ICS77.040.01H17中華人民共和國國家標準GB/T1557—2006代替GB/T1557--1989、GB/T14143-1993硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法Themethodofdetermininginterstitialoxygencontentinsiliconbyinfraredabsorption2006-07-18發布2006-11-01實施中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布中國國家標準化管理委員會

GB/T1557—2006本標準是對GB/T1557—1989、GB/T14143-1993進行的整合修訂。本標準在原標準基礎上.修改采用ASTMF1188:2000《用紅外吸收法測量硅中間隙氧原于含量的標準方法》.本標準與ASTMF1188:2000的一致性程度為修改，其差異如下：-刪去了ASTMF1188:2000第1章“范圍”中涉及方法原理、安全的1.3、1.4條及第5章“意義和用途”：將將ASTMF1188:2000第8章“儀器測試”和第10章“測量步驛”并為第8章“測量步驃”：本標準與原標準相比主要變動如下：采用ASTMF1188:2000第7章“儀器"(刪去其中7.2條)作為第6章“測量儀器"用ASTMF1188:2000第11章“計算”中的計算公式替代原（B/T1557—1989.GB/T14143-1993的計算公式；參照ASTMF1188:2000增加了"術語”章和"干擾因素”章；參照ASTMF1188:2000增加了采用經認證的硅中氧含量標準物質對光譜儀進行校準的內容：參照ASTMF1188:2000將原GB/T1557-1989、GB/T14143—1993規定的“本標準適用于室溫電阻率大于0.1Q·cm的硅品體”改為“本標準適用于室溫電阻率大于0.1Q·cm的n型硅單品和室溫電阻率大于0.5·cm的p型硅單品"；-采用ASTMF1188:2000中規定的0.04cm～0.4cm樣品厚度范圍替代原GB/T15571989、GB/T14143-1993規定的樣品厚度范圍：規定的氧含量測量范圍替代原GB/T1557—1989、GB/T14143—1993的測量范圍：刪去了原GB/T1557—1989、GB/T14143-1993的附錄，采用ASTMF1188:2000的附錄X1作為本標準的附錄A.本標準的附錄A是資料性附錄本標準自實施之日起,同時代替GB/T1557—1989、GB/T14143-1993.本標準由中國有色金屬工業協會提出。本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口。本標準起草單位：峨眉半導體材料廠。本標準主要起草人：梁洪、草銳兵、王炎本標準由全國有色金屬標準化技術委員會負責解釋。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：GB/T1557-1989、—GB/T14143-1993

GB/T1557—2006硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法1范圍本標準規定了采用紅外光譜法測定硅單品中的間隙氧含量的方法本標準適用于室溫電阻率大于0.12·cm的n型硅單品和室溫電阻率大于0.52·cm的p型硅單品中間隙氧含量的測量。本標準測量氧含量的有效范圍從1×10*at·cm-到硅中間隙氧的最大固溶度2規范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內容)或修訂版均不適用于本標準.然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。GB/T14264半導體材料術語ASTME131分分子光譜有關術語術語和定義GB/T14264和ASTME131確立的以下術語和定義適用于本標準31色散型紅外光譜儀dispersiveinfraredspectrophotometer-種使用棱鏡或光柵作為色散元件的紅外光譜儀。它通過振幅-波數(或波長)光譜圖獲取數據3.2傅立葉變換紅外光譜儀Fouriertransforminfraredspectrophotometer一種通過傅立葉變換將由干涉儀得到的干涉譜圖轉換為振幅-波數（或波長)光譜圖來獲取數據的紅外光譜儀。3.3參比光譜referencespectrum參比樣品的光譜。當用雙光束光譜儀測量時,它可以通過直接將參比樣品放人樣品光路.讓參比光路空著獲得；在用單光束光譜儀測量時,它可以通過由紅外光路中獲得的參比樣品的光譜計算扣除背景光譜后獲得3.4洋品光譜sampleSPectrum測試樣品的光譜。當用雙光束光譜儀測量時,它可以通過直接將測試樣品放入樣品光路,讓參比光路空著獲得;在用單光束光譜儀測量時,它是由測試樣品放入紅外光路獲得的光譜扣除背景光譜后算出的4方法原理使用經過校準的紅外光譜儀和適當的參