ICS31030

L90-

中華人民共和國國家標準

GB/T114467—2013

代替.

GB/T11446.7—1997

電子級水中痕量陰離子的

離子色譜測試方法

Testmethodfortraceanioninelectronicgradewater

byionchromatography

2013-12-31發布2014-08-15實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T114467—2013

.

前言

預計結構如下

GB/T11446:

電子級水

———GB/T11446.1;

待定

———GB/T11446.2();

電子級水測試方法通則

———GB/T11446.3;

電子級水電阻率的測試方法

———GB/T11446.4;

電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法

———GB/T11446.5;

電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法

———GB/T11446.6;

電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法

———GB/T11446.7;

電子級水中總有機碳的測試方法

———GB/T11446.8;

電子級水中微粒的儀器測試方法

———GB/T11446.9;

電子級水中細菌總數的濾膜培養測試方法

———GB/T11446.10。

本部分為的第部分

GB/T114467。

本部分按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本部分代替電子級水中痕量氯離子硝酸根離子磷酸根離子硫酸根離子

GB/T11446.7—1997《、、、

的離子色譜測試方法

》。

本部分與相比主要有下列變化

GB/T11446.7—1997,:

增加了痕量氟離子亞硝酸根離子和溴離子的測定方法

———“”、“”“”;

將離子色譜工作原理反應式歸納到附錄中

———A;

增加干擾因素見第章

———“”(5);

刪除注意事項見年版的第章

———“”(199710)。

本部分由中華人民共和國工業和信息化部提出

。

本部分由中國電子技術標準化研究院歸口

。

本部分起草單位信息產業部專用材料質量監督檢驗中心中國科學院半導體研究所中國電子技

:、、

術標準化研究院中國電子科技集團公司第四十六研究所

、。

本部分主要起草人王奕褚連青何秀坤段曙光提劉旺劉筠

:、、、、、。

本部分所代替標準的歷次版本發布情況為

:

———GB/T11446.7—1989、GB/T11446.7—1997。

Ⅰ

GB/T114467—2013

.

電子級水中痕量陰離子的

離子色譜測試方法

1范圍

的本部分規定了電子級水中痕量氟離子-氯離子-亞硝酸根離子-

GB/T11446(F)、(Cl)、(NO2)、

溴離子-硝酸根離子-磷酸根離子3-硫酸根離子2-的離子色譜測試方法

(Br)、(NO3)、(PO4)、(SO4)。

本部分適用于電子級水中痕量氟離子氯離子亞硝酸根離子溴離子硝酸根離子磷酸根離子硫

、、、、、、

酸根離子的測定其中檢出限依次為和

,0.7μg/L、0.8μg/L、1μg/L、1μg/L、1μg/L、1μg/L1μg/L。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電子級水

GB/T11446.1—2013

電子級水測試方法通則

GB/T11446.3—2013

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T11446.3—2013。

31

.

離子色譜法ionchromatography

用高效離子交換色譜原理和抑制本底電導的電導鑒定法來分離和測定離子的一種特殊的液相色譜

技術可用于測量高純水中的痕量陰離子

,。

4方法原理

離子色譜儀由淋洗液貯器泵進樣閥分離柱抑制柱或抑制器電導檢測器和數據處理等部分

、、、、()、

組成在分析水中陰離子時分離柱充填低交換容量的陽離子交換樹脂淋洗液為稀的堿溶液當淋洗

。,,。

液與試樣流經分離柱時此時試樣及淋洗液中的陽離子順利通過試樣中的待測陰離子--

,,A(A:F、Cl、

---3-2-等離子與淋洗液中的陰離子競爭取代分離柱內樹脂+-上

NO2、Br、NO3、PO4、SO4)(RN-OH)

氫氧根-的位置其反應式參見附錄

(OH),A。

陰離子與柱內填充樹脂的親合力的不同使各陰離子分離并依次從分離柱底部流出分離后的被

,,。

測離子與淋洗液一同進入抑制柱或抑制器淋洗液中電導率大的氫氧化鈉或碳酸氫鈉在抑制柱或

()。