1、無塵室內異物管理基本原則不帶入 不把外面的塵埃帶入無塵室內不殘留 無塵室內因狀況而產生之塵埃，不可殘 留無塵室內不產生 人員和物品，設備在無塵室內不可因不當之 動作而產生塵埃1無塵環境等級 與異物數量之關聯性英制單位：為每立方英呎0.5m以上粒子數SI制單位：為每立方公尺0.5m以上粒子數取其對數CLASS 100相當於SI制M3.5 CLASS0.1m0.2m0.3m0.5m5.0m1357.531103507530101003001001000100071000010000701000001000007002無塵環境設計與施工概念層流式無塵環境 層流是指空氣由上方天花板完全吹出再由高架地板

2、回風，氣流由上而下，無塵室內沒有死角，能將塵埃在最短時間帶走亂流式無塵環境 由局部出風口吹入潔淨之空氣，再由回風管(柱)或回風牆回風3無塵環境設計與施工概念垂直層流式無塵環境4無塵環境設計與施工概念水平層流式無塵環境5無塵環境設計與施工概念層流式無塵環境優缺點 優點：效果完全 若在作業狀況中影響較小，運轉後迅速 可達到所需之落塵控制量，管理容易 缺點：設備費用高(維護費用高) 換過濾網校麻煩 適用於 Class 1,10,100 6無塵環境設計與施工概念亂流式無塵環境7無塵環境設計與施工概念亂流式無塵環境優缺點 優點：設備費用低，維護費用低，往後若需擴充較方 便，若再配合無塵操作臺或亭(Cle

3、an Bench or Booth)，則可確保局部高度清潔 缺點：因為亂流容易產生死角所以污染粒子可能在內 部循環運轉後要達到所需之清潔度，需要一段 時間方可達到，人員與機械的配置必須注意配合 適用於 Class 1000,10000,100000 8 環境來源異物管理無塵室環境測試工程完工時之無塵室 無塵空調系統已運轉，機械設備尚未進入停止工作之靜態無塵室 機械設備已定位且在運轉，但人員尚未進入動作作業動態中之無塵室 所有設備運轉動作，作業人員正常工作中測試項目： 清淨度，溫度，溼度，風速，室內之正壓值， 補充新鮮外氣風量，照度，噪音.等9 環境來源異物管理無塵室環境長期監測清淨度：氣中粒子

4、計數器 液中粒子計數器 Wafer粒子計數器 玻璃表面檢查設備 風速：三次元風速計 絹絲法有機與離子腐蝕接觸角&UV潔淨設備溫溼度計氣壓計10設備&製程來源異物管理設備發塵規格制定與量測：設備共通規格規範 設備定期清掃點檢：作業指示書規範原物料管理物料進出無塵室管理：作業指示書規範產品製程中檢查：製程檢查設備 11 設備&製程來源異物管理設備發塵規格制定與量測量測位置：設備外緣10cm處每隔1m設一量測點量測高度：高架第地板上120cm處規格值：0.3m以上粒子 30個/立方英呎以內 0.5m以上粒子 10個/立方英呎以內 0.1m以上粒子 2個/立方英呎以內12各製程不良缺陷簡介 13各製程不良缺陷簡介 14各製程不良缺陷簡介 15各製程不良缺陷簡介 16人體發塵來源異物管理人員作業服裝選擇：作業環境需求為依據人員無塵衣清潔管理：潔淨度維護人員進出無塵室管理：作業管制17 人體發塵來源異物管理人體發塵程度 無塵室內54%塵埃來源來自人員18 人體發塵來源異物管理愛煙人您知道抽煙的發塵狀況嗎 表7 愛煙家入?喫煙必外。喫煙後吸人100倍程度煙(0.17m)息検出510分後正常值戾。時 間0.17m0.3m0.5m1.0m直後1845