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各種光學(xué)干涉儀馬赫曾德干預(yù)儀的根本原理:利用分振幅法產(chǎn)生雙光束干預(yù)。這種干預(yù)儀也能探測(cè)小至10-14m的位移。它與邁克爾遜干預(yù)儀有一些一樣之處。同樣,從激光器輸出的光束先分后合。兩束光由可動(dòng)反射鏡的位移引起相位差,并在光探測(cè)器上產(chǎn)生干預(yù)。與邁克爾遜干預(yù)儀之區(qū)別1、它沒有或很少有光返回到激光器,返回到激光器的光會(huì)造成激光器的不穩(wěn)定噪聲,對(duì)干預(yù)測(cè)量不利。2、由圖可以看到,從分束器2向上還有另外兩束光,一束是上面水平光束的反射局部,另一束是垂直光束的透射局部。 如果需要,也可以用這兩束光的干預(yù)光強(qiáng)獲得第二個(gè)輸出信號(hào)。這在一些應(yīng)用上是很方便的。第二個(gè)輸出信號(hào) 馬赫澤德全光纖干預(yù)儀作為一個(gè)工程實(shí)用的傳感器,最好采用全光纖干預(yù)儀。圖表示馬赫澤德全光纖干預(yù)儀的根本構(gòu)造,以這個(gè)根本構(gòu)造為根底還有很多變形構(gòu)造。它的兩個(gè)臂都使用光纖,且光的分路與合路也都是用3 dB光纖耦合器。其優(yōu)點(diǎn)是體積小,且機(jī)械性能穩(wěn)定。當(dāng)然,重要的是要解決好光纖耦合器的工藝和穩(wěn)定性問題。
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