ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T15909—2017

代替

GB/T15909—2009

電子工業用氣體硅烷

Gasforelectronicindustry—Silane

2017-05-31發布2017-12-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T15909—2017

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準代替電子工業用氣體硅烷與相比除編輯性

GB/T15909—2009《》。GB/T15909—2009,

修改外主要技術變化如下

:

修改了標準名稱刪除了標準名稱中硅烷的分子式

———,(SiH4);

修改了范圍增加了適用的制備方法修改了適用范圍見第章年版的第章

———:,(1,20091);

修改了規范性引用文件刪除增加

———:GB/T8984.3、GB/T11640,GB/T11446.1、GB15258、

見第章年版的第章

GB/T16804、GB/T26571、GB/T28726(2,20092);

修改了技術要求修改硅烷純度為-2體積分數見第章年版的第章

———:99.9999×10()(3,20093);

刪除了電性能規格見年版的

———(20093.3);

修改了硅烷純度的計算見年版的

———(4.2,20094.2);

修改了氫氧氬氮甲烷烴一氧化碳二氧化碳乙硅烷含量的測定方法見年

———、+、、、、、、(4.4,2009

版的

4.4、4.6、4.7、4.9);

刪除了測定氯化物總量測定方法見年版的

———(20094.5);

增加了氯硅烷含量的測定方法見

———(4.4);

修改了水含量測定方法的儀器檢測限見年版的

———(4.5,20094.8);

增加了金屬及其他元素含量的測定方法見

———(4.6);

修改了標志包裝貯運及安全見第章年版的第章

———、、(5,20095)。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出

(SAC/TC203)。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口

(SAC/TC203/SC1)。

本標準起草單位西南化工研究設計院有限公司浙江賽林硅業有限公司廣東華特氣體股份有限

:、、

公司中昊光明化工研究設計院有限公司高麥儀器公司天津長蘆華信化工股份有限公司大連大特氣

、、、、

體有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司上海計量測試研究院化工氣體質檢中心江蘇中能硅業

、、、、

科技發展有限公司浙江中寧硅業有限公司南京亞格泰新能源材料有限公司浙江大學安徽省滁州市

、、、、

硅谷特種氣體有限公司

。

本標準主要起草人余京松楊智敏傅鑄紅杜漢盛孫福楠牛艷東李長富周朋云曲慶方華

:、、、、、、、、、、

陳鷹常俠劉曉霞周延江高平洲徐昕

、、、、、。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為

:

———GB/T15909—1995、GB/T15909—2009。

Ⅰ

GB/T15909—2017

電子工業用氣體硅烷

1范圍

本標準規定了硅烷氣體的技術要求試驗方法標志包裝貯運及安全的內容

、、、、。

本標準適用于硅化鎂法氫化鋁鈉還原四氟化硅法氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業用硅烷它

、、。

主要用于制作高純多晶硅二氧化硅的低溫化學氣相淀積氮化硅化學氣相淀積多晶硅隔離層多晶硅

、、、、

歐姆接觸層和異質或同質硅外延生長原料以及離子注入源和激光介質等還可用于制作太陽能電池光

,、

導纖維和光電傳感器等

。

分子式

:SiH4。

相對分子質量按年國際相對原子質量

:32.117(2011)。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB/T5099

氣體濕度的測定第部分電解法

GB/T5832.11:

氣瓶顏色標志

GB/T7144

電子級水

GB/T11446.1

液化氣體氣瓶充裝規定

GB/T14193

化學品安全標簽編寫規定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804