1、 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日目錄1、在手訂單及構成42、各關鍵線寬的刻蝕工藝應用53、電感和電容性等離子體刻蝕設備產銷情況64、公司前五大客戶的銷售情況75、全球刻蝕設備行業格局及中微市場地位86、國內刻蝕設備行業格局及中微市場地位97、同類設備的競爭力對比108、刻蝕設備、MOCVD 設備制造的發展戰略及發展方向119、MOCVD 設備的分類，以及中微市場地位1210、PRISMO A7 與 PRISMO D-BLUE 的比較1311、中微 MOCVD 研發項目1412、中微核心產品的交貨、驗證周期，以及收款模式1513、主營業務收入呈現季節性特征1614、VOC

2、 設備應用領域17 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日圖表目錄 HYPERLINK l _TOC_250015 圖表 1. 中微歷年在手訂單4 HYPERLINK l _TOC_250014 圖表 2. 刻蝕設備的工藝應用及產業化5 HYPERLINK l _TOC_250013 圖表 3. CCP、ICP 刻蝕設備累計產銷量（2016-2018）6 HYPERLINK l _TOC_250012 圖表 4. 中微前五大客戶7圖表 5. 全球刻蝕設備行業競爭格局（2017）8 HYPERLINK l _TOC_250011 圖表 6. 中微在國內某存儲芯片制造產線的市占率9

3、 HYPERLINK l _TOC_250010 圖表 7. 中微在國內某邏輯芯片制造產線的市占率9 HYPERLINK l _TOC_250009 圖表 8. 中微電容性等離子體刻蝕設備競爭力10 HYPERLINK l _TOC_250008 圖表 9. 中微電感性等離子體刻蝕設備競爭力10 HYPERLINK l _TOC_250007 圖表 10. 中微深硅刻蝕設備（TSV 系列）競爭力10 HYPERLINK l _TOC_250006 圖表 11. 中微 MOCVD 設備競爭力10 HYPERLINK l _TOC_250005 圖表 12. 2018 年 MOCVD 市場總需求及

4、結構12 HYPERLINK l _TOC_250004 圖表 13. GaN 基 LED MOCVD 的行業競爭格局（2017-2018）12 HYPERLINK l _TOC_250003 圖表 14. 中微 MOCVD 研發項目進度14 HYPERLINK l _TOC_250002 圖表 15. 中微核心產品的交付周期15圖表 16. 中微按季度的收入分布（2016-2018）16 HYPERLINK l _TOC_250001 圖表 17. 中微各產品第四季度收入占比（2016-2018）16 HYPERLINK l _TOC_250000 圖表 18. 報告中提及上市公司估值表18

5、 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中1、在手訂單及構成中微半導體：2016-2018 年末在手訂單依次是 3.3 億元，6.8 億元，15.9 億元，2017-2018 年分別增長 106%， 134%。圖表 1. 中微歷年在手訂單單位：萬元2016 年末占比(%)2017 年末占比(%)2018 年末占比(%)刻蝕設備4,058126,364923,01114MOCVD 設備28,8038861,89791135,90386在手訂單合計32,86110068,261100158,914100資料來源：公司公告，中銀國際證券 HYPERLINK / 2019 年 5 月

6、12 日中2、各關鍵線寬的刻蝕工藝應用公司產品在 65 納米到 7 納米的加工上均有刻蝕應用已實現產業化，正在進行 7 納米、5 納米部分刻蝕應用的客戶端驗證。圖表 2. 刻蝕設備的工藝應用及產業化關鍵尺寸刻蝕應用產業化及研發進度65-22nm鈍化層、通孔、頂層通孔、頂層溝槽產業化22-14nm鈍化層、頂層通孔、頂層溝槽產業化14-7nm鈍化層、通孔、頂層通孔、有機掩膜層產業化接觸孔、溝槽、頂層溝槽客戶端驗證7nm、5nm有機掩膜層、通孔、溝槽客戶端驗證資料來源：公司公告，中銀國際證券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中3、電感和電容性等離子體刻蝕設備產銷情況圖表 3.

7、CCP、ICP 刻蝕設備累計產銷量（2016-2018）電容性刻蝕設備電感性刻蝕設備合計主要產品型號Primo D-RIE Primo AD-RIEPrimo nanova Primo TSVPrimo AD-RIE-ePrimo SSC-AD-RIEPrimo SSC-HD-RIE產量20614 腔220銷量15010 腔160資料來源：公司公告，中銀國際證券目前，中微電感性等離子體刻蝕設備包括 Primo nanova、Primo TSV 兩個產品。我們估計電感性等離子體刻蝕設備實現 10 個腔的銷量，主要是指 Primo TSV 產品，用于 MEMS 的 TSV 封裝。 HYPERLIN

