等，方向相反，即相位差180為了判別銜鐵位移方向，就是判別信號的相位，要在后續電路中配置相敏檢波器來解決上一頁返回下一頁

（二)交流電橋的調幅作用(三)相敏檢波電路

通過相敏檢波電路可以得到一個大小和極性隨被測信號的幅值和極性變化的電壓，從而達到解調目的．但相敏植波電路的輸出信號包含著被測信號和載波．為此，通常在相敏檢波電路后邊加一個低通慮波器．把調幅時引入的載彼濾掉，從而得到放大后的被測信號差動變壓器式傳感器的優點是：測量精度高，可達0.1μm；線性范圍大，可到±100mm；穩定性好，使用方便。因而被廣泛應用于直線位移，或可能轉換為位移變化的壓力、重量等參數的測量。

差動變壓器是把被測的非電量變化轉換成線圈互感量的變化。這種傳感器是根據變壓器的基本原理制成的，并且次級繞組用差動的形式連接，故稱之為差動變壓器式傳感器。 變隙式變面積式 螺線管式4－2互感式傳感器（差動變壓器）變隙式差動變壓器當一次側線圈接入激勵電壓后，二次側線圈將產生感應電壓輸出互感變化時，輸出電壓將作相應變化上一頁返回下一頁兩個初級繞組的同名端順向串聯，而兩個次級繞組的同名端則反向串聯。當沒有位移時，銜鐵C處于初始平衡位置，它與兩個鐵芯的間隙為δa0=δb0=δ0兩個次級繞組的互感電勢相等，即e2a=e2b。由于次級繞組反向串聯，因此，差動變壓器輸出電壓當被測體有位移時，與被測體相連的銜鐵的位置將發生相應的變化，使δa≠δb兩次級繞組的互感電勢e2a≠e2b，輸出電壓電壓的大小反映了被測位移的大小，通過用相敏檢波等電路處理，使最終輸出電壓的極性能反映位移的方向。1.工作原理上一頁返回下一頁一、工作原理：傳感器主要由線圈、鐵芯和活動銜鐵三個部分組成。線圈包括一個初級線圈和兩個反接的次級線圈，當初級線圈輸入交流激勵電壓時，次級線圈將產生感壓電動勢e1和e2。由于兩個次級線圈極性反接，因此，傳感器的輸出電壓為兩者之差，即ey=e1-e2。活動銜鐵能改變線圈之間的藕合程度。輸出ey的大小隨活動銜鐵的位置而變。當活動銜鐵的位置居中時，即e1=e2，ey=0；當活動銜鐵向上移時，即e1>e2，ey>0;當活動銜鐵向下移時，即e1<e2，ey<0。活動銜鐵的位置往復變化，其輸出電壓也隨之變化，輸出特性如圖所示。差動變壓器式傳感器輸出的電壓是交流量，如用交流電壓表指示，則輸出值只能反應鐵芯位移的大小，而不能反應移動的極性；同時，交流電壓輸出存在一定的零點殘余電壓，使活動銜鐵位于中間位置時，輸出也不為零。因此，差動變壓器式傳感器的后接電路應采用既能反應鐵芯位移極性，又能補償零點殘余電壓的差動直流輸出電路二、電感式傳感器的應用

一、位移測量軸向式電感測微器的外形

航空插頭紅寶石測頭4－4電渦流式傳感器一、工作原理：下圖所示為高頻反射式渦流傳感器工作原理。金屬板置于一只線圈的附近，它們之間相互的間距為為δ，當線圈輸入一交變電流i時，便產生交變磁通量Φ金屬板在此交變磁場中會產生感應電流i1，這種電流在金屬體內是閉合的，所以稱之為"渦電流"或"渦流"。渦流的大小與金屬板的電阻率ρ、磁導率μ、厚度h，金屬板與線圈的距離δ，激勵電流角頻率ω等參數有關。若改變其中某二參數，而固定其他參數不變，就可根據渦流的變化測量該參數。

如上圖所示，高頻(>lMHz)激勵電流，產生的高頻磁場作用于金屬板的表面，由于集膚效應，在金屬板表面將形成渦電流。與此同時，該渦流產生的交變磁場又反作用于線圈，引起線圈自感L或阻抗ZL的變化，其變化與距離認金屬板的電阻率ρ、磁導率μ、激勵電流i，及角頻率ω等有關，若只改變距離δ而保持其他系數不變，則可將位移的變化轉換為線圈自感的變化，通過測量電路轉換為電壓輸出。高頻反射式渦流傳感器多用于位移測量。根據渦流式傳感器的簡化模型，可以得出以下結論：

⑴金屬導體上形成的渦流有一定的范圍，當線圈與導體間的距離不變時，電渦流密度隨著線圈外徑的大小而變化。為了充分的利用渦流效應，被測導體的平面不應小于傳感器線圈外徑的2倍，否則靈敏度將下降。

⑵渦流強度隨著線圈與導體間距離x的增大而迅速減小，由此可知，渦流強度與距離x呈非線性關系。為了獲得較好的線性和較高的靈敏度，應使x/R＜＜1，一般取x/R＝0.05～0.15。

⑶金屬導體內產生的渦流由于趨膚效應，電渦流不僅沿徑向分布不均勻，而且貫穿金屬導體的厚度有限。貫穿深度與勵磁電流的頻率成反比關系。

低頻透射式渦流傳感器的工作原理如下圖所示，發射線圈ω1和接收線圈ω2分別置于被測金屬板材料G的上、下方。由于低頻磁場集膚效應小，滲透深，當低頻(音頻范圍)電壓e1加到線圈ω1的兩端后，所產生磁力線的一部分透過金屬板材料G,使線圈ω2產生感應電動勢e2。但由于渦流消耗部分磁場能量，使感應電動勢e2減少，當金屬板材料G越厚時，損耗的能量越大，輸出電動勢e2越小。因此，e2的大小與G的厚度及材料的性質有關，試驗表明，e2隨材料厚度h的增加按負指數規律減少,如圖所示，因此，若金屬板材料的性質一定，則利用e2的變化即可測量其厚度。二、測量電路：1.

調幅電路振蕩器提供一個頻率及幅值穩定的高頻信號激勵并聯諧振回路LC。無被測導體時，使LC振蕩回路的諧振頻率f0等于振蕩器的振蕩頻率，這時LC回路的阻抗最大，激勵電流在LC回路上產生的壓降最大。當傳感器線圈接近被測導體時，線圈的等效電感發生變化，諧振回路的諧振頻率和等效阻抗也跟著發生變化，使回路失諧，諧振峰值偏離原來的位置向兩旁移動，輸出電壓亦發生相應變化。傳感器離被測體越近，回路的等效阻抗越小，輸出電壓也越低。諧振峰值的移動方向與被測導體的材料有關。對非磁性材料，當距離減小時，線圈的等效電感減小，回路諧振頻率提高。振蕩器放大器檢波器濾波器xLC耦合電阻2.調頻電路調頻測量電路是把傳感器線圈接入振蕩器，作為振蕩器的一個電感元件，與調幅電路不同的是它是以頻率作為輸出量。當位移產生±△x變化時，引起線圈電感變化±△L，這個電感變化對振蕩器調頻，使振蕩器的振蕩頻率產生±△f的變化。此頻率可以用數字頻率計直接測量，也可以通過鑒頻器進行頻率－電壓轉換變成輸出電壓。電路原理圖