8、K / 2019 年 5 月 12 日中4、公司前五大客戶的銷售情況圖表 4. 中微前五大客戶年度序號名稱產品類別銷售額（億元）收入占比(%)20181乾照光電MOCVD3.1919.42三安光電MOCVD2.4214.73長江存儲刻蝕設備1.8011.04海外客戶 1刻蝕設備1.368.35華力微電子刻蝕設備1.167.1總計9.9360.620171華燦光電MOCVD3.4035.02璨揚光電MOCVD1.1211.53中芯國際刻蝕設備1.0811.24海外客戶 1刻蝕設備0.9810.15三安光電MOCVD0.737.5總計7.2474.520161中芯國際刻蝕設備2.38392海外客戶

9、 1刻蝕設備1.0316.93海外客戶 2刻蝕設備0.9515.54海外客戶 3刻蝕設備0.447.25海外客戶 4刻蝕設備0.426.9總計5.2385.7資料來源：公司公告，中銀國際證券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中5、全球刻蝕設備行業格局及中微市場地位全球刻蝕設備市場呈現壟斷格局，泛林半導體、東京電子、應用材料占據主要市場份額。圖表 5. 全球刻蝕設備行業競爭格局（2017）資料來源：公司公告，中銀國際證券基于 Gartner 對全球電容性刻蝕設備市場規模的統計數據，公司的電容性刻蝕設備的全球市場份額占比約在 1.4%左右。 HYPERLINK / 2019

10、年 5 月 12 日中6、國內刻蝕設備行業格局及中微市場地位在國內市場，中微的主要競爭對手依然是美國的泛林半導體、應用材料和日本東京電子三家國際巨頭，但中微在國內刻蝕設備市場中有突出市場競爭力，市場份額約為 15%-20%。圖表 6. 中微在國內某存儲芯片制造產線的市占率資料來源：公司公告，中銀國際證券圖表 7. 中微在國內某邏輯芯片制造產線的市占率資料來源：公司公告，中銀國際證券2016-2018 年，公司刻蝕設備在邏輯電路廠商的銷售金額累計約為 6.57 億元，占刻蝕設備總銷售額13.25億元的 50%。 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中7、同類設備的競爭力對比圖表

11、 8. 中微電容性等離子體刻蝕設備競爭力關鍵性能參數公司 Primo AD-RIE單位時間生產效率達到國際同類設備水平腔體維護時間達到國際同類設備水平顆粒污染率達到國際同類設備水平關鍵尺寸穩定性達到國際同類設備水平資料來源：中微招股書、中銀國際證券圖表 9. 中微電感性等離子體刻蝕設備競爭力關鍵性能參數公司 Primo nanova關鍵尺寸均勻性達到國際同類設備水平關鍵尺寸穩定性達到國際同類設備水平結構邊緣的粗糙度達到國際同類設備水平結構形貌變形達到國際同類設備水平結構的邊角侵蝕達到國際同類設備水平雜質微粒達到國際同類設備水平機臺占地面積達到國際同類設備水平資料來源：中微招股書、中銀國際證券圖

12、表 10. 中微深硅刻蝕設備（TSV 系列）競爭力關鍵性能參數公司 Primo TSV設備平臺最大裝載能力優于國際同類設備200 毫米/200 毫米晶圓通用機臺支持 200 毫米和 300 毫米切換，國際同類設備一般不可產出率雙反應臺的 TSV 優于單反應臺的產出率機臺占地面積優于國際同類設備兼容硅和氧化硅刻蝕達到國際同類設備水平兼容硅和玻璃襯底達到國際同類設備水平資料來源：中微招股書、中銀國際證券圖表 11. 中微 MOCVD 設備競爭力關鍵性能參數公司 Prismo A7產能（片/爐次）達到國際同類設備水平MO 源區輸入優于國際同類設備控溫方式達到國際同類設備水平波長均勻性達到國際同類設備

13、水平厚度均勻性達到國際同類設備水平資料來源：中微招股書、中銀國際證券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中8、刻蝕設備、MOCVD 設備制造的發展戰略及發展方向公司刻蝕設備的主要發展方向包括：用于 7 納米以下邏輯電路刻蝕的 CCP 和 ICP 刻蝕設備、用于 128層及以上的 3D NAND 存儲器刻蝕的 CCP 刻蝕設備、用于高端 MEMS 生產的 TSV 刻蝕設備等。公司 MOCVD 設備的主要發展方向包括：高溫 MOCVD 設備、大尺寸 MOCVD 設備、基于 Mini LED 和Micro LED 應用的氮化鎵 MOCVD 設備、基于氮化鎵功率半導體應用的 MOC

14、VD 設備等。 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中9、MOCVD 設備的分類，以及中微市場地位目前 MOCVD 設備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導體材料外延生長，其中氮化鎵基 LED MOCVD 主要用于生產氮化鎵基 LED 的外延片。根據 LEDinside 數據顯示，2018 年全年氮化鎵基 MOCVD 的新增數量為 215 臺，砷化鎵基 MOCVD 的新增數量為 65 臺，氮化鎵基 MOCVD 設備約占全部 MOCVD 市場份額的 77%。圖表 12. 2018 年 MOCVD 市場總需求及結構資料來源：公司公告，中銀國際證券根據 HIS Markit 的統計，20

15、18 年中微公司的 MOCVD 占據全球氮化鎵基 LED 用 MOCVD 新增市場的 41%；尤其在 2018 年下半年，中微公司的 MOCVD 占據全球新增氮化鎵基 LED MOCVD 設備市場的 60%以上。2018 年公司在全球氮化鎵基 LED MOCVD 設備市場占據領先地位。圖表 13. GaN 基 LED MOCVD 的行業競爭格局（2017-2018）資料來源：HIS Markit，公司公告，中銀國際證券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中10、PRISMO A7 與 PRISMO D-BLUE 的比較Prismo A7 設備可配臵四個 28 英寸的反應腔，

16、同時加工 136 片 4 英寸晶片或 56 片 6 英寸晶片，工藝能力還能延展到生長 8 英寸外延晶片。每個反應腔都可獨立控制，雙區噴淋頭可實現更好的厚度和組分均勻性。該設備每個反應腔的產量是 Prismo D-Blue 的 2 倍以上，已在全球氮化鎵基 LED MOCVD 市場中占據領先地位。11、中微 MOCVD 研發項目圖表 14. 中微 MOCVD 研發項目進度序號名稱擬達到主要目標階段及進展情況應用與行業技術水平比較高溫 MOCVD 設備 開發適用于UVC LED 生長的高溫MOCVD 設備，可承載18 片2寸外延片開發階段UVC LED、紫外殺菌、工業水凈化等國際先進水平國產化加熱

17、系統在MOCVD設備上的推廣應用電源可根據加熱器電壓等級及功率要求任意組合，可實現主從控制，與加熱器的負載特性相匹配開發階段藍綠光 LED、通用照明等國際先進水平英寸，30 英寸大尺寸（更大 開發更大尺寸MOCVD 設尺寸）MOCVD 設備 備：托盤尺寸達30可承載41 片4 英寸外延片或18 片6 寸外延片研究階段藍綠光LED、通用照明、Mini LED 等國際先進水平新型高產能MOCVD設備技術改進改進現有MOCVD 設備性能，提高設備穩定性研究階段藍綠光 LED外延片生產國際先進水平 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中資料來源：公司公告，中銀國際證券 HYPERLI

18、NK / 2019 年 5 月 12 日中12、中微核心產品的交貨、驗證周期，以及收款模式中微公司向集成電路制造企業客戶銷售的刻蝕設備從安裝調試及試運行到驗收通過的平均期間大約為 2 個月，向 LED 制造企業銷售的 MOCVD 設備從安裝調試及試運行到驗收通過的平均期間大約為5.6 個月。圖表 15. 中微核心產品的交付周期產品平均交付時間平均驗收通過確認收入時間刻蝕設備約3.7個月約2個月MOCVD設備約5個月約5.6個月資料來源：公司公告，中銀國際證券對于刻蝕設備，一般不收取預收款，典型的付款結算模式主要分為兩個節點：設備交付后 30-45 日，收取 85-90%到貨款；簽署驗收報告后

19、30-60 日，收取剩余尾款。其中對于MOCVD 設備，一般按節點付款，典型的付款結算模式主要分為三個節點：合同簽訂后 5-15 日，收取 20-30%預收款；設備交付后 30-45 日，收取 60-70%到貨款；簽署驗收報告后 30-60 日，收取剩余尾款。 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中13、主營業務收入呈現季節性特征201820172016金額（億元）占比(%)金額（億元）占比(%)金額（億元）占比(%)Q10.603.70.646.60.396.4Q24.0524.70.484.91.6026.2Q35.1031.13.2032.91.4023.0Q46.63

20、40.55.4055.62.7144.4合計16.391009.721006.10100大部分設備集中于下半年驗收，導致三、四季度收入占比較高。圖表 16. 中微按季度的收入分布（2016-2018）資料來源：公司公告，中銀國際證券圖表 17. 中微各產品第四季度收入占比（2016-2018）項目子項目2018年第四季度2017年第四季度2016年第四季度收入（億元）當年收入占比(%)收入（億元當年收入占比(%)收入（億元）當年收入占比(%)刻蝕設備3.5262.21.9166.22.2347.3MOCVD2.1225.53.0357.00.1061.5其他設備0.07100備品備件0.9341.40.3827.80.3732.2設備維護0.0641.20.0222.50.0119.7合計6.6340.55.4055.62.7144.4資料來源：公司公告，中銀國際證券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中14、VOC 設備應用領域VOC 設備主要應用于平板顯示生產線等工